JPS589329A - 電極リ−ド線接続方法 - Google Patents

電極リ−ド線接続方法

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JPS589329A
JPS589329A JP56106460A JP10646081A JPS589329A JP S589329 A JPS589329 A JP S589329A JP 56106460 A JP56106460 A JP 56106460A JP 10646081 A JP10646081 A JP 10646081A JP S589329 A JPS589329 A JP S589329A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
lead
electrodes
conductive material
electrode pattern
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Pending
Application number
JP56106460A
Other languages
English (en)
Inventor
Akizou Iida
飯田 昭参
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
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Filing date
Publication date
Application filed by Agency of Industrial Science and Technology filed Critical Agency of Industrial Science and Technology
Priority to JP56106460A priority Critical patent/JPS589329A/ja
Publication of JPS589329A publication Critical patent/JPS589329A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/90Bond pads, in general

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本実明社、電子デバイス等の電極にリード線を接続する
方法に関するものである。
従来、電子デバイス等の電極にリード線を接続する方法
として、直径数十μ重程度の細い金線やアルミニウム義
を超音波融着や熱圧着等虻より一本一本行って−たが、
非常に細−義、を級う為、熟練を要し又煩雑であった。
またリード線を銀ペースシで接続する方法は、銀ペース
トが塗布される領域の面積が広くかつ塗布される位置の
制御性が極めて悪い為に微小かつ複雑なデバイスへの使
用は困難であるという欠点があった。更にハンダ付けも
同様な嫌いがあったO本発明は、上記の欠点を解決する
目的でなされたもので、常温でも軟かく且つ粘着性を帯
びている導電性物質(実施例ではインジウム)の性質を
利用したものである。
本発明は、銀ペーストやハンダ付け′の手法を−人れて
はいるが、絶縁基板1虻、デバイス上索微□小電極部分
に9合される電極部分と銀ペースト或−はハンダ付けを
する為の広い面積とを併せ持つ粘着性導電物質(インジ
ウム)電極パターンを形成し、その微小電極とデバイス
の微小電極とを位置合せした後、僅かな圧力を加えるこ
とによりデバイス電極と、リード線引出電極が多数個同
時に接続される特徴を有するものである。
以下、本発明の実施例について説明する。
第1図は素子用電極の構成を示す図であシ、絶縁基板C
本実施例ではガラス基板)lの上に正方形に整形された
半導体薄片(膜)2が附けである0この半導体片の四隅
に各々素子用電極(オーミック電極)が附けられている
◎即ち、これはパラ法によってホール効果を測定する為
の電極である。
第2図はガラス基板等5の絶縁基板上に真空蒸着によ〉
適当な厚さくlμ鳳〜/(DIN位)の膜に素子基板及
び素子1.3!、8或いは第2図で示した電極基板5の
いずれかを裏返して互いに両ながら容易に位置合せを行
うことができる−15.。
位置合せを行った後、これら基板[t 1 t [’Q
ii<・軽く圧力を印加することによシ素子用電極8と
電極パターン番が接合される。
前述したように、粘着性導電物質であるインジウムは常
温でも軟かく粘着性を帯びて―るので、容易に電極接続
を行うことが可能である・素子用電極8七電極パターン
4の表WJFi、いずれも粘着性導電物質(インジウム
)であることが最良であるが、どちらか一方が粘着性導
電物質(インジウム)であって奄よい。
但し、素子用電極8か電極パターン4の―ず要である。
素子用電極8は勿論のこと、電極パターン4は所望のパ
ターンの蒸着マスクを絶縁基板1,5に当てて粘着性導
電物質(インジウム)の蒸着を行うか、又は、フォトエ
ツチングでt&形してもよ−。
粘着性導電物質(インジウム)の基鞭上への成膜は、印
刷法等によってもよい。
1183図は、以上説明した素子用電極(オーミック電
極)8と電極パターン4を接合接着した状態を示す図で
ある。
基板1.5#′i、fl/図に示す基&1と第2図に示
す基板5が重ね合さった状態を示す◎電極部の広い部分
に、外部へ引出す為の電!I(リード!I) 7をへン
ダ付け6或いは銀ペースト6等により接続して完成する
また、素子用電極3と電極パターン4を接合する前に、
電極パターン4の広い部分に予め電1纏(リード線)7
をハンダ付け6するか或いは銀ヘースト6で接続してお
いてもよい。
とが可能である。
なお、本実施例はパラ法測定用本−ル素i示したので、
同素子の素子用電極8&f即ちオーミック電極であるが
、他のデバイス実施例においては、素子用電極の直下に
シ曹ットキパリア電極或≠はp−n接合等が接合構成さ
れてもよい〇 本発明は比較的大IIiい電極パターンを容易に構成す
ることを可能にするので、太陽電池等比較的大電流を取
出すデバイス用電極す−ド纏取出法として適しており、
その発展に大きく貢献することが期待される。
【図面の簡単な説明】
第1図轄素子用電極構成略図、第2図は電極にターン備
成峙図、第3図は素子用電極と電極パターンが接合−統
された状態を示す111t&略図で為る。 図中、lはガラス等絶縁基板、gは半導体片。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  粘着性S富物質から成るリードタlIH用電
    、極と粘着性導電物質から成る素子用−極とを相互に位
    置合せ接触せしめたことを特徴とする電極リード線接続
    方法。
  2. (2)  リード引出用電極かまた゛は□素子用電極の
    −ずれか一方が粘着性導電物質から成る電極で:Toる
    特許請求の範囲第7項記載の電極リー□ド鍍1接続方法
JP56106460A 1981-07-08 1981-07-08 電極リ−ド線接続方法 Pending JPS589329A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4945634A (en) * 1988-08-31 1990-08-07 Murata Mfg. Co., Ltd. Assembly packaging method for sensor elements

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5011779A (ja) * 1973-06-04 1975-02-06

Patent Citations (1)

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JPS5011779A (ja) * 1973-06-04 1975-02-06

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