JPS5895743A - 電子写真用像形成部材 - Google Patents
電子写真用像形成部材Info
- Publication number
- JPS5895743A JPS5895743A JP56194972A JP19497281A JPS5895743A JP S5895743 A JPS5895743 A JP S5895743A JP 56194972 A JP56194972 A JP 56194972A JP 19497281 A JP19497281 A JP 19497281A JP S5895743 A JPS5895743 A JP S5895743A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rays
- image forming
- forming member
- electrophotography
- photoconductive layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording-members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat or to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
- G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
- G03G5/08214—Silicon-based
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
零発明け、広義の意味の光（紫外光線、可視光線、、赤
外光線、Ｘ線、ｒ線等）ＶＣ感受性があり、静電倫形成
処理を施されて、偉形成され得る電子写真用像形成部材
に関する。
外光線、Ｘ線、ｒ線等）ＶＣ感受性があり、静電倫形成
処理を施されて、偉形成され得る電子写真用像形成部材
に関する。
本発明の目的は、光伝導率の向上、正、負の電荷に対す
る帯電特性の向上、耐熱性の改善にありアモルファス窒
化シリコン（以後 ａ−８ｉ：Ｎ：Ｈと略す）か、電子
写真用像形成部材として棲めて優れていることを見出し
た点に基いて成されている。
る帯電特性の向上、耐熱性の改善にありアモルファス窒
化シリコン（以後 ａ−８ｉ：Ｎ：Ｈと略す）か、電子
写真用像形成部材として棲めて優れていることを見出し
た点に基いて成されている。
本発明に於いて ａ−Ｓｉ ： Ｎ ： ＦＴ層にドー
ピングする増感中心元素としては、Ｏ、Ｇｏ 、” Ａ
ｓ 、 Ｓｎ”。
ピングする増感中心元素としては、Ｏ、Ｇｏ 、” Ａ
ｓ 、 Ｓｎ”。
Ｓｂ、Ｔθ、 Ｓｅ 等とこれらと類似の多数の単
体りは化合物が鳴動なものとして挙げられる。
体りは化合物が鳴動なものとして挙げられる。
本発明に於いて支持体は、ステンレス、Ａｌ、ＣｒＭｏ
、’Ａｕ、 工ｒ、 Ｎｂ、 Ｔａ’、 Ｖ、
Ｔｉ、 Ｐｔ、 Ｐａ、Ｏｕ郷の合金又はこれら
の金属が蒸着された導電性支持体、耐熱性を示す合成樹
脂のフィルム、シート。
、’Ａｕ、 工ｒ、 Ｎｂ、 Ｔａ’、 Ｖ、
Ｔｉ、 Ｐｔ、 Ｐａ、Ｏｕ郷の合金又はこれら
の金属が蒸着された導電性支持体、耐熱性を示す合成樹
脂のフィルム、シート。
ガラス、セラミック等の絶縁性支持体が有効なものとし
て挙げられる。
て挙げられる。
本発明にμける光導電層は、Ｐ型、１型、・型りはどれ
らに増感中心をドーピングした光導電層の内の一種類で
形成するか、又は少くとも二種類で構成する多層接合に
するかによって得られる。
らに増感中心をドーピングした光導電層の内の一種類で
形成するか、又は少くとも二種類で構成する多層接合に
するかによって得られる。
本発明に於いて、ａ：ｓｉ：）Ｊ：Ｈの導伝率は、１０
−４〜１０″１ｓΩＣであに、電荷保持能力は十分満足
する。
−４〜１０″１ｓΩＣであに、電荷保持能力は十分満足
する。
使用ガスは、ＦｉＨ４とＨ，ヌけＮＨｓ＠ｌいけ不活性
ガスを混合しｔものを用いる。
ガスを混合しｔものを用いる。
基飯涙度は、１５０〜３５０℃、廃周波電力は２０〜３
ＤＯＷ、ガス圧力は１０′〜５０ ｔｏｒｒでａ ：
Ｓｉ ：Ｎ：Ｈ製作を行なう。ＳｉＨ４とＩＪＨａ或い
は８１Ｈ４とＮ！の混合比け０２〜２．０、Ｑｌ Ｈ４
とＨｚ の混合比＃′ｉｏ３〜ｔ５、Ｅ’ ｉ Ｈ４と
不活性ガスの混合比は、０５〜２．０が望ましＩ／１゜ 本発明に於ける光導電層は、グロー放電法、スパッタリ
ング法、イオンプランテーシ冒ン法、イオンブレーティ
ング法当によって形成される。
ＤＯＷ、ガス圧力は１０′〜５０ ｔｏｒｒでａ ：
Ｓｉ ：Ｎ：Ｈ製作を行なう。ＳｉＨ４とＩＪＨａ或い
は８１Ｈ４とＮ！の混合比け０２〜２．０、Ｑｌ Ｈ４
とＨｚ の混合比＃′ｉｏ３〜ｔ５、Ｅ’ ｉ Ｈ４と
不活性ガスの混合比は、０５〜２．０が望ましＩ／１゜ 本発明に於ける光導電層は、グロー放電法、スパッタリ
ング法、イオンプランテーシ冒ン法、イオンブレーティ
ング法当によって形成される。
以下実施例に従りて、本発明の顕著なる効果を詐明する
。
。
実施例１
清浄された５ｘ７ｔｓアルミニウム基板をグロー放電堆
積槽内の１＃板ホルダーに固定し、槽内を１Ｘ １０”
ｔｏｒｒの真空 にし、基板ａｔ度を２００℃に保も
、ＳｉＨ＋ 、 ＮＴｌ５ 、 Ｂ暑の混合ガスを毎
分１［］Ｏｍｌ流入させて１ ｔｏｒｒに保持する。そ
の後電極間に１５５６ＭＨｚのＲに電力を投入しグロー
放電を起こし、６ＱＷの電力を入力した。３８１％間款
電し１０μ厚のａ： ａｔ ： Ｎ： Ｈ膜を形成した
。こうして得られた膜を直ちに６ＫＶのコロナ帯電器で
帯電したところ、帯電圧ｉｉ７０ Ｖ／：ｐｒｎが得ら
れ、棲めて電荷保持能力が優れている。
積槽内の１＃板ホルダーに固定し、槽内を１Ｘ １０”
ｔｏｒｒの真空 にし、基板ａｔ度を２００℃に保も
、ＳｉＨ＋ 、 ＮＴｌ５ 、 Ｂ暑の混合ガスを毎
分１［］Ｏｍｌ流入させて１ ｔｏｒｒに保持する。そ
の後電極間に１５５６ＭＨｚのＲに電力を投入しグロー
放電を起こし、６ＱＷの電力を入力した。３８１％間款
電し１０μ厚のａ： ａｔ ： Ｎ： Ｈ膜を形成した
。こうして得られた膜を直ちに６ＫＶのコロナ帯電器で
帯電したところ、帯電圧ｉｉ７０ Ｖ／：ｐｒｎが得ら
れ、棲めて電荷保持能力が優れている。
実施例２
実施ｆｌ＋ １と同様にして、ＢＬｍ 、 Ｎジ、Ｈｚ
混合ガスＢｔＨａガスを１１００ｐｐ混合し、Ｐ型膜を
積層した後５１αの露光量で露光した結果、正電荷に対
してけ帯電圧４０Ｖ／’ｔｓｍ 、感度は０．８１ｕｘ
ｓ ｓｅｅであＦ）、Ｂｅ感光体よりも優れている。
混合ガスＢｔＨａガスを１１００ｐｐ混合し、Ｐ型膜を
積層した後５１αの露光量で露光した結果、正電荷に対
してけ帯電圧４０Ｖ／’ｔｓｍ 、感度は０．８１ｕｘ
ｓ ｓｅｅであＦ）、Ｂｅ感光体よりも優れている。
実施例３
実施例１と同様にして８１Ｈ４，ＮＨｓ、Ｈｚ混合ガス
に１００飛のＰＨを混合し、ｎ型膜を積層した徒、５
ｌｕｘの露光量で露光した結果、負電荷に対して帯電圧
４０Ｖ／μｍ。
に１００飛のＰＨを混合し、ｎ型膜を積層した徒、５
ｌｕｘの露光量で露光した結果、負電荷に対して帯電圧
４０Ｖ／μｍ。
感度は０．８１ｕｘ ｓｅｃでありＳｅ感光体よりも優
れている。
れている。
実施例４
実施例２に於いてＢ２Ｈ・を調整し、１型膜を積層した
後、露光したところ、正負電荷に対して帯電圧、３７
Ｖ／ａｍ 、感度は１１ｕｘ ｓｅａのパイチャージ光
導電層を形成した。
後、露光したところ、正負電荷に対して帯電圧、３７
Ｖ／ａｍ 、感度は１１ｕｘ ｓｅａのパイチャージ光
導電層を形成した。
実施例５
実施例１の混合ガスにＧｅ Ｈ４を混合して積層した稜
、５ ｌｕｘの露光量で露光した結果、正電荷に対して
、帯電圧４０ Ｖ／μｍ１感度け０．１１ｕｘ ｓｅｃ
であシ感度が向上した。
、５ ｌｕｘの露光量で露光した結果、正電荷に対して
、帯電圧４０ Ｖ／μｍ１感度け０．１１ｕｘ ｓｅｃ
であシ感度が向上した。
実施例５
実施例２の混合ガスに８ｎＨ，を混合し、積層したとこ
ろ、負電荷に対して帯電圧４ｏｖ／μｍ、感度α２ ｌ
ｕｘ ｓｅｅの膜が得られた。
ろ、負電荷に対して帯電圧４ｏｖ／μｍ、感度α２ ｌ
ｕｘ ｓｅｅの膜が得られた。
実施例６
実施例３の混合ガスＫＯｘを混合し、積層したところ、
正、負電荷に対して帯電圧３８ｖ／μｍ、感度（Ｌ １
１ｕｘ ｓｅｅの膜が得られ、Ｂｅ感光体よりも著しく
優れている。
正、負電荷に対して帯電圧３８ｖ／μｍ、感度（Ｌ １
１ｕｘ ｓｅｅの膜が得られ、Ｂｅ感光体よりも著しく
優れている。
以 上
出願人 株式会社 諏訪精工舎
代坪人 弁理士 最上 務
Claims (1)
- （１） 支持体、アモルファス窒化シリコンからなる
光導電層を有することを特徴とする電子写真用像形成部
材。 （２アモルファス窒化シリコンからなる光導電層に増感
中心元素をドーピングすることを特徴とする特許請求範
囲第１項記載の電子写真用像形成部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56194972A JPS5895743A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 電子写真用像形成部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56194972A JPS5895743A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 電子写真用像形成部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5895743A true JPS5895743A (ja) | 1983-06-07 |
Family
ID=16333402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56194972A Pending JPS5895743A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 電子写真用像形成部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5895743A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54145539A (en) * | 1978-05-04 | 1979-11-13 | Canon Inc | Electrophotographic image forming material |
-
1981
- 1981-12-03 JP JP56194972A patent/JPS5895743A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54145539A (en) * | 1978-05-04 | 1979-11-13 | Canon Inc | Electrophotographic image forming material |
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