JPS5885491U - 光刻線加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す概略図である。 １・・・・・・加工用レーザ源、２・・・・・・レンズ
系、３゜３１・・・・・・反射ミラー、４・・・・・・
結像レンズ、５゜３５．３６・・・・・・レーザ光、６
・・曲技加工物、７・・・・・・試料、８・・・・・・
レーザ測長用ミラー、９・・・・・・テーブル、１０・
・曲ｚ軸用クサビ、１１・・曲Ｙ軸用テーブル、１２・
・・・・・Ｘ軸周テーブル、１３・・・・・・ベース、
１４・・・・・・Ｘ軸周駆動モータ、１５・・・・・・
Ｚ軸周駆動モータ、１７・・・・・・Ｘ軸用送りネジ、
１８・・・・・・Ｚ軸用送りネジ、１９・・・・・・軸
受、２０・・・・・・真空箱、２１・・・・・・計算機
、２２・・・・・・データ処理装置、２３・・・・・・
２次元レーザ測長器、２４．３２・・・・・・レーザ測
長用光学窓、２５．　２６．　２７．　３４・・・・・
・信号ライン、２８・・・・・・測長用レーザ光、２９
・・・・・・自動焦点コントローラ、３０・・曲レーザ
測長器、３３・・・・・・電流導入端子。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 刻線加工する装置において、レーザビームを用い微小ス
   ポット径に絞るためのレンズ群を有す光学系と、３次元
   移動を行い、かつ、被加工物を搭載可能な試料台と、上
   記試料台上の上記被加工物に平行な２次元座標を検出し
   、かつ、上記レーザ光学系と上記被加工物との距離を一
   定に保つため上記被加工物の面に垂直な方向の距離を検
   出する検出系と、上記光学系、上記試料台および上記検
   出系の各機能を有機的に結合して正確に刻線するための
   制御系とを具備してなることを特徴とする先刻線加工装
   置。