JPS5898845A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS5898845A JPS5898845A JP19802881A JP19802881A JPS5898845A JP S5898845 A JPS5898845 A JP S5898845A JP 19802881 A JP19802881 A JP 19802881A JP 19802881 A JP19802881 A JP 19802881A JP S5898845 A JPS5898845 A JP S5898845A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- vertical magnetic
- magnetic anisotropy
- recording medium
- perpendicular magnetic
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＣ６−Ｃｒスパッタ膜の垂直磁気異方性を向上
せしめる製法に関する。
せしめる製法に関する。
近年、記録媒体の厚み方向に残留磁化を形成する垂直磁
気記録方式が研究開発され従来の水１１′−記録方式に
比べてより高密度な記録方式として注目されている。こ
の垂直磁気記録方式の記録媒体としてはフィルムベース
−Ｆ−、又はアルミベース［−にスパッタ法にてＣ６−
Ｃｒ膜を形成するものが検討されている。
気記録方式が研究開発され従来の水１１′−記録方式に
比べてより高密度な記録方式として注目されている。こ
の垂直磁気記録方式の記録媒体としてはフィルムベース
−Ｆ−、又はアルミベース［−にスパッタ法にてＣ６−
Ｃｒ膜を形成するものが検討されている。
しかしＣ６−Ｃｒスパッタ膜を用いた垂１Ｎ−磁気記録
媒体には次の２点の問題がある。
媒体には次の２点の問題がある。
■ Ｃ１含有鼠の問題
一般に垂直磁化膜を得るための条件は膜の垂直磁気異方
性エネルギＫＩＩを形状異Ｊｉ性エネルギ２ＴＭ８′（
Ｍ５：飽和磁化）より大きくすることである。Ｃｏ−Ｃ
ｒ膜の場合はＣ６をＣｒで稀釈して飽和磁化Ｍ８を小さ
くして形状異方性エネルギ２ＸＭ５′を低ドさせ、相対
的に垂直磁気光ノｊ性エネルギＫｕを形状異方性エネル
ギより大きくしている。しかし、記録媒体の１−記飽和
磁化Ｍ、は高感度記録された信吋の再牛感１朝向トの為
には大きい程有利であるので、１−記Ｃｒの濃度は少な
い方が再生感度の点では好ましい。
性エネルギＫＩＩを形状異Ｊｉ性エネルギ２ＴＭ８′（
Ｍ５：飽和磁化）より大きくすることである。Ｃｏ−Ｃ
ｒ膜の場合はＣ６をＣｒで稀釈して飽和磁化Ｍ８を小さ
くして形状異方性エネルギ２ＸＭ５′を低ドさせ、相対
的に垂直磁気光ノｊ性エネルギＫｕを形状異方性エネル
ギより大きくしている。しかし、記録媒体の１−記飽和
磁化Ｍ、は高感度記録された信吋の再牛感１朝向トの為
には大きい程有利であるので、１−記Ｃｒの濃度は少な
い方が再生感度の点では好ましい。
しかしＣ１濃度を少なくすれば飽和磁化ＭＳは大きくな
るか、得られた膜の実効的重信異方性エネルギ（垂直磁
気異方性エネルギＫｕ−杉状異与性エネルギ２πＭ８′
）は逆に小さくなる。
るか、得られた膜の実効的重信異方性エネルギ（垂直磁
気異方性エネルギＫｕ−杉状異与性エネルギ２πＭ８′
）は逆に小さくなる。
■ スパッタ条件の問題
ＣＯ−Ｃｒスパッタ膜作成において、その垂直磁気異方
性エネルギはスパッタ条件（Ａｒ圧圧板板温度パワー）
の僅かな差で大きく異なる微妙なものであるので作成は
非常に困鮒である。
性エネルギはスパッタ条件（Ａｒ圧圧板板温度パワー）
の僅かな差で大きく異なる微妙なものであるので作成は
非常に困鮒である。
本発明は以Ｉ−の従来問題点を解消する為になされたも
のであり、Ｃｒａ度の低いＣ８−〇ｒ垂直磁化膜即ち飽
和磁化は大きいが垂直磁気異方性の弱い膜あるいはスパ
ッタ条件の不適正の為に垂面磁気異方性の弱い膜に対し
て低真空中での熱処理によって強い垂直磁気異方性を持
たせる製法を提供するものである。
のであり、Ｃｒａ度の低いＣ８−〇ｒ垂直磁化膜即ち飽
和磁化は大きいが垂直磁気異方性の弱い膜あるいはスパ
ッタ条件の不適正の為に垂面磁気異方性の弱い膜に対し
て低真空中での熱処理によって強い垂直磁気異方性を持
たせる製法を提供するものである。
以下、本発明に係わる垂直磁気記録媒体の製造ＪＪ゛法
の一実施例を詳細に説明する。
の一実施例を詳細に説明する。
試料Ｎｏ、Ｉ 、Ｎｏ、２ ｊｔｋ＋、３ 、ｍ、４
、Ｎｏ、５のＣ１濃度、スパッタ条件、熱処理前後の実
効的垂直異方性エネルギを次表に示す。世し熱処理は１
０−３〜ＩＱ ’Ｔｏｒｒの真空度で４００〜５００’
Ｃに試料の温度を上げ、この熱処理は０５〜１時間の間
行なった。
、Ｎｏ、５のＣ１濃度、スパッタ条件、熱処理前後の実
効的垂直異方性エネルギを次表に示す。世し熱処理は１
０−３〜ＩＱ ’Ｔｏｒｒの真空度で４００〜５００’
Ｃに試料の温度を上げ、この熱処理は０５〜１時間の間
行なった。
上記表に示される様に熱処理後の実効的垂直異方性エネ
ルギは全試料において大きく改善されている。
ルギは全試料において大きく改善されている。
試料ＩＴｈ、 Ｉ 、 ２はＣ４濃度が１８Ｗｔ９ｖと
同しであるがスパッタ条件（Ａｒ圧）が異なる為に実効
的垂直異方性エネルギが異なる。試料Ｎｏ、 ｌの場合
は垂直磁化膜でなく曲内に磁気異方性を持つ。しかし熱
処理によって両試料共垂直磁気異方性の大きな垂直磁化
膜に変化している。
同しであるがスパッタ条件（Ａｒ圧）が異なる為に実効
的垂直異方性エネルギが異なる。試料Ｎｏ、 ｌの場合
は垂直磁化膜でなく曲内に磁気異方性を持つ。しかし熱
処理によって両試料共垂直磁気異方性の大きな垂直磁化
膜に変化している。
試料Ｎｏ、 ３ 、４ 、５はＣｒ濃度が２０Ｗ［％と
同じであるがスパッタ条件（基板温度及びパワー）が異
なる為に実効的垂直異方性エネルギが異なる。しかしこ
れらの試料も熱処理によって垂直磁気異方性が極めて大
きくなっている。
同じであるがスパッタ条件（基板温度及びパワー）が異
なる為に実効的垂直異方性エネルギが異なる。しかしこ
れらの試料も熱処理によって垂直磁気異方性が極めて大
きくなっている。
以１．詳細に説明したように、本発明によればＣｏ−Ｃ
ｒ組成あるいはスパッタ条件等の具合により垂直磁気異
方性が弱くとも、それを熱処理によって大きくできるの
で、上記Ｃ６−Ｃｒ組成、スパッタ条件の制約は緩和さ
れ生産性の向上が達成できるものである。
ｒ組成あるいはスパッタ条件等の具合により垂直磁気異
方性が弱くとも、それを熱処理によって大きくできるの
で、上記Ｃ６−Ｃｒ組成、スパッタ条件の制約は緩和さ
れ生産性の向上が達成できるものである。
代理人 弁理士 福 士 愛 彦
手続補正書
特許庁長官殿
（特許庁 殿）１、事件の表示
特願昭５６−１９８０２８
２ 発明の名称
垂直磁気記録媒体の製造方法
３ 補１１をする名
事件との関係 特許出願人
住 所 ８５４５大阪市阿倍野区長池町２２番２２号
４、代 理 人 住 所 ＠５４５太阪１１Ｊ阿他野区長池町２２番２
２号自 発 ６、補・１の対象 明細書の特許請求の範囲の欄 ７、補正の内容 別紙のとおり ２ 特１Ｖ′Ｆ請求の範囲 １．Ｃｏ−Ｃｒスパッタ膜をＩＯ乃至１０ Ｔｏｒｒ
の真空中で４００乃至５００℃の熱処理を行なう上程を
備えることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
４、代 理 人 住 所 ＠５４５太阪１１Ｊ阿他野区長池町２２番２
２号自 発 ６、補・１の対象 明細書の特許請求の範囲の欄 ７、補正の内容 別紙のとおり ２ 特１Ｖ′Ｆ請求の範囲 １．Ｃｏ−Ｃｒスパッタ膜をＩＯ乃至１０ Ｔｏｒｒ
の真空中で４００乃至５００℃の熱処理を行なう上程を
備えることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
＝２２１−
Claims (1)
- １、 Ｃｏ−Ｃｒスパッタ膜を１０ 乃至１０ Ｔ
ｏｒｒの真空中で３００乃至４００°Ｃの熱処理を行な
う工程を備えることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19802881A JPS5898845A (ja) | 1981-12-08 | 1981-12-08 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19802881A JPS5898845A (ja) | 1981-12-08 | 1981-12-08 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5898845A true JPS5898845A (ja) | 1983-06-11 |
Family
ID=16384316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19802881A Pending JPS5898845A (ja) | 1981-12-08 | 1981-12-08 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5898845A (ja) |
-
1981
- 1981-12-08 JP JP19802881A patent/JPS5898845A/ja active Pending
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