JPS5898111A - 弗素樹脂製積層型フイルタカ−トリツジ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は精密濾過に用いらする積層型フィルタカート
リッジであってその構成部材がすべて弗素樹脂材料で成
るものに関する。

最近ＩＣ，ＬＳＩ　　などの電子機器部品を製造する工
程において、エツチング用の強酸や洗浄用の溶剤の清浄
度が特に重要視さｎｌこルらの液の精密濾過に過するフ
ィルタが要望さｎている。

そしてそのフィルタの材料としては溶剤、強酸等に対す
る耐薬品性、耐熱性等の点で弗素樹脂が適合しうる唯一
の材料であるとさ１ており、Ｐ材には従来から′用いら
ｎでい友が、フィルタの全構成部材を弗素樹脂製とし友
ものは従来は、存在しなかった。こｎＶｉ、弗素樹脂が
融点が高く、しかもきわめて高粘度で流動性に乏しく、
さらに高温にすると昇華してしまうこと、溶剤でｆ＃看
させることが〒きないことなどにより、２次的加工が実
用上不可能とされており、従って１次的成形加工によっ
て得た成形品の圧着やねじ螺合等の機械的結合のみが採
用さ几ており、これでは十分な７−ル性が得ら几ないか
らである。そのため従来は例えば実開昭５ｆｉ−＋　２
９（１１６号に示で１でいるようにフィルタの構成部材
に他の樹脂材料やステンレス鋼などが用いら几ており、
前記の強酸や溶剤等のＦ液中に樹脂等の有機成分や金属
成分が溶出してＦｌの純度を落とすという不具合があっ
た。

この発明は上記のような不具合を解消するためになさ几
たものであって、すべての部材が弗素樹脂材料で成る精
密濾過用の積層型フィルタカートリッジを提供するもの
である。　゛ この発明を実施例によって説明する。第１図に縦断面を
示す積Ｎｉ型カートリッジｌの内部には、はＮ円盤状の
フィルタユニット２が中央通孔３′ｔ−設、けたボス４
の端面５を互に接触して富ね合わされており、フィルタ
ユニット２はその外面に固看嘔れたＰ材２ａの内側が支
持体２ｂの内部通路２ｃを経て支持体の一部分を構成す
るボス４を貫通する中央通路３に連通ずるようになって
いる。複数のフィルタユニット２０績１一体の中央を貫
通する中央通孔３にはボルト６が挿通さ几ており、その
軸部６ａの外径は中央通孔３に内接する。そして第２図
（イ）（ロ）に示すように軸部６ａねし部６ｂｔｌ−通
して４ｉ＃！ｉの縦ｍ６ｃが設けられている。またボル
ト頭の座面６ｄはフィルタユニット槓）一体のボス部最
下端面に接触している。

ボルトのね゛じ部６ｂはフィルタユニット積層体のボス
部最上端面より上方に突出してカバー７の中央出口孔８
のＦＥ３壁に螺着嘔れ締付けらする。カッ（−７の下面
突出１ｆＩＳ７　ａは前記ボス部最上端面に接触する。

カバ−７下面の゛周縁部７ｂはフィルタユニット２０績
ｌ一体とボルト６を収容するＸコクプ状のボディ９の開
口端９ａと接触してハウジング１１）を形成する。ボデ
ィ９にはＦＷの入口孔■が設けらｎる。

なお入口孔１１はカバー７に設けてもよい。又ノ〜ウジ
ングＨ１の適宜の個所はエア抜き孔１２が必要により設
けらｎる。

上記のように形成さ几たフィルタカートリッジは炉材と
支持体とから成るフィルタユニット、ボルト、カバーお
よびボディがすべて弗素樹脂材料製である。そして上記
各接触部すなわち各フィルタユニット２のボス端面５相
互間、ボス端面５とボルト座面６ｄ間、ボス端面５とカ
バー下面突出部７８問およびカバー周縁部７ｂとボディ
開口端９ａ間は局部加熱により熱１１１看され液密に固
着されている。

なお炉材と支持体の固着シール部も同様熱融着さ１てい
る。

ところで、従来は前記のように弗素樹脂相互間の結合に
熱融着は採用されていなかったが、本出願人の研究実験
に・より融点すなわち２７１１Ｑ−３２７’Ｏの閾では
高粘度ながら流動性を持つようになり、分子活動が活発
化しているので接触部は適宜の圧着状態で加熱すれば溶
融接合できるこ、とが判明した。

５− そしてその温度や加熱時間などの融層条件は、接触部の
形状、面積加圧力等によって変わり、きわめて許容範囲
が狭いながらも実験的に設定することができる、 このようにして熱融着シールが可能となったことにより
、すべての部材が弗素樹脂から成るフィルタカートリッ
ジが笑現さｎたものである。そしてこの熱−着は接触部
に必要な液密性を与える固着シールは可能であるが必ず
しも十分な機械的強度を持つに至らぬ場合があり、また
弗素樹脂材料そのものが剛性に乏しいので、フィルタユ
ニットの積層体はその中央通孔に内接するボルトによっ
て締付けらｎ軸方向および左右方向の外力に対し前記の
構成を有する積層をフィルタカートリッジは適宜の虐要
個所に入口孔および出口孔を接続さｎて便用きｎる。Ｐ
液は入口孔からハウジング内に入りＰ材で濾過さ几支持
体内部通１ｉ３を経て中６一 失速孔に集まり、ボルトの縦溝を通ってカバーに設けた
中央出口孔から送出さ几る。そしてこの発明にか＼るフ
ィルタカートリッジはその構成部材がすべて弗素樹脂で
成っているから金属成分や他の樹脂成分などを戸液中に
溶出してＰ液を不純化することがなく、融着部分ハすべ
て炉材の上流側であるから融着の際に微粉やパリが発生
しても清浄側に流出することがなく、耐酸、耐薬品性、
耐熱性等にすぐｎたフィルタカートリッジであって、Ｌ
ＳＩ　　の生産などに必要な精密濾過の要件を満足する
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の積層型フィルタユニッ）＋７）縦断面
図、１２図（イＪ（ロ）−よボｊレトの図面て、１６゜
２・・・フィルタユニット　３・・・中央通孔４・・・
ボス　　６・・・ボルト　　７・・・カバー８・・・出
口孔　　９・・・ボディ　　１１・・・入口孔７−６

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 支持体およびその外面に固着されたＰ材が共に弗素樹脂
   材料で成るはソ円盤状のフィルタユニットの中央ボス部
   の端面を互に接触させて複数個積層し、軸部およびねじ
   部に複数個の縦溝を有するボルト’ｉ−前記中央ボス部
   を貫通する中央通孔に挿通してボルトの軸部外径全中央
   通孔に内接さぞ、積層したフィルタユニットのボス部最
   下端面とボルドー座面と？接触させ、ボルトねじ部をフ
   ィルタユニットのボス部最上端面より突出させてカバー
   の出口孔内壁のねじに螺着し、カバー下面とフィルタユ
   ニツ）のボス部最上端面とを接触さぞ、カバーの周縁部
   には前記積層したフィルタユニットとボルトとを収容す
   るコツプ状のボディの開口端を接触させてカバーとボデ
   ィとでハウジングを形成させ、ハウジング壁にろ液入口
   孔を開設し、前記フィルタユニットとともにボルト、カ
   バーおよびボデーを弗素樹脂材料製とし、かつ前記Ｐ材
   と支持体のシール部、フィルタユニり）相互間のボス端
   面接触部、ボス端面とボルト頭座面の接触部、ボス端面
   とカバー下面の接触部およびカバーとボディの接触部を
   熱融看により液密に固着したことを特徴とする、弗素樹
   脂製積層型フィルタカ　−　ト　　リ　ッ　ジ　。