JPS5899167A - 透光性強誘電体セラミツクスの製造方法 - Google Patents
透光性強誘電体セラミツクスの製造方法Info
- Publication number
- JPS5899167A JPS5899167A JP56199254A JP19925481A JPS5899167A JP S5899167 A JPS5899167 A JP S5899167A JP 56199254 A JP56199254 A JP 56199254A JP 19925481 A JP19925481 A JP 19925481A JP S5899167 A JPS5899167 A JP S5899167A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- manufacture
- dielectric ceramics
- oxygen
- ceramics
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ジルコン酸チタン酸船中の鉛の一部をランタ
ンで置換した透光性強誘電体セラミックス(以下PLZ
Tと記述する)の製造方法に関するものである。すなわ
ち、酸化鉛、酸化チタン。
ンで置換した透光性強誘電体セラミックス(以下PLZ
Tと記述する)の製造方法に関するものである。すなわ
ち、酸化鉛、酸化チタン。
酸化ジルコニクム、酸化ランタン等、PLZTを構成す
るに必要な原料粉末を混合、仮焼、造粒。
るに必要な原料粉末を混合、仮焼、造粒。
加圧成形した後、酸素を圧力媒体として0.6〜10気
圧、1o5Q〜1300°Cの条件下で焼成することに
より、量産化が可能で、かつ透光性の優れた強誘電体セ
ラミックスの製造方法を提供しようとするものである。
圧、1o5Q〜1300°Cの条件下で焼成することに
より、量産化が可能で、かつ透光性の優れた強誘電体セ
ラミックスの製造方法を提供しようとするものである。
ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)は、高周波用フィルタ
、音響機器用トランスジューサ、超音波音源、圧電着火
素子等として各分野で広く用いられている圧電磁器材料
である。このジルコン酸チタン酸船中の鉛の一部をラン
タンで置換した強誘電体セラミックス、いわゆるPLZ
Tは従来の焼結磁器と異なり、透光性を有するとともに
、組成により大きな電気光学効果や電気光学散乱効果を
有することから光メモリ、光シャッタ、画像蓄積表示装
置2表示装置、フィルタ等数多くの応用が期待されてい
る新しい電気光学的機能材料である。
、音響機器用トランスジューサ、超音波音源、圧電着火
素子等として各分野で広く用いられている圧電磁器材料
である。このジルコン酸チタン酸船中の鉛の一部をラン
タンで置換した強誘電体セラミックス、いわゆるPLZ
Tは従来の焼結磁器と異なり、透光性を有するとともに
、組成により大きな電気光学効果や電気光学散乱効果を
有することから光メモリ、光シャッタ、画像蓄積表示装
置2表示装置、フィルタ等数多くの応用が期待されてい
る新しい電気光学的機能材料である。
PLZTは、優れた透光性を得るため、化学的に均一で
、かつ光散乱の原因となる空孔上不純物が除去された極
めて高密度、高均質な焼結磁器である。従ってその作製
には従来の焼結磁器のように、単に高温中で加圧するよ
うなホットプレス法ではなく真空あるいは酸素雰囲気下
で、昇・降温速度。
、かつ光散乱の原因となる空孔上不純物が除去された極
めて高密度、高均質な焼結磁器である。従ってその作製
には従来の焼結磁器のように、単に高温中で加圧するよ
うなホットプレス法ではなく真空あるいは酸素雰囲気下
で、昇・降温速度。
加圧パターン等を十分に考慮したホントプレス法が用い
られている。ホットプレス法は、高密度な焼結体の作製
には有効な焼結法である。しかしながら、特殊な装置を
必要とし、生産性が悪いという欠点を持つため、L業的
な生産には向いていない。本発明は、これらの問題点を
解決せんとするものであり、ホットプレス法を用いない
で、良好な透光性を有するPLZTの製造方法を提供す
るものである。すなわち、酸化鉛、酸化チタン、酸化ジ
ルコニクム、酸化ランタン等、PLZTを構成するに必
要な原料粉末を、pb、−えり、工(zr。
られている。ホットプレス法は、高密度な焼結体の作製
には有効な焼結法である。しかしながら、特殊な装置を
必要とし、生産性が悪いという欠点を持つため、L業的
な生産には向いていない。本発明は、これらの問題点を
解決せんとするものであり、ホットプレス法を用いない
で、良好な透光性を有するPLZTの製造方法を提供す
るものである。すなわち、酸化鉛、酸化チタン、酸化ジ
ルコニクム、酸化ランタン等、PLZTを構成するに必
要な原料粉末を、pb、−えり、工(zr。
Ti7−y )/−J O3なる組成式となるよう秤量
した後。
した後。
ボールミルで混合した。この混合粉を9000Gで2時
間仮焼した後、造粒、加圧成形し、o、6〜10.0気
圧の加圧酸素雰囲気中で1050〜1300°Gで焼成
することにより優れた透光性を有する焼結磁器を得るこ
とができた。
間仮焼した後、造粒、加圧成形し、o、6〜10.0気
圧の加圧酸素雰囲気中で1050〜1300°Gで焼成
することにより優れた透光性を有する焼結磁器を得るこ
とができた。
本発明により透光性の優れた強誘電体セラミックスが得
られるのは、次のことによるものと考えられる。良好な
透光性を有するPLZTを得るには、光散乱の原因とな
る。セラミックス中の空孔試料中に残存している空気を
焼成時に除去する必要があるが、一般に空気中の窒素分
は拡散速度が遅く、焼結磁器中に残存されやすい。本発
明では、加圧酸素雰囲気で焼成することから、拡散速度
の大きい酸素が窒素の追い出しを促進する。さらに加圧
焼成していることから空気中での焼成に比べてより緻密
な焼結磁器が得られることによるものと考えられる。な
お酸素雰囲気が10気圧以上では、焼結磁器は黄色味を
増し、透光性が低下した。
られるのは、次のことによるものと考えられる。良好な
透光性を有するPLZTを得るには、光散乱の原因とな
る。セラミックス中の空孔試料中に残存している空気を
焼成時に除去する必要があるが、一般に空気中の窒素分
は拡散速度が遅く、焼結磁器中に残存されやすい。本発
明では、加圧酸素雰囲気で焼成することから、拡散速度
の大きい酸素が窒素の追い出しを促進する。さらに加圧
焼成していることから空気中での焼成に比べてより緻密
な焼結磁器が得られることによるものと考えられる。な
お酸素雰囲気が10気圧以上では、焼結磁器は黄色味を
増し、透光性が低下した。
また焼成温度が1o6o0C以下では焼結不皐のため、
透光性が低下し、1300°C以上では、酸化鉛の飛散
が激しく、配合時の組成と異なる不均質な焼結磁器しか
得ることが出来なかった。
透光性が低下し、1300°C以上では、酸化鉛の飛散
が激しく、配合時の組成と異なる不均質な焼結磁器しか
得ることが出来なかった。
以下実施例に基づき詳細に説明する。
〈実施例〉
酸化鉛(pbo)、酸化チタン(TiO2)、酸化ジル
コニタム(ZrO2)、酸化ランタン(L a z O
3)の各粉末をPbO,91LILo、09 (zro
、65 TiO,35)0.9s03となるよう配合し
た後、ボールミルで17時間混合した。この混合粉を9
oo0cで2時間仮焼した後、ボールミルで17時間粉
砕し、許過、乾燥した。この仮焼粉を、水をパイングー
として用い、造粒・成形した。なお成形は、金型成形に
より、csoo kg/ca f 7Jl圧し、直径3
0mm、厚み10mmの成形体を作製した。次に高温高
圧雰囲気炉内にこの成形体を置いた後ロータリーポンプ
で炉内の空気を排気しs 1ommHgの真空度にし
た後、純酸素を流し込み、酸素を圧力媒体として、0.
2〜12気圧の条件下で1200’C,40時間焼成し
た。得られた焼結体を500μmにスライスした後鏡面
研磨処理し、厚み300μmの試料を作製し、分光光度
計により透光率を測定した。なお比較のために、同一条
件で作製した成形体を、空気中で120♂Cで、40時
間焼成した試料も同様に鏡面研磨処理し透過率を測定し
た。図に。
コニタム(ZrO2)、酸化ランタン(L a z O
3)の各粉末をPbO,91LILo、09 (zro
、65 TiO,35)0.9s03となるよう配合し
た後、ボールミルで17時間混合した。この混合粉を9
oo0cで2時間仮焼した後、ボールミルで17時間粉
砕し、許過、乾燥した。この仮焼粉を、水をパイングー
として用い、造粒・成形した。なお成形は、金型成形に
より、csoo kg/ca f 7Jl圧し、直径3
0mm、厚み10mmの成形体を作製した。次に高温高
圧雰囲気炉内にこの成形体を置いた後ロータリーポンプ
で炉内の空気を排気しs 1ommHgの真空度にし
た後、純酸素を流し込み、酸素を圧力媒体として、0.
2〜12気圧の条件下で1200’C,40時間焼成し
た。得られた焼結体を500μmにスライスした後鏡面
研磨処理し、厚み300μmの試料を作製し、分光光度
計により透光率を測定した。なお比較のために、同一条
件で作製した成形体を、空気中で120♂Cで、40時
間焼成した試料も同様に鏡面研磨処理し透過率を測定し
た。図に。
1200’Cで、4気圧の酸素加圧雰囲気中で焼成した
試料と空気中で焼成した試料の可視光鎖酸での透過率を
示す。第1表は0.2〜12気圧の酸素雰囲気下で焼成
した試料を、波長650nmで測定した透過率を示した
ものである。
試料と空気中で焼成した試料の可視光鎖酸での透過率を
示す。第1表は0.2〜12気圧の酸素雰囲気下で焼成
した試料を、波長650nmで測定した透過率を示した
ものである。
次に前述と同一条件で作製した成形体を、酸素雰囲気、
4気圧、焼成温度1000〜1330°Gで焼成した後
、前述と同様に鏡面研磨処理し、透過率を測定した。第
2表は、波長65 onmで測定シタコレらの試料′の
透過率を示したものである。
4気圧、焼成温度1000〜1330°Gで焼成した後
、前述と同様に鏡面研磨処理し、透過率を測定した。第
2表は、波長65 onmで測定シタコレらの試料′の
透過率を示したものである。
第2表 焼成温度による透過率変化
図及び第1表、第2表から明らかなように。
1060〜13oOC中で05〜10気圧ノ加圧酸素雰
囲気下で、焼成することにより、きわめて優れた透光性
を有する強誘電体セラミックスが得られることが出来る
。
囲気下で、焼成することにより、きわめて優れた透光性
を有する強誘電体セラミックスが得られることが出来る
。
以上の実施例からも明らかなように、本発明による製造
方法によれば、ホットプレス法を用いないで、優れた透
光性を有する強誘電体セラミックスを得ることが出来る
ので、大量生産が可能となりコストダウンもはかること
が出来るなど、その工業的価値はきわめて大きいものが
ある。
方法によれば、ホットプレス法を用いないで、優れた透
光性を有する強誘電体セラミックスを得ることが出来る
ので、大量生産が可能となりコストダウンもはかること
が出来るなど、その工業的価値はきわめて大きいものが
ある。
図は本発明の製造方法にょる透光性誘電体セラミックス
の可視光頭載における透過率を本発明の方法によらない
で作製したものと比較して示す図である。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 赦 男 ほか1名液
渠(nM) 手続補正書 l事件の表示 昭和66年特許願第199254 号 2発明の名称 透光性強誘電体セラミックスの製造方法3補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 入
社 所 大阪′府門真市大字門真1006番地名 称
(582)松下電器産業株式会社代表8111
下 俊 彦 4代理人 〒571 住 所 大阪府門真市大字門真1006番地松下電器
産業株式会社内 6補正の対象 2 ・ 〉′ 6、補正の内容 (2)明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり補正いた
します。 (3)明細書第1頁第13行目〜同頁第14行目、第2
頁第1行目、第2頁第7行目〜同頁第8行目、第7頁第
13行目および第7頁第17行目〜同頁第18行目の記
載「強誘電体セラミックス」を「セラミックス」と補正
いたします。 (4)明細書第8頁第2行目〜同頁第3行目の記載「透
光性誘電体セラミックス」を「透光性セラミックス」と
補正いたします。 特開昭58−99167(4) 2、特許請求の範囲 ジルコン酸チタン酸船中の鉛の一部をランタンで置換し
た組成をもつ焼結体を構成するに必要な原料粉末を混合
、仮焼、造粒、加圧成形した後、酸素を圧力媒体として
0.6〜10気圧、1050〜1300’Cの条件下で
焼成することを特徴とする透光性セラミックスの製造方
法。
の可視光頭載における透過率を本発明の方法によらない
で作製したものと比較して示す図である。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 赦 男 ほか1名液
渠(nM) 手続補正書 l事件の表示 昭和66年特許願第199254 号 2発明の名称 透光性強誘電体セラミックスの製造方法3補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 入
社 所 大阪′府門真市大字門真1006番地名 称
(582)松下電器産業株式会社代表8111
下 俊 彦 4代理人 〒571 住 所 大阪府門真市大字門真1006番地松下電器
産業株式会社内 6補正の対象 2 ・ 〉′ 6、補正の内容 (2)明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり補正いた
します。 (3)明細書第1頁第13行目〜同頁第14行目、第2
頁第1行目、第2頁第7行目〜同頁第8行目、第7頁第
13行目および第7頁第17行目〜同頁第18行目の記
載「強誘電体セラミックス」を「セラミックス」と補正
いたします。 (4)明細書第8頁第2行目〜同頁第3行目の記載「透
光性誘電体セラミックス」を「透光性セラミックス」と
補正いたします。 特開昭58−99167(4) 2、特許請求の範囲 ジルコン酸チタン酸船中の鉛の一部をランタンで置換し
た組成をもつ焼結体を構成するに必要な原料粉末を混合
、仮焼、造粒、加圧成形した後、酸素を圧力媒体として
0.6〜10気圧、1050〜1300’Cの条件下で
焼成することを特徴とする透光性セラミックスの製造方
法。
Claims (1)
- ジルコン酸チタン酸船中の鉛の一部をランタンで置換し
た組成をもつ焼結体を構成するに必要な原料粉末を混合
、仮焼、造粒、加圧成形した後、酸素を圧力媒体として
0.5〜10気圧、1050〜.1300°Cの条件下
で焼成することを特徴とする透光性強誘電体セラミック
スの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56199254A JPS5899167A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 透光性強誘電体セラミツクスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56199254A JPS5899167A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 透光性強誘電体セラミツクスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5899167A true JPS5899167A (ja) | 1983-06-13 |
Family
ID=16404721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56199254A Pending JPS5899167A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 透光性強誘電体セラミツクスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5899167A (ja) |
-
1981
- 1981-12-09 JP JP56199254A patent/JPS5899167A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0225864B2 (ja) | ||
| CN108911738B (zh) | 多孔钛酸钡压电陶瓷及其制备方法 | |
| JP3000685B2 (ja) | 透光性イットリア焼結体及びその製造方法 | |
| CN118388234B (zh) | 一种极高可调谐性钛酸锶钡基微波介质陶瓷材料及其制备方法 | |
| JPH03247562A (ja) | Plzt透明セラミックスの製造法 | |
| JPS5899166A (ja) | 透光性強誘電体セラミツクスの製造方法 | |
| CN1090563A (zh) | 氧化锆基微晶复相陶瓷 | |
| JPS58106703A (ja) | 透光性強誘電体セラミツクスの製造方法 | |
| JPS5899165A (ja) | 透光性強誘電体セラミツクスの製造方法 | |
| JPS58102403A (ja) | 透光性強誘電体セラミツクスの製造方法 | |
| JPS5918163A (ja) | 透光性セラミツクスの製造方法 | |
| JPS63100061A (ja) | 透光性セラミツクスの製造方法 | |
| JP2607519B2 (ja) | 光学セラミックスの製造方法 | |
| JPH01230465A (ja) | 透光性スピネル焼結体の製造方法 | |
| JPS60141675A (ja) | 透光性強誘電体磁器の製造方法 | |
| SU1717590A1 (ru) | Пьезоэлектрический керамический материал | |
| JPH06116010A (ja) | ビスマス層状化合物の製造方法 | |
| JPS5926966A (ja) | セラミツクスグリ−ン成形体の製造方法 | |
| JPS59111977A (ja) | 透光性セラミツクスの製造方法 | |
| JP2000203938A (ja) | 高性能圧電セラミックスおよびその製造方法 | |
| JP3084401B1 (ja) | 高性能圧電セラミックスとその製造方法 | |
| JPH05139862A (ja) | 透光性セラミツクスの製造方法 | |
| JPS61106457A (ja) | Plzt透光性セラミツクスの製造法 | |
| JPS62191459A (ja) | 鉛系酸化物予備焼結体 | |
| JPH08337423A (ja) | 酸化物圧電材料の製造方法 |