JPS5883151U - ウエハ−ブロ−バ− - Google Patents
ウエハ−ブロ−バ−Info
- Publication number
- JPS5883151U JPS5883151U JP17897581U JP17897581U JPS5883151U JP S5883151 U JPS5883151 U JP S5883151U JP 17897581 U JP17897581 U JP 17897581U JP 17897581 U JP17897581 U JP 17897581U JP S5883151 U JPS5883151 U JP S5883151U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- stage
- wafer prober
- wafer blower
- blower
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 3
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案装置の上面図、第２図はその正面図であ
る。また第３図はウェハー上に載置される半導体ペレッ
トの拡大上面図である。 １・・・・・・基準面、２・・・・・・ステージ、３・
・・・・・測定針、４・・・・・・プローブヘッド、５
・・・・・・プローブヘッド保持リング、６・・・・・
・ウェハー、７・・・・・・ウェハー支持装置、９・・
・・・・ウェハープローバ一本体、Ｅ・・・・・・エミ
ッタ、Ｂ・・・・・・ベース。
る。また第３図はウェハー上に載置される半導体ペレッ
トの拡大上面図である。 １・・・・・・基準面、２・・・・・・ステージ、３・
・・・・・測定針、４・・・・・・プローブヘッド、５
・・・・・・プローブヘッド保持リング、６・・・・・
・ウェハー、７・・・・・・ウェハー支持装置、９・・
・・・・ウェハープローバ一本体、Ｅ・・・・・・エミ
ッタ、Ｂ・・・・・・ベース。
Claims (1)
- ステージ上に測定針取付用のプローブヘッドを設けたウ
ェハープローバーであって、該プローブヘッド番な測定
針の配設個数に応じて複数個に分割されたリング状部材
に敢行けられており、該リング状部材は前記ステージ上
で半径方向および円周方向に沿って移動自在に形成され
ていることを特徴とする前記ウェハープローバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17897581U JPS5883151U (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | ウエハ−ブロ−バ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17897581U JPS5883151U (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | ウエハ−ブロ−バ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5883151U true JPS5883151U (ja) | 1983-06-06 |
Family
ID=29974252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17897581U Pending JPS5883151U (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | ウエハ−ブロ−バ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5883151U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4530337Y1 (ja) * | 1967-12-04 | 1970-11-20 | ||
| JPS4873081A (ja) * | 1971-12-17 | 1973-10-02 |
-
1981
- 1981-11-30 JP JP17897581U patent/JPS5883151U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4530337Y1 (ja) * | 1967-12-04 | 1970-11-20 | ||
| JPS4873081A (ja) * | 1971-12-17 | 1973-10-02 |
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