JPS60154959U - フオトマスクパタ−ン - Google Patents

フオトマスクパタ−ン

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Publication number
JPS60154959U
JPS60154959U JP1984041617U JP4161784U JPS60154959U JP S60154959 U JPS60154959 U JP S60154959U JP 1984041617 U JP1984041617 U JP 1984041617U JP 4161784 U JP4161784 U JP 4161784U JP S60154959 U JPS60154959 U JP S60154959U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask pattern
photo mask
photomask pattern
photomask
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1984041617U
Other languages
English (en)
Inventor
森　巖
修 鈴木
Original Assignee
ホ−ヤ株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by ホ−ヤ株式会社 filed Critical ホ−ヤ株式会社
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａは、従来のパターンの形状を示す斜視図、同図
すは従来のパターンの欠落を示す斜視図、第２図ａは本
考案の一実施例を示す一部平面図、同図すは本考案の一
実施例を示す一部拡大斜視図、第３図は本考案の一使用
例を示す工程図、第４図は本考案の他の実施例を示す平
面図である。 ６・・・・・・ガラス基板、７・・・・・・パターン、
８，９・・・・・・パターンの側面、１０・・・・・・
所望する曲率で丸められた凸状のかど、１１・・・・・
・転写用フォトマス酔ゝ り。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. フォトリソグラフィ等の密着露光方法で使用されるハー
    ドマスク等の転写用のフォトマスク上に形成されたフォ
    トマスクパターンにおいて、該フォトマスクパターンの
    ２側面によって形成される凸状のかどが所望する曲率で
    丸められた形状を呈−していることを特徴とするフォト
    マスクパターン。
JP1984041617U 1984-03-23 1984-03-23 フオトマスクパタ−ン Pending JPS60154959U (ja)

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JP1984041617U JPS60154959U (ja) 1984-03-23 1984-03-23 フオトマスクパタ−ン

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JP1984041617U JPS60154959U (ja) 1984-03-23 1984-03-23 フオトマスクパタ−ン

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60154959U true JPS60154959U (ja) 1985-10-16

Family

ID=30551611

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1984041617U Pending JPS60154959U (ja) 1984-03-23 1984-03-23 フオトマスクパタ−ン

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60154959U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012169457A (ja) * 2011-02-14 2012-09-06 Ngk Spark Plug Co Ltd 配線基板の製造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56122034A (en) * 1980-02-29 1981-09-25 Nec Corp Photomask

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56122034A (en) * 1980-02-29 1981-09-25 Nec Corp Photomask

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012169457A (ja) * 2011-02-14 2012-09-06 Ngk Spark Plug Co Ltd 配線基板の製造方法

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