JPS5898828A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS5898828A JPS5898828A JP56196907A JP19690781A JPS5898828A JP S5898828 A JPS5898828 A JP S5898828A JP 56196907 A JP56196907 A JP 56196907A JP 19690781 A JP19690781 A JP 19690781A JP S5898828 A JPS5898828 A JP S5898828A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amorphous
- parts
- manufacturing
- head chip
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/147—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive with cores being composed of metal sheets, i.e. laminated cores with cores composed of isolated magnetic layers, e.g. sheets
- G11B5/1475—Assembling or shaping of elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
気ヘッド、特にＶＴＲ用感気ヘアドの製造に関するもの
である。
である。
通常’Ｉ ＶＴＲヘッドはテープ０の保磁力が５００〜
６ ０ ０ ０ｅであり、ヘッド月相の磁束密度は若干
低くても使用できるため耐摩耗性、高周波特性の優れた
フェライト磁心が使用されている。
６ ０ ０ ０ｅであり、ヘッド月相の磁束密度は若干
低くても使用できるため耐摩耗性、高周波特性の優れた
フェライト磁心が使用されている。
最近、篩記録密度化をはかるため残留磁束密度が高く保
磁力も１ ０ ０ ０ ０ｅ以上のメタルテープが使用
されようとしているが、このような高い保磁力のテープ
にはフェライトでは十分な記録を行なうことができない
。そこで磁束重度の高い金属磁性材料（ Ｆｅ−Ｓｉ−
Ａ４合金や非晶質合金）でヘッドを作る必要がある。■
″ｒＲ用ヘノドの場合、使用周波数が数ＩＶ［Ｈｚと高
いため高周波特性の優れた材料が必要であり金属材料の
ように電気抵抗が低い材料では渦電流損失を少なくする
ため薄板状として使用する。Ｆｅ −Ｓ ｉ−Ａｔ合ａ
の場合機械加工により薄板にする必要があるが非晶質合
金の場合製造段階で薄板であるためほとんど加工の必要
がなり、シたがって非晶質磁性体はこのような用途には
適した材料といえる。
磁力も１ ０ ０ ０ ０ｅ以上のメタルテープが使用
されようとしているが、このような高い保磁力のテープ
にはフェライトでは十分な記録を行なうことができない
。そこで磁束重度の高い金属磁性材料（ Ｆｅ−Ｓｉ−
Ａ４合金や非晶質合金）でヘッドを作る必要がある。■
″ｒＲ用ヘノドの場合、使用周波数が数ＩＶ［Ｈｚと高
いため高周波特性の優れた材料が必要であり金属材料の
ように電気抵抗が低い材料では渦電流損失を少なくする
ため薄板状として使用する。Ｆｅ −Ｓ ｉ−Ａｔ合ａ
の場合機械加工により薄板にする必要があるが非晶質合
金の場合製造段階で薄板であるためほとんど加工の必要
がなり、シたがって非晶質磁性体はこのような用途には
適した材料といえる。
しかしへ、ドの製造上からいえば薄板状の材料はあつが
いにくく量産性に欠ｒ）−るため通常、他の相別と組合
せたり、多数枚積層したりしてギヤ。
いにくく量産性に欠ｒ）−るため通常、他の相別と組合
せたり、多数枚積層したりしてギヤ。
ブトパーの形状とする製造方法がとられる。
第１図にフェライト磁性体を使用したときのヘッドの製
法を示す。フェライト磁心１，１′を突合せギヤノブド
パ−Ａを作成し、そのギヤラフ０ドパ−のａ −ａ’お
よびｂ −ｂ’綾線上Ｃ方向に切断する事によりヘッド
チ、７°を得る。第２図にヘッドチップを示す。前記切
断はコア幅Ｃｗが規定の寸法になるように行なわれる。
法を示す。フェライト磁心１，１′を突合せギヤノブド
パ−Ａを作成し、そのギヤラフ０ドパ−のａ −ａ’お
よびｂ −ｂ’綾線上Ｃ方向に切断する事によりヘッド
チ、７°を得る。第２図にヘッドチップを示す。前記切
断はコア幅Ｃｗが規定の寸法になるように行なわれる。
トラ、り幅ＴＷはキャップドパ−作成以前に機械加工に
より加工され、Ｃｗ−Ｔｗの部分２はガラスでモールド
されている。
より加工され、Ｃｗ−Ｔｗの部分２はガラスでモールド
されている。
第３図に非晶質磁心を用いた磁気ヘッドの製法の一例を
示す。やはりギヤソゲドパ−の形状を取るが、フェライ
ト磁心ｌの間に非晶質磁心３がフェライト磁心１と接着
された形で配置されている。
示す。やはりギヤソゲドパ−の形状を取るが、フェライ
ト磁心ｌの間に非晶質磁心３がフェライト磁心１と接着
された形で配置されている。
−＼ッドチ、フ０を得るには、前記フェライトへ、ドと
同様にａ −ａ’とｂ −ｂ’の線上をＣ方向に向って
切断することにより行なわれる。第４図にヘッドチップ
を示す。トラック部は非晶質磁心３で構成され、その側
面に磁路の磁気抵抗を下けるためと、耐摩耗性を良くす
るためフエライ］・磁心１が接着されている。捷だコア
幅Ｃｗとトラック幅ＴｗＯ差の部分２はガラスなどでモ
ールドされている。この製造方法では非晶質とフェライ
トを接着しなければならない。しかしこれら両者の熱膨
張係数が大きく異なるため非常に接着強度が弱い。また
ギャップを形成する際においてもこれら熱膨張係数の違
いにより正確なギヤノブドパを出す事が極めて困難であ
るなどこの製造方法は間覇点が多かった。
同様にａ −ａ’とｂ −ｂ’の線上をＣ方向に向って
切断することにより行なわれる。第４図にヘッドチップ
を示す。トラック部は非晶質磁心３で構成され、その側
面に磁路の磁気抵抗を下けるためと、耐摩耗性を良くす
るためフエライ］・磁心１が接着されている。捷だコア
幅Ｃｗとトラック幅ＴｗＯ差の部分２はガラスなどでモ
ールドされている。この製造方法では非晶質とフェライ
トを接着しなければならない。しかしこれら両者の熱膨
張係数が大きく異なるため非常に接着強度が弱い。また
ギャップを形成する際においてもこれら熱膨張係数の違
いにより正確なギヤノブドパを出す事が極めて困難であ
るなどこの製造方法は間覇点が多かった。
本発明はこれらの欠点をなくシ、容易に非晶質磁心使用
の狭トう、クヘ、ドを製造する方法を提供するものであ
る。以下、本発明の製造方法について述べる。第５図に
本発明の製造方法を示す。
の狭トう、クヘ、ドを製造する方法を提供するものであ
る。以下、本発明の製造方法について述べる。第５図に
本発明の製造方法を示す。
ｉ・う、り幅Ｔｗに圧延又は１σＦ磨された非晶質薄片
１２と上部に■状の切込の入った非晶質薄片１３を組合
せ、コア幅Ｃｗになるまで非晶質薄片１２を中央部に、
１３を両側面に配置しヘソドチッノ部１を構成する。こ
のヘノドチッゾ部土と、非晶質磁性体と熱膨張係数の似
かよった金属片１１を交す方向に切断する。その切断面
に巻線溝Ｂを加工により構成し、ギヤ、ｆドパ−の片側
の部分旦を得る。この旦部を２個、ギャップ部にスペー
サヲ介して突合せ接合接着を行ないギヤッグドバーヱを
得る。この状態ではへラドチップと金属が接合されてい
るためヘッドチップ部のみを取出す必要がある。そこで
ギャップドバーヱを、金属部はエツチングされるが非晶
質はエツチングされにくい、エツチング液中でケミカル
エツチングを行なう。
１２と上部に■状の切込の入った非晶質薄片１３を組合
せ、コア幅Ｃｗになるまで非晶質薄片１２を中央部に、
１３を両側面に配置しヘソドチッノ部１を構成する。こ
のヘノドチッゾ部土と、非晶質磁性体と熱膨張係数の似
かよった金属片１１を交す方向に切断する。その切断面
に巻線溝Ｂを加工により構成し、ギヤ、ｆドパ−の片側
の部分旦を得る。この旦部を２個、ギャップ部にスペー
サヲ介して突合せ接合接着を行ないギヤッグドバーヱを
得る。この状態ではへラドチップと金属が接合されてい
るためヘッドチップ部のみを取出す必要がある。そこで
ギャップドバーヱを、金属部はエツチングされるが非晶
質はエツチングされにくい、エツチング液中でケミカル
エツチングを行なう。
この工程により金属部はエツチング液中に溶解されるた
め第６図に示すようなヘッドチップ部のみが残る。非晶
質薄片１３で構成された７字状のギヤング部Ｂ ’／；
Ｊ、’ 、ヘッドチップ部生と金属片１１の積層接着時
またはギャップドパ−作成時にガラス（５） などで充填される。
め第６図に示すようなヘッドチップ部のみが残る。非晶
質薄片１３で構成された７字状のギヤング部Ｂ ’／；
Ｊ、’ 、ヘッドチップ部生と金属片１１の積層接着時
またはギャップドパ−作成時にガラス（５） などで充填される。
このように中央部にトラック幅Ｔｗと同じ厚みの磁心を
配しその両側面に中央部磁心方向に狭くなるようなＶ字
状ギャップを有する磁心を設けるのは、へ、ドチソブ部
の機械的強度を上げ、しかも摩耗量を減らすためと、ギ
ヤツブ部以外のコア幅を広げ磁路の断面積を増加させて
磁気抵抗を下げヘッドの効率を上げるためである。
配しその両側面に中央部磁心方向に狭くなるようなＶ字
状ギャップを有する磁心を設けるのは、へ、ドチソブ部
の機械的強度を上げ、しかも摩耗量を減らすためと、ギ
ヤツブ部以外のコア幅を広げ磁路の断面積を増加させて
磁気抵抗を下げヘッドの効率を上げるためである。
また側面磁心をＶ字状のギヤ、ノにするのは、この部分
がギヤツノとして働くためトラック幅方向にギヤツプ長
を変えてギャップとしての効果をなくしたものである。
がギヤツノとして働くためトラック幅方向にギヤツプ長
を変えてギャップとしての効果をなくしたものである。
ギヤソゲドパーをケミカルエツチングすることにより得
られたヘッドチップの前面をＲ研鷹することにより第７
図に示すような完成されたヘッドチップ部が得られる。
られたヘッドチップの前面をＲ研鷹することにより第７
図に示すような完成されたヘッドチップ部が得られる。
以上述べたように、ギヤ、ｆドパ−の作成においては金
属同志の接着（金属片と非晶質金属）であるため接着強
度が強く、また熱膨張係数もほとんど同じであるため極
めて精度の良いギャップが（６） 得られる。
属同志の接着（金属片と非晶質金属）であるため接着強
度が強く、また熱膨張係数もほとんど同じであるため極
めて精度の良いギャップが（６） 得られる。
一方、金属と非晶質磁心のへラドチップの複合体のギャ
ップドパ〜よりヘッドチップのみを取出す手段としてケ
ミカルエツチングによる選択エツチングの手法を用いる
ため機械的なストレスが全くないため、ギャップのゆる
みや加工による特性劣下の心配がないなど本発明の製造
方法により極めて優れた特性のへ、ドが容易に得られる
ものである。
ップドパ〜よりヘッドチップのみを取出す手段としてケ
ミカルエツチングによる選択エツチングの手法を用いる
ため機械的なストレスが全くないため、ギャップのゆる
みや加工による特性劣下の心配がないなど本発明の製造
方法により極めて優れた特性のへ、ドが容易に得られる
ものである。
〔実施例−１］
ｃｏ８０．０Ｃｒ７．０”３．０Ｚｒｉ０．０組成で２
５１ｔｍ厚の非晶質合金を４．０ Ｘ ３．０の形状に
切断し、またその一部の非晶質合金の薄片に第５図１３
に示すような切欠き金入れ、切欠きのない薄片を中心に
その両側に各３枚づつ切欠きのある板を配置したものを
数個つくり、４．０ Ｘ ３．ＯＸ Ｏ，７の形状のリ
ン青銅で作られた金属片と交互にガラスで接着した。そ
の際、切欠部組５同ユのＡ部も同時にガラスを充填した
。その後、第５図旦に示すように切断し、巻線溝全加工
しギャップ面を仕置し、フロントギヤ７ン０部に０．３
１ｔの厚みに５１０２膜をスパッターにより形成し再び
ガラスボ／デ／グを行ない第５図ヱに示すようなギャッ
プドパ−を形成した。このギヤツノ°ド・ぐ−を硝酸２
に対して水１の割合で作られたエツチング液中で４０℃
でエツチングを行なうことにより約２０分でリン青銅部
は完全に溶解し非晶質で作られたへ、トチ、ノ°郡のみ
が残された。この時非晶質部の溶解の度合はほぼ３１１
ｍ程度でありへ、トチ、ブ部の寸法精度にはほとんど影
響を与えない。エツチング終了後へ、トチツブ部はリン
青銅部に接着していたガラスでつながっているため、こ
のガラスを折り取ることにより単独のへノドチップ部が
得られた。ギャップ形成後、機械的な力が加わっていな
いため極めて良好なギヤツノのヘッドチップが得られる
。
５１ｔｍ厚の非晶質合金を４．０ Ｘ ３．０の形状に
切断し、またその一部の非晶質合金の薄片に第５図１３
に示すような切欠き金入れ、切欠きのない薄片を中心に
その両側に各３枚づつ切欠きのある板を配置したものを
数個つくり、４．０ Ｘ ３．ＯＸ Ｏ，７の形状のリ
ン青銅で作られた金属片と交互にガラスで接着した。そ
の際、切欠部組５同ユのＡ部も同時にガラスを充填した
。その後、第５図旦に示すように切断し、巻線溝全加工
しギャップ面を仕置し、フロントギヤ７ン０部に０．３
１ｔの厚みに５１０２膜をスパッターにより形成し再び
ガラスボ／デ／グを行ない第５図ヱに示すようなギャッ
プドパ−を形成した。このギヤツノ°ド・ぐ−を硝酸２
に対して水１の割合で作られたエツチング液中で４０℃
でエツチングを行なうことにより約２０分でリン青銅部
は完全に溶解し非晶質で作られたへ、トチ、ノ°郡のみ
が残された。この時非晶質部の溶解の度合はほぼ３１１
ｍ程度でありへ、トチ、ブ部の寸法精度にはほとんど影
響を与えない。エツチング終了後へ、トチツブ部はリン
青銅部に接着していたガラスでつながっているため、こ
のガラスを折り取ることにより単独のへノドチップ部が
得られた。ギャップ形成後、機械的な力が加わっていな
いため極めて良好なギヤツノのヘッドチップが得られる
。
〔実施例−２」
Ｃｏ８３Ｎｂ１□Ｂ５組成で２０μｍ厚の非晶質薄膜を
スパッター装置を用いて、０．５朋厚の銅基板上に形成
した。これを基板ごと２．０ Ｘ ２．０の形状に切断
し、スハノター膜とその表側（銅基板側）が対面するよ
うな方向で多数枚ガラスで接着した。その後第５スミに
示すように切断し、巻線溝を加工しギヤ２７０面を仕置
し、フロントギャップ部に０．５／ｌの厚みに５ｉ０２
膜をスパッターにより形成ｌ〜、古びガラスデンディン
グを行ない、第５図ヱに示すようなギヤラフ０ドパ−を
形成した。このギャップドパ〜を塩化第２鉄、硝酸、水
からなるエツチング液中で４０℃でエツチングを行庁う
ことにより１５分で銅基板は溶解し、非晶質で作られた
ヘッドチアｆ部のみが残された。この時非晶質部の溶解
度は”ｌ ｐ程度でありヘントチツブ部の寸法精度には
ほとんど影響を与えない。
スパッター装置を用いて、０．５朋厚の銅基板上に形成
した。これを基板ごと２．０ Ｘ ２．０の形状に切断
し、スハノター膜とその表側（銅基板側）が対面するよ
うな方向で多数枚ガラスで接着した。その後第５スミに
示すように切断し、巻線溝を加工しギヤ２７０面を仕置
し、フロントギャップ部に０．５／ｌの厚みに５ｉ０２
膜をスパッターにより形成ｌ〜、古びガラスデンディン
グを行ない、第５図ヱに示すようなギヤラフ０ドパ−を
形成した。このギャップドパ〜を塩化第２鉄、硝酸、水
からなるエツチング液中で４０℃でエツチングを行庁う
ことにより１５分で銅基板は溶解し、非晶質で作られた
ヘッドチアｆ部のみが残された。この時非晶質部の溶解
度は”ｌ ｐ程度でありヘントチツブ部の寸法精度には
ほとんど影響を与えない。
第１図、第２図はフェライトヘッドの製法を説明する図
、第３図、第４図は非晶質ヘッドの製法を説明する図、
第５図、第６図、第７図は本発明の磁気ヘッド製造方法
を説明する図である。 ■・・フェライト磁心、２・ガラスモールド部、３・・
非晶質磁心、１１・・金属片、１２．１３・・非晶質片
。 （９） 第３図
、第３図、第４図は非晶質ヘッドの製法を説明する図、
第５図、第６図、第７図は本発明の磁気ヘッド製造方法
を説明する図である。 ■・・フェライト磁心、２・ガラスモールド部、３・・
非晶質磁心、１１・・金属片、１２．１３・・非晶質片
。 （９） 第３図
Claims (3)
- （１）非晶質磁性体の薄板と他の金属を交互に積層接着
し、積層方向に長い棒形状とし、それを加工してギャッ
プドパ−を形成し、その後ギヤラブドバーから非晶質磁
気へ、ドのみを取出すことを特徴とする磁気ヘッドの製
造方法。 - （２） ギャップドパ−より非晶質磁気へ、ドを取出
す手段として、ギヤ、ｆドパ−をケミカルエツチングし
、金属部のみを溶解することを特徴とする特許請求の範
囲第（１）項記載の磁気ヘッドの製造方法。 - （３）中央部にトラ、り幅と同じ厚みの非晶質磁性体を
有し、その両側面に中央部８心方向に狭くなるようなＶ
字状ギャッゾを有する非晶質磁心を配置してなる磁心と
他の金属とを交互に積層接着することを特徴とする特許
請求の範囲第（１）項記載の磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56196907A JPS5898828A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56196907A JPS5898828A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5898828A true JPS5898828A (ja) | 1983-06-11 |
| JPH03690B2 JPH03690B2 (ja) | 1991-01-08 |
Family
ID=16365627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56196907A Granted JPS5898828A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5898828A (ja) |
-
1981
- 1981-12-09 JP JP56196907A patent/JPS5898828A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03690B2 (ja) | 1991-01-08 |
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