JPS5889380A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS5889380A JPS5889380A JP56187550A JP18755081A JPS5889380A JP S5889380 A JPS5889380 A JP S5889380A JP 56187550 A JP56187550 A JP 56187550A JP 18755081 A JP18755081 A JP 18755081A JP S5889380 A JPS5889380 A JP S5889380A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- thermal head
- heating element
- conductor film
- resistor film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/345—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads characterised by the arrangement of resistors or conductors
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は感熱プリンター用の印字ヘッド、特に発熱ドツ
トが数個板１〜列に並んだ構造のサーマルヘッドに関す
る。
トが数個板１〜列に並んだ構造のサーマルヘッドに関す
る。
従来の印字ヘッドには、平板形と円柱形がある。
平板形は第１図に示すような構造のものである。
この平板形のサーマルヘッドは、絶縁基板１の上に突起
をつくり、表面にＮ ｉ Ｃｒなどの発熱抵抗体膜２を
真空蒸着で形成し、その上にＡｕなどの導体膜３を形成
し、フォトリゾグラフィにてパターン形成した後、上に
耐磨耗膜４として酸化タンタルなどをスパッタにて形成
する。使用時は導体膜３の両端に電圧印加し、発熱体ド
ツト部２ａを発熱させて耐磨耗膜４の上を滑る感熱紙６
を発色させるものである。しかしこの構造は充分な紙へ
の押しつけ圧力を得るために、製造時にサーマルヘッド
の発熱ドツト部分だけ基板を盛り上げる必要があり、そ
れだけ工程が複雑となって製造価格を引き上げている。
をつくり、表面にＮ ｉ Ｃｒなどの発熱抵抗体膜２を
真空蒸着で形成し、その上にＡｕなどの導体膜３を形成
し、フォトリゾグラフィにてパターン形成した後、上に
耐磨耗膜４として酸化タンタルなどをスパッタにて形成
する。使用時は導体膜３の両端に電圧印加し、発熱体ド
ツト部２ａを発熱させて耐磨耗膜４の上を滑る感熱紙６
を発色させるものである。しかしこの構造は充分な紙へ
の押しつけ圧力を得るために、製造時にサーマルヘッド
の発熱ドツト部分だけ基板を盛り上げる必要があり、そ
れだけ工程が複雑となって製造価格を引き上げている。
円柱形は第２図に示すようなもので、膜の構造は平板形
と同様である。すなわち、円柱形の絶縁基体６の上に発
熱抵抗体膜７、その上に導体膜８、さらにその上に耐磨
耗膜−９を形成している。７ａは発熱体ドツト部である
。この円柱形のサーマルヘッドにおいては円周曲面を利
用しているだめ、そのままで紙６との接触が確実に行わ
れ、ドツト部分だけを盛り上げる必要はないので、平板
形よシ有利である。しかし発熱体のパターンを形成す３
べ一７′ る時に、曲面上に対してフォトリゾグラフィを行わなけ
ればならないため、技術的にむずかしく、１だ工数もか
かるという難点がある。
と同様である。すなわち、円柱形の絶縁基体６の上に発
熱抵抗体膜７、その上に導体膜８、さらにその上に耐磨
耗膜−９を形成している。７ａは発熱体ドツト部である
。この円柱形のサーマルヘッドにおいては円周曲面を利
用しているだめ、そのままで紙６との接触が確実に行わ
れ、ドツト部分だけを盛り上げる必要はないので、平板
形よシ有利である。しかし発熱体のパターンを形成す３
べ一７′ る時に、曲面上に対してフォトリゾグラフィを行わなけ
ればならないため、技術的にむずかしく、１だ工数もか
かるという難点がある。
また前記従来のサーマルヘッドの製造時には、導体パタ
ーンのエツチング時７２発熱体のエツチング時、リード
線の取ｐ付は時と３回の微細位置合わせを行わねばなら
ず（平板形では更にドツト部分盛り上げ時の位置合わせ
が加わる）“、多くの工数を要していた。
ーンのエツチング時７２発熱体のエツチング時、リード
線の取ｐ付は時と３回の微細位置合わせを行わねばなら
ず（平板形では更にドツト部分盛り上げ時の位置合わせ
が加わる）“、多くの工数を要していた。
さらに従来、発熱体の抵抗値は、一般にドツト寸法を個
々のサーマルヘッドに対して変ることができないため、
薄膜形成時に一義的に決定されてしまい、薄膜形成時の
抵抗値のばらつきが製造時の全体の歩留りに大きく悪影
響を及ぼしていた。
々のサーマルヘッドに対して変ることができないため、
薄膜形成時に一義的に決定されてしまい、薄膜形成時の
抵抗値のばらつきが製造時の全体の歩留りに大きく悪影
響を及ぼしていた。
本発明は以上の点に鑑み、円柱形の利点を利用しつつ製
造上の難点を解決したサーマルヘッドを提供することを
目的とする。
造上の難点を解決したサーマルヘッドを提供することを
目的とする。
この目的を達成するために本発明は、発熱抵抗体膜およ
び導体膜の形成された絶縁基体の軸の回りを旋回し発熱
抵抗体膜および導体膜を複数の領域に分離するだめの螺
線状の溝を形成したものである。
び導体膜の形成された絶縁基体の軸の回りを旋回し発熱
抵抗体膜および導体膜を複数の領域に分離するだめの螺
線状の溝を形成したものである。
以下本発明の一実施例について第３図、第４図を用いそ
の構成と製造方法について説明する。図において１ｏは
直径３論のアルミナよりなる絶縁基体である。この絶縁
基体１００周面上にＮｉＣｘ合金を蒸着して発熱抵抗体
膜を形成し、この発熱抵抗体膜１１上にＡｕを導電材料
として蒸着させて導体膜１２を形成する。このようにし
て絶縁基体１０上に発熱抵抗体膜１１．導体膜１２を形
成したのち、ディスクブレードのカッター刃またはレー
ザー光にて絶縁基体１０の一部まで削シ取る深さに溝切
りを行い、螺旋状の溝１３を形成する。
の構成と製造方法について説明する。図において１ｏは
直径３論のアルミナよりなる絶縁基体である。この絶縁
基体１００周面上にＮｉＣｘ合金を蒸着して発熱抵抗体
膜を形成し、この発熱抵抗体膜１１上にＡｕを導電材料
として蒸着させて導体膜１２を形成する。このようにし
て絶縁基体１０上に発熱抵抗体膜１１．導体膜１２を形
成したのち、ディスクブレードのカッター刃またはレー
ザー光にて絶縁基体１０の一部まで削シ取る深さに溝切
りを行い、螺旋状の溝１３を形成する。
この溝切りはブレードを固定しておいて絶縁基体１ｏを
回転させながら軸方向に送る方法にて簡単に行うことが
できる。送シのピッチは発熱体のドツトピッチ０．３６
■となっている。
回転させながら軸方向に送る方法にて簡単に行うことが
できる。送シのピッチは発熱体のドツトピッチ０．３６
■となっている。
次に第４図に示すように発熱体ドツト部１１ａを作成す
るために、絶縁基体１０の軸と平行な方向にドツト幅０
．３簡に導体膜１２をエツチングに５１１・−７′ より除去する。また発熱体ドツト部１１ａの裏側の絶縁
基体１０を発熱抵抗体膜１１および導体膜１２とともに
すり落とす。
るために、絶縁基体１０の軸と平行な方向にドツト幅０
．３簡に導体膜１２をエツチングに５１１・−７′ より除去する。また発熱体ドツト部１１ａの裏側の絶縁
基体１０を発熱抵抗体膜１１および導体膜１２とともに
すり落とす。
次に発熱体ドツト部１１ａの上にＴａ２ｏ６の耐磨耗膜
をスパッタリングで形成する。さらに発熱体ドツト部１
１ａの両端の導電部１２ａの各々の端に電圧印加用のリ
ード線を接続する。以上のようにして本実施例のサーマ
ルヘッドは製造される０本実施例のサーマルヘッドにお
いては、微細位置合わせはリード線の取付けの際の１回
だけで良い。すなわち導体パターンのエツチング（発熱
体ドツト部１１＆の形成）は円周上のどの位置でも良い
から位置合わせをする必要がなく、またドツトピッチに
ついては溝切シ時に軸方向送りの速度を制御することに
より、簡単に精度の良いピッチ寸法を実現することがで
きる。
をスパッタリングで形成する。さらに発熱体ドツト部１
１ａの両端の導電部１２ａの各々の端に電圧印加用のリ
ード線を接続する。以上のようにして本実施例のサーマ
ルヘッドは製造される０本実施例のサーマルヘッドにお
いては、微細位置合わせはリード線の取付けの際の１回
だけで良い。すなわち導体パターンのエツチング（発熱
体ドツト部１１＆の形成）は円周上のどの位置でも良い
から位置合わせをする必要がなく、またドツトピッチに
ついては溝切シ時に軸方向送りの速度を制御することに
より、簡単に精度の良いピッチ寸法を実現することがで
きる。
また発熱抵抗体膜１１の形成後に個々の素体の表面抵抗
値を測定し、ランク分けした後に各々のランクに応じて
導体膜１２のエツチング幅を変えることにより、簡単に
最終抵抗値を一定値に調整 − することができ、製造歩留りを大きく向上させることが
できる。
値を測定し、ランク分けした後に各々のランクに応じて
導体膜１２のエツチング幅を変えることにより、簡単に
最終抵抗値を一定値に調整 − することができ、製造歩留りを大きく向上させることが
できる。
また溝切り時に絶縁基体１０の一部まで削り取るので、
ドツト間の熱的な分離も良く、印字のにじみが改良され
る。
ドツト間の熱的な分離も良く、印字のにじみが改良され
る。
なお、各部材の材質などについては゛、実施例に挙げた
ものでなくても良く、例えば絶縁基体１゜については、
アルミナの他に７オルステライトなどの酸化物、シリカ
などの各種ガラスなど種々用いることができ、抵抗発熱
体膜１１としてはＮｉＣｒの他Ｔａ、ＴａＮ、Ｗなど多
数ある。導体膜１２についても同様である。また、絶縁
基体１゜は外周が溝切り時に円柱形をしていれば良いの
で、例えば抵抗発熱体膜１１の形成時に便利なように、
中に穴がおいていても効果には影響はない。さらに抵抗
発熱体膜１１および導体膜１２については、絶縁基体円
周全面について形成されていなくても良く、導体膜１２
のエツチングを施す位置に抵抗発熱体膜１１があれば充
分である。この場合、第４図で示したように発熱体ドツ
ト部１１ａの裏側７ベーン の絶縁基体１０をすり落とす必要はないので絶縁基体１
０は円柱形のままとなる。
ものでなくても良く、例えば絶縁基体１゜については、
アルミナの他に７オルステライトなどの酸化物、シリカ
などの各種ガラスなど種々用いることができ、抵抗発熱
体膜１１としてはＮｉＣｒの他Ｔａ、ＴａＮ、Ｗなど多
数ある。導体膜１２についても同様である。また、絶縁
基体１゜は外周が溝切り時に円柱形をしていれば良いの
で、例えば抵抗発熱体膜１１の形成時に便利なように、
中に穴がおいていても効果には影響はない。さらに抵抗
発熱体膜１１および導体膜１２については、絶縁基体円
周全面について形成されていなくても良く、導体膜１２
のエツチングを施す位置に抵抗発熱体膜１１があれば充
分である。この場合、第４図で示したように発熱体ドツ
ト部１１ａの裏側７ベーン の絶縁基体１０をすり落とす必要はないので絶縁基体１
０は円柱形のままとなる。
溝切り方法については、第６図に示すように螺旋状に切
る方法が機械的動きから考えても最も簡単に切削でき、
また速度も速く切削できる方法であり、効果的である。
る方法が機械的動きから考えても最も簡単に切削でき、
また速度も速く切削できる方法であり、効果的である。
これに反して第６図に示すように溝１３′を例えば円柱
軸に直角方向に切ることを繰り返すなどの方法にするこ
とは、生産機器の機構が複雑となったり、製造に時間が
かかったりするため効果が半減する。
軸に直角方向に切ることを繰り返すなどの方法にするこ
とは、生産機器の機構が複雑となったり、製造に時間が
かかったりするため効果が半減する。
以上のように本発明のサーマルヘッドは構成したので、
微細位置合わせが１回だけで良く、容易にかつ安価に製
造することができ、また導体膜のエツチング幅を変える
ことにより簡単に最終抵抗値を一定値に調整することが
でき製造歩留りを大きく向上することができるものでち
り、その工業的価値は高い。
微細位置合わせが１回だけで良く、容易にかつ安価に製
造することができ、また導体膜のエツチング幅を変える
ことにより簡単に最終抵抗値を一定値に調整することが
でき製造歩留りを大きく向上することができるものでち
り、その工業的価値は高い。
第１図および第２図は従来のサーマルヘッドの断面図、
第３図および第４図は本発明における一実施例のサーマ
ルヘッドの製造過程における斜視図、第６図および第６
図は溝切り方法の説明図である。 １ｏ・・・・・・絶縁基体、１１・・・・・・抵抗発熱
体膜、１１ａ・・・・・・発熱体ドツト部、１２・・・
・・・導体膜、１２ａ・・・・・・導電部、１３・・・
・・・溝。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第３図 第４図 Ｏ 第５図 ｆ、１ 第６Ｖ４ ｆ３’
第３図および第４図は本発明における一実施例のサーマ
ルヘッドの製造過程における斜視図、第６図および第６
図は溝切り方法の説明図である。 １ｏ・・・・・・絶縁基体、１１・・・・・・抵抗発熱
体膜、１１ａ・・・・・・発熱体ドツト部、１２・・・
・・・導体膜、１２ａ・・・・・・導電部、１３・・・
・・・溝。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第３図 第４図 Ｏ 第５図 ｆ、１ 第６Ｖ４ ｆ３’
Claims (1)
- 円柱状または略円柱状の絶縁基体表面に形成した発熱抵
抗体膜と、この発熱抵抗体膜上に形成した導体膜と、こ
の導体膜を前記絶縁基体の軸と平行な方向に除去し前記
発熱抵抗体膜を露出させて形成上だ発熱部とを備え、前
記絶縁基体の軸の回りを旋回し、前記発熱抵抗体膜およ
び導体膜を複数の領域に分離するための螺線状の溝を形
成してなるす〜マルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56187550A JPS5889380A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56187550A JPS5889380A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5889380A true JPS5889380A (ja) | 1983-05-27 |
Family
ID=16208036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56187550A Pending JPS5889380A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5889380A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0222836U (ja) * | 1988-07-30 | 1990-02-15 | ||
| US7361869B2 (en) * | 2001-12-19 | 2008-04-22 | Watlow Electric Manufacturing Company | Method for the production of an electrically conductive resistive layer and heating and/or cooling device |
-
1981
- 1981-11-20 JP JP56187550A patent/JPS5889380A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0222836U (ja) * | 1988-07-30 | 1990-02-15 | ||
| US7361869B2 (en) * | 2001-12-19 | 2008-04-22 | Watlow Electric Manufacturing Company | Method for the production of an electrically conductive resistive layer and heating and/or cooling device |
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