JPS6336042U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6336042U JPS6336042U JP12714586U JP12714586U JPS6336042U JP S6336042 U JPS6336042 U JP S6336042U JP 12714586 U JP12714586 U JP 12714586U JP 12714586 U JP12714586 U JP 12714586U JP S6336042 U JPS6336042 U JP S6336042U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mounting table
- wafer mounting
- supporting substrate
- opening
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
第１図ａ，ｂ，ｃはこの考案のプローブカード
にかかり、ａは上面図、ｂは断面図、ｃはリング
の断面図、第２図ないし第４図はいずれも夫々が
従来例のプローブカードにかかり、各図のａは上
面図、ｂは断面図を夫々示す。 １０１……ウエーハ載置台、１０２……支持基
板、１０２ａ……支持基板の開孔、１１……リン
グ、１１ａ……リングの最大径部、１１ｂ……リ
ングの開口端縁、１１ｃ……リングのテーパ面。
にかかり、ａは上面図、ｂは断面図、ｃはリング
の断面図、第２図ないし第４図はいずれも夫々が
従来例のプローブカードにかかり、各図のａは上
面図、ｂは断面図を夫々示す。 １０１……ウエーハ載置台、１０２……支持基
板、１０２ａ……支持基板の開孔、１１……リン
グ、１１ａ……リングの最大径部、１１ｂ……リ
ングの開口端縁、１１ｃ……リングのテーパ面。
Claims (1)
- 被測定半導体素子が形成された半導体ウエーハ
を載置するウエーハ載置台、上記ウエーハ載置台
の上方にこれと平行に配置され開孔を有する支持
基板、上記支持基板のウエーハ載置台との対向面
側の上記開孔周縁にこれと同心に最大径部で取着
されウエーハ載置台の方向に突出した截頭円錐型
で開口端縁は先端が小径なテーパに形成され、か
つ電気絶縁材でなるリング、上記支持基板のウエ
ーハ載置台との対向面側にこの支持基板からなる
リングの外側面に沿い、かつ開孔の中心から支持
基板に垂直の軸上にウエーハ載置台側を指向して
設けられたプローブ針、および、上記プローブ針
に接続し半導体素子の電気的特性測定を行なう素
子特性測定装置を具備したプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12714586U JPS6336042U (ja) | 1986-08-22 | 1986-08-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12714586U JPS6336042U (ja) | 1986-08-22 | 1986-08-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6336042U true JPS6336042U (ja) | 1988-03-08 |
Family
ID=31021616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12714586U Pending JPS6336042U (ja) | 1986-08-22 | 1986-08-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6336042U (ja) |
-
1986
- 1986-08-22 JP JP12714586U patent/JPS6336042U/ja active Pending