JPS6328653B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は精密過に用いられる積層型フイル
タカートリツジであつてその構成部材がすべて弗
素樹脂材料で成るものに関する。

最近IC、LSIなどの電子機器部品を製造する工
程において、エツチング用の強酸や洗浄用の溶剤
の清浄度が特に重要視され、これらの液の精密
過に適するフイルタが要望されている。そしてそ
のフイルタの材料としては溶剤、強酸等に対する
耐薬品性、耐熱性等の点で弗素樹脂が適合しうる
唯一の材料であるとされており、材には従来か
ら用いられていたが、フイルタの全構成部材を弗
素樹脂製としたものは従来は存在しなかつた。こ
れは、弗素樹脂が融点が高く、しかもきわめて高
粘度で流動性に乏しく、さらに高温にすると昇華
してしまうこと、溶剤で溶着させることができな
いことなどにより、２次的加工が実用上不可能と
されており、従つて１次的成形加工によつて得た
成形品の圧着やねじ螺合等の機械的結合のみが採
用されており、これでは十分なシール性が得られ
ないからである。そのため従来は例えば特開昭56
―129016号に示されているようにフイルタの構成
部材に他の樹脂材料やステンレス鋼などが用いら
れており、前記の強酸や溶剤等の液中に樹脂等
の有機成分や金属成分が溶出して液の純度を落
とすという不具合があつた。

この発明は上記のような不具合を解消するため
になされたものであつて、すべての部材が弗素樹
脂材料で成る精密過用の積層型フイルタカート
リツジを提供するものである。

この発明を実施例によつて説明する。第１図に
縦断面を示す積層型カートリツジ１の内部には、
ほヾ円盤状のフイルタユニツト２が中央通孔３を
設けたボス４の端面５を互に熱融着して積層され
ている。フイルタユニツト２は、すべて弗素樹脂
でなり上下面に材２ａが熱融着された支持体２
ｂの内部通路２ｃを経て支持体の一部分を構成す
るボス４を貫通する中央通路３に連通するように
なつている。複数のフイルタユニツト２の積層体
の中央を貫通する中央通孔３にはボルト６が挿通
されており、その軸部６ａの外壁は中央通孔３に
内接する。そして第２図イ，ロに示すように軸部
６ａねじ部６ｂを通して複数の縦溝６ｃが設けら
れている。またボルト頭の座面６ｄはフイルタユ
ニツト積層体のボス部最下端面に熱融着されてい
る。

ボルトのねじ部６ｂはフイルタユニツト積層体
のボス部最上端面より上方に突出してカバー７の
中央出口孔８の内壁に螺着され締付けられる。カ
バー７の下面突出部７ａは前記ボス部最上端面に
熱融着される。カバー７下面の周縁部７ｂはフイ
ルタユニツト２の積層体とボルト６を収容する、
コツプ状のボデイ９の開口端９ａと熱融着されて
ハウジング１０を形成する。ボデイ９には原液の
入口孔１１が設けられる。なお入口孔１１はカバ
ー７に設けてもよい。又ハウジング１０の適宜の
個所はエア抜き孔１２が必要により設けられる。

上記のように形成されたフイルタカートリツジ
は材と支持体とから成るフイルタユニツト、ボ
ルト、カバーおよびボデイがすべて弗素樹脂材料
製である。前記の熱融着された部分はおのおの局
部加熱により熱融着され液密に固着されている。

ところで、従来は前記のように弗素樹脂相互間
の結合に熱融着は採用されていなかつたが、本出
願人の研究実験により融点すなわち270℃〜327℃
の間では、高粘度ながら流動性を持つようにな
り、分子活動が活発化しているので接触部は適宜
の圧着状態で加熱すれば溶融接合できることが判
明した。

そしてその温度や加熱時間などの融着条件は、
接触部の形状、面積加圧力等によつて変わり、き
わめて許容範囲が狭いながらも実験的に設定する
ことができる。

このようにして熱融着シールが可能となつたこ
とにより、すべての部材が弗素樹脂から成るフイ
ルタカートリツジが実現されたものである。そし
てこの熱融着は当該部分に必要な液密性を与える
固着シールは可能であるが必ずしも十分な機械的
強度を持つに至らぬ場合があり、また弗素樹脂材
料そのものが剛性に乏しいので、フイルタユニツ
トの積層体はその中央通孔に内接するボルトによ
つて締付けられ軸方向および左右方向の外力に対
し補強手段としている。またカバーとボデイの接
合部はハウジング外面から、樹脂を被着したり、
クリツプ等の機械的方法で必要により補強する。

前記の構成を有する積層型フイルタカートリツ
ジは適宜の所要個所に入口孔および出口孔を接続
されて使用される。原液は入口孔からハウジング
内に入り材で過され支持体内部通路を経て中
央通孔に集まり、ボルトの縦溝を通つてカバーに
設けた中央出口孔から送出される。そしてこの発
明にかゝるフイルタカートリツジはその構成部材
がすべて弗素樹脂で成つているから金属成分や他
の樹脂成分などを液中に溶出して液を不純に
することがなく、耐酸、耐薬品性、耐熱性等にす
ぐれたフイルタカートリツジであつて、LSIの生
産などに必要な精密過の要件を満足するもので
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の積層型フイルタユニツトの縦
断面図、第２図イはボルトの側面図、第２図ロは
その断面図である。 ２……フイルタユニツト、３……中央通孔、４
……ボス、６……ボルト、７……カバー、８……
出口孔、９……ボデイ、１１……入口孔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 支持体およびその外面に熱融着された材が
   共に弗素樹脂材料で成るほぼ円盤状のフイルタユ
   ニツトの中央ボス部の端面を互に熱融着させて複
   数個積層し、軸部およびねじ部に縦通路を有する
   弗素樹脂製のボルトを前記中央ボス部を貫通する
   中央通孔に挿通し、前記の積層したフイルタユニ
   ツトのボス部最下端面とボルト頭座面とを熱融着
   し、ボルトのねじ部を弗素樹脂製カバーの出口孔
   内壁のねじに螺着し、カバー下面とフイルタユニ
   ツトのボス部最上端面とを熱融着し、入口孔を穿
   設した弗素樹脂製のコツプ状のボデイの開口端を
   前記カバー周縁に熱融着してボデイ内に前記フイ
   ルタを収容してなる弗素樹脂製積層型フイルタカ
   ートリツジ。