JPS59107560A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路装置Info
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- JPS59107560A JPS59107560A JP57216821A JP21682182A JPS59107560A JP S59107560 A JPS59107560 A JP S59107560A JP 57216821 A JP57216821 A JP 57216821A JP 21682182 A JP21682182 A JP 21682182A JP S59107560 A JPS59107560 A JP S59107560A
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- voltage
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- integrated circuit
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D84/00—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
- H10D84/80—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs
- H10D84/82—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs of only field-effect components
- H10D84/83—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs of only field-effect components of only insulated-gate FETs [IGFET]
- H10D84/85—Complementary IGFETs, e.g. CMOS
- H10D84/858—Complementary IGFETs, e.g. CMOS comprising a P-type well but not an N-type well
Landscapes
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、半導体集積回路装置に係り、特に微細化MO
8l=ランジスタより成るLSIに最適なLSIの構成
に関する。
8l=ランジスタより成るLSIに最適なLSIの構成
に関する。
従来、半導体集積回路においては、第1図に示したよう
に外部市原端子2と、接地端子30間にメモリ回路、論
理回路、アナログ回路などから成る回路部分1を接続し
て用いていた。近年、これらのIC,LSIは周辺IC
とのインタフェースを重視し、使い易さの点から外部電
源電圧を5vで用いている。
に外部市原端子2と、接地端子30間にメモリ回路、論
理回路、アナログ回路などから成る回路部分1を接続し
て用いていた。近年、これらのIC,LSIは周辺IC
とのインタフェースを重視し、使い易さの点から外部電
源電圧を5vで用いている。
一方、内部回路を構成する絶縁ゲート形電界効果トラン
ジスタ(以下MOSトランジスタと略記する)において
は、比例縮少側にもとすいてデバイスの寸法が年々小さ
くなっており、LSIの胃集積、高性能化を可能にして
きた。ところが、デバイスの寸法を小さくしていくと、
高エネルギの電子がゲート絶縁膜に注入され、しきい電
圧の変化や相qコンダクタンスの低下などを生じる現象
が顕著になってくる。例えば、ゲートとドレインに所定
の′電圧を印加し30秒後に素子のしきい電圧を測定す
るとその絶対値が変化する現倭である。
ジスタ(以下MOSトランジスタと略記する)において
は、比例縮少側にもとすいてデバイスの寸法が年々小さ
くなっており、LSIの胃集積、高性能化を可能にして
きた。ところが、デバイスの寸法を小さくしていくと、
高エネルギの電子がゲート絶縁膜に注入され、しきい電
圧の変化や相qコンダクタンスの低下などを生じる現象
が顕著になってくる。例えば、ゲートとドレインに所定
の′電圧を印加し30秒後に素子のしきい電圧を測定す
るとその絶対値が変化する現倭である。
このような条件での測定結果、ただしこのときドレイン
とソースを電圧印〃日時とは逆転させて測定を行なった
結果舎、第2(閉(A)、(B)に示す。
とソースを電圧印〃日時とは逆転させて測定を行なった
結果舎、第2(閉(A)、(B)に示す。
第2図(A)はnチャネルMO8I−ランジスタのしき
い鎖車圧変化を示し、第2図(B)に示すpチャ坏ルM
O8)ランジスタよりもしきい電圧の変化が低い堵:圧
で起こりやすいことがわかる。また、%にnチャネルM
OSトランジスタの場合には、もはや電源電圧5■では
信頼性の点で使用できない領域に近すきつつある。当然
ながら、デバイスをさらに微細化すれば上記現象が生じ
る重圧が増々低くなり、゛覗源電圧5ボルトで1更用し
た場合@L81の動作速度が遅くなったり、最悪の場合
破壊に至るようになる。
い鎖車圧変化を示し、第2図(B)に示すpチャ坏ルM
O8)ランジスタよりもしきい電圧の変化が低い堵:圧
で起こりやすいことがわかる。また、%にnチャネルM
OSトランジスタの場合には、もはや電源電圧5■では
信頼性の点で使用できない領域に近すきつつある。当然
ながら、デバイスをさらに微細化すれば上記現象が生じ
る重圧が増々低くなり、゛覗源電圧5ボルトで1更用し
た場合@L81の動作速度が遅くなったり、最悪の場合
破壊に至るようになる。
本発明の目的は、微細化MOSトランジスタを用いた相
補型%10S(以下、CMO8と略記する)集積回路に
おいて1.I:記の特性変l#lを生じないで高集積、
高性能のLSIを実現しうる集積回路装置を提供するこ
とにある。
補型%10S(以下、CMO8と略記する)集積回路に
おいて1.I:記の特性変l#lを生じないで高集積、
高性能のLSIを実現しうる集積回路装置を提供するこ
とにある。
本発明の原理概念を第3図(A)で説明する。
第3図(A)において、2は外部電源賦圧端子(1圧V
c+)、5はV (4−tもとにVclよりも低く、微
細化MOSトランジスタで構成された主要回路部6の特
性f動をきたさない程度の電圧Vczを発生させる電源
回路部、7はVc2の端fである。本発明は、第3図の
破線で示[7た領域4を同一基板に集積化し、外部から
供給をれる霜、圧はVclであるが、同一基板内で発生
したVct (<vc、 )によって主要回路を動作さ
せることにある。
c+)、5はV (4−tもとにVclよりも低く、微
細化MOSトランジスタで構成された主要回路部6の特
性f動をきたさない程度の電圧Vczを発生させる電源
回路部、7はVc2の端fである。本発明は、第3図の
破線で示[7た領域4を同一基板に集積化し、外部から
供給をれる霜、圧はVclであるが、同一基板内で発生
したVct (<vc、 )によって主要回路を動作さ
せることにある。
第3図(B)はVclとV (2の関係を示したもので
ある。本発明では外部電源電圧がある値(VCI’)珍
重になるとVc2が一定1直のままクランプされる様な
電源回路5を用いる。
ある。本発明では外部電源電圧がある値(VCI’)珍
重になるとVc2が一定1直のままクランプされる様な
電源回路5を用いる。
以上の挿な構成をとることにより、(1j外部から供給
される’@柳市電圧従来と同様5Vが使用でき、周辺I
Cとのインタフェースが容易で使い易いLSIが実現で
きる、(2)内部回路を微細化MO8トランジスタで構
成し7ても、この嘗1源電圧は外部より供給される電圧
より低いため!時性変動などの悪影fRヲうけることが
ない、(3)91細イヒM OS )ランジスタを用い
て大容量、高速、低消費′気力のメモIJ L S I
や太規樺論理LSIなどが信願性よく実現できる。さら
には、従来よりCMO8m造の内部に寄生するpnpn
型素子が低抵抗状態になって異常な大電流が電源と接地
端子間に流れる、いわゆる°ラッチアップ現象に対して
も、強い耐性を示す。何故なら、n型基板にVcl、p
チャ坏ルMOSトランジスタのドレイ/となる99層に
■Ct+p型ウェルに接地気圧、ケそれぞれ印加するこ
とができ、従来のV C1= V c2 となっている
構造に比べ横形pnpバイポーラ・トランジスタが外部
からの雑音電流に対して動作しにくくなっているためで
ある。
される’@柳市電圧従来と同様5Vが使用でき、周辺I
Cとのインタフェースが容易で使い易いLSIが実現で
きる、(2)内部回路を微細化MO8トランジスタで構
成し7ても、この嘗1源電圧は外部より供給される電圧
より低いため!時性変動などの悪影fRヲうけることが
ない、(3)91細イヒM OS )ランジスタを用い
て大容量、高速、低消費′気力のメモIJ L S I
や太規樺論理LSIなどが信願性よく実現できる。さら
には、従来よりCMO8m造の内部に寄生するpnpn
型素子が低抵抗状態になって異常な大電流が電源と接地
端子間に流れる、いわゆる°ラッチアップ現象に対して
も、強い耐性を示す。何故なら、n型基板にVcl、p
チャ坏ルMOSトランジスタのドレイ/となる99層に
■Ct+p型ウェルに接地気圧、ケそれぞれ印加するこ
とができ、従来のV C1= V c2 となっている
構造に比べ横形pnpバイポーラ・トランジスタが外部
からの雑音電流に対して動作しにくくなっているためで
ある。
丘
まず第4図に示すのは、前珀でのべ%CMO8構造を有
する半導体回路に本発明を通用した実施例を示す。外部
…、源電圧端子2から印n口される電圧Vclはn+領
域226を介してn型基板202に印加される。またこ
の′電圧VC8は電源回路部5を介して電圧vc、に変
換され、主要回路の各部に印加される。図では便宜上電
源回路部5を基板202とは別に記載しているが、実際
には基板202上にこの1−路を形成する。p型ワエル
2o4゜及び206はそれぞれp+領域208,210
を介して接地されている。また基板202の表面のp”
iJI域216,218で形成−するp型Mosトラン
ジスタと、p型ウェル204中のn+領域212.21
4で形成するn型MOSトランジスタとでCMOSイン
バータを構成しており、p型トランジスタのドレイン2
16には箱、源回路部から電圧VC,が供給さ几る。一
方、p型ワエル206にはn+領域220,222,2
24などで形成されるnMOsMOSトランジスタ回路
が形成され、抵抗228を介して電圧Vc2が供給され
ている。
する半導体回路に本発明を通用した実施例を示す。外部
…、源電圧端子2から印n口される電圧Vclはn+領
域226を介してn型基板202に印加される。またこ
の′電圧VC8は電源回路部5を介して電圧vc、に変
換され、主要回路の各部に印加される。図では便宜上電
源回路部5を基板202とは別に記載しているが、実際
には基板202上にこの1−路を形成する。p型ワエル
2o4゜及び206はそれぞれp+領域208,210
を介して接地されている。また基板202の表面のp”
iJI域216,218で形成−するp型Mosトラン
ジスタと、p型ウェル204中のn+領域212.21
4で形成するn型MOSトランジスタとでCMOSイン
バータを構成しており、p型トランジスタのドレイン2
16には箱、源回路部から電圧VC,が供給さ几る。一
方、p型ワエル206にはn+領域220,222,2
24などで形成されるnMOsMOSトランジスタ回路
が形成され、抵抗228を介して電圧Vc2が供給され
ている。
第5図(A)は第3図の構成を実現した実施例の回路構
成図、第5図(B)は所定の′電圧Vc2を得るための
基4−1圧VR発生回路構成図である。
成図、第5図(B)は所定の′電圧Vc2を得るための
基4−1圧VR発生回路構成図である。
第5図において、401,402,403はpチャネル
MOSトランジスタ、404,405゜406.407
,408,423,424はnチャネルMOSトランジ
スタである。50部分が第3図における電源回路で40
1,402,404゜405で構成される差動アンプと
、407なる定電流源、407のゲート市、圧を発生さ
せるための415め抵抗とMOSダイオード406より
成る回路部分に分かれこれが、最終のpチャイルMOS
トランジスタ403を駆動する構成となっている。
MOSトランジスタ、404,405゜406.407
,408,423,424はnチャネルMOSトランジ
スタである。50部分が第3図における電源回路で40
1,402,404゜405で構成される差動アンプと
、407なる定電流源、407のゲート市、圧を発生さ
せるための415め抵抗とMOSダイオード406より
成る回路部分に分かれこれが、最終のpチャイルMOS
トランジスタ403を駆動する構成となっている。
405のゲート412に基準車、圧VR’に設定すると
、出力413が404のゲート端子411と接続されて
いるためフィードバックがかかり、出力413にはVR
とほぼ同じ電圧Vc2が現われる。
、出力413が404のゲート端子411と接続されて
いるためフィードバックがかかり、出力413にはVR
とほぼ同じ電圧Vc2が現われる。
この出力電圧端子が微細化MOSトランジスタで構成さ
れた主要回路6の電源端子7となるが、出力電圧の値全
一定に保つには主要回路部に流れる電流を十分に供給し
つる様な負荷403が必要である。また、主要回路6に
急激な電流変化があった場合に出力電圧の値が急激に変
化しない様に、端子7に大きな容量全付加するとよい。
れた主要回路6の電源端子7となるが、出力電圧の値全
一定に保つには主要回路部に流れる電流を十分に供給し
つる様な負荷403が必要である。また、主要回路6に
急激な電流変化があった場合に出力電圧の値が急激に変
化しない様に、端子7に大きな容量全付加するとよい。
上記基準電圧VRの発生回路は、第5図(B)に示した
様に、抵抗421とダイオード接続されたnチャネルへ
4OSトランジスタ423,424等で構成される。し
たがって、nチャネルMOSトランジスタのしきい電圧
f V Tn とすると。
様に、抵抗421とダイオード接続されたnチャネルへ
4OSトランジスタ423,424等で構成される。し
たがって、nチャネルMOSトランジスタのしきい電圧
f V Tn とすると。
V1ThnXV7n となる。なお、0は縦属接続する
nチャネルMO8トランジスタの個数で、この値は所望
によシ任章に設定す7″lばよい。また、本実施例では
、nチャネルMOSトランジスタと抵抗を用いて説明し
たが、pチャネルおよびnチャネルMOSトランジスタ
と抵抗あるいは、すべてpチャネルM OS トランジ
スタを用いても容易に実現できる。
nチャネルMO8トランジスタの個数で、この値は所望
によシ任章に設定す7″lばよい。また、本実施例では
、nチャネルMOSトランジスタと抵抗を用いて説明し
たが、pチャネルおよびnチャネルMOSトランジスタ
と抵抗あるいは、すべてpチャネルM OS トランジ
スタを用いても容易に実現できる。
以上の半導体集積回路は、主要回路部6と同一チップ上
に集積されるが、上記電源回路部自体が特性変動を生じ
てはならない。そこで、第5図(A)の回路ブロック6
以外のMOSトランジスタは、回路ブロック6のMOS
トランジスタよりチャネル長の長いものが重重しい。特
に、nチャネル八408トランジスタは、前記したよう
に制電圧に弱いため、長いチャネル長のものを使用する
必要がある。例えば、Vc+に5Vで動作させるとき、
主要回路部6にチャ坏ル長1ミクロン〜1.5ミクロン
あるいはそれ以下のnチャネルMOSトランジスタを用
いた場合、巾;源回9部5のnチャネルMOSトランジ
スタは2ミクロン以上のチャネル長上十分である。また
、pチャネルMO8)ランジスタは、その特性に応じて
、主要回路部6と同じチャネル長か、もしくは上述した
nチャネルMOSトランジスタの場合と同様の対応會と
ることが望ましい。
に集積されるが、上記電源回路部自体が特性変動を生じ
てはならない。そこで、第5図(A)の回路ブロック6
以外のMOSトランジスタは、回路ブロック6のMOS
トランジスタよりチャネル長の長いものが重重しい。特
に、nチャネル八408トランジスタは、前記したよう
に制電圧に弱いため、長いチャネル長のものを使用する
必要がある。例えば、Vc+に5Vで動作させるとき、
主要回路部6にチャ坏ル長1ミクロン〜1.5ミクロン
あるいはそれ以下のnチャネルMOSトランジスタを用
いた場合、巾;源回9部5のnチャネルMOSトランジ
スタは2ミクロン以上のチャネル長上十分である。また
、pチャネルMO8)ランジスタは、その特性に応じて
、主要回路部6と同じチャネル長か、もしくは上述した
nチャネルMOSトランジスタの場合と同様の対応會と
ることが望ましい。
第6図は、本発明の他の実施例を示したものである。第
6図において、5は電源回路部、413は5の出力端子
部、411は電源回路へのフィードバック端子で、主要
回路部60岨源端子7に接続されている。さらに、41
3と7の間にはnpn型バイポーラトランジスタ501
と502がダーリントン接続されている。本発明の特徴
は、微細化MOSトランジスタで構成された主要回路部
6に大電流を供給しやすくし、かつ、413の負荷を小
さくして第4図の電源回路5が高速動作できる様に、上
記バイポーラ・トランジスタ’zt流供船用デバイスと
して用いた点にある。本実施例では、バイポーラ・トラ
ンジスタ2段のダーリントン接続で説明したが、胃性能
のバイポーラ・トランジスタを用いれば1段だけでよく
、捷だ、複数個のバイポーラ・トランジスタのダーリン
トン接続あるいは並列接続でもよい。413と411
(7)の間にJ::eバイポーラ・トランジスタを設け
ても、本発明の目的であるV n ” V c2の特性
かえられることは言うまでもなく、大電流領域に至るま
で、Vc2の′由;位低下がなく艮好な特性が実験結果
からえられている。503なる容量は、主要回路部6で
急激な覗流変化があっても端子7の車圧が急激に変動せ
ず、6の電気的特性に支障を与えない様にするために設
けたものである。
6図において、5は電源回路部、413は5の出力端子
部、411は電源回路へのフィードバック端子で、主要
回路部60岨源端子7に接続されている。さらに、41
3と7の間にはnpn型バイポーラトランジスタ501
と502がダーリントン接続されている。本発明の特徴
は、微細化MOSトランジスタで構成された主要回路部
6に大電流を供給しやすくし、かつ、413の負荷を小
さくして第4図の電源回路5が高速動作できる様に、上
記バイポーラ・トランジスタ’zt流供船用デバイスと
して用いた点にある。本実施例では、バイポーラ・トラ
ンジスタ2段のダーリントン接続で説明したが、胃性能
のバイポーラ・トランジスタを用いれば1段だけでよく
、捷だ、複数個のバイポーラ・トランジスタのダーリン
トン接続あるいは並列接続でもよい。413と411
(7)の間にJ::eバイポーラ・トランジスタを設け
ても、本発明の目的であるV n ” V c2の特性
かえられることは言うまでもなく、大電流領域に至るま
で、Vc2の′由;位低下がなく艮好な特性が実験結果
からえられている。503なる容量は、主要回路部6で
急激な覗流変化があっても端子7の車圧が急激に変動せ
ず、6の電気的特性に支障を与えない様にするために設
けたものである。
上述しfl n p n型バイポーラ・トランジスタは
、通常のCM O8構造で容易に実現できる。すなわち
、n形基板をコレクタ、p形つェルをペース、n形高、
溝度胸をエミッタとすればよい。コレクタが同一基板で
共通であり、ダーリントン接続も容易にできる。
、通常のCM O8構造で容易に実現できる。すなわち
、n形基板をコレクタ、p形つェルをペース、n形高、
溝度胸をエミッタとすればよい。コレクタが同一基板で
共通であり、ダーリントン接続も容易にできる。
第7図は、本発明の他の実施例を示したものである。第
7図において、601,602は′妊源回路部、603
,604は微細化MOSトランジスタで構成された主要
回路部である。本実施例の特徴は、主要回路部を複数に
分割し、それぞれの電源(605,606)を個々の電
源回路から供給することにある。本構成により、主要回
路部に流れる電流を分散して供給することができ、急激
な電流の変化、あるいは大電流に対しても、同一チップ
内で十分に対処することができる。
7図において、601,602は′妊源回路部、603
,604は微細化MOSトランジスタで構成された主要
回路部である。本実施例の特徴は、主要回路部を複数に
分割し、それぞれの電源(605,606)を個々の電
源回路から供給することにある。本構成により、主要回
路部に流れる電流を分散して供給することができ、急激
な電流の変化、あるいは大電流に対しても、同一チップ
内で十分に対処することができる。
以−Hの通り、本発明によれば、主要回路の素子を微細
化しても、これに伴なう特性変動などの悪影響0がなく
、シかも従来の集積回路と同一の電源で用いることがで
きる高集積、高信頼性の集積回路を得ることができ、C
MO8構造のラッチアップ現象に対しても強い耐性をも
たせることができる。
化しても、これに伴なう特性変動などの悪影響0がなく
、シかも従来の集積回路と同一の電源で用いることがで
きる高集積、高信頼性の集積回路を得ることができ、C
MO8構造のラッチアップ現象に対しても強い耐性をも
たせることができる。
第1図は従来の集積回路の構成、第2図(A)(B)は
MOSトランジスタのしきい値変化ケ示寸特性図、第3
図(A)(B)は本発明の基本構成を示すブロック図、
及びその特性図、第4図は本発明の実施列の萌面図、第
5図、紀6図、第7図Tdそれぞれ本発明の実施例を示
すブロック図でろる。 2・・・外部115源市圧端子、5・・・電源回路、6
・・・主要回路、4.01,402,403・・・pチ
ャネルN1osトランジスタ、404,405,406
,407゜408.423,424・・・nチャ坏ルへ
・+O8)ランジスタ。 : 第1図 VC。 Y z 図 (A) (f3)第3図 (A) ■ 4 図 ■を図 Y S 図 (A) l/r r (6) ↓ ■ 7 図 1/ (、1
MOSトランジスタのしきい値変化ケ示寸特性図、第3
図(A)(B)は本発明の基本構成を示すブロック図、
及びその特性図、第4図は本発明の実施列の萌面図、第
5図、紀6図、第7図Tdそれぞれ本発明の実施例を示
すブロック図でろる。 2・・・外部115源市圧端子、5・・・電源回路、6
・・・主要回路、4.01,402,403・・・pチ
ャネルN1osトランジスタ、404,405,406
,407゜408.423,424・・・nチャ坏ルへ
・+O8)ランジスタ。 : 第1図 VC。 Y z 図 (A) (f3)第3図 (A) ■ 4 図 ■を図 Y S 図 (A) l/r r (6) ↓ ■ 7 図 1/ (、1
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 nチャネルMO8)ランジスタとnチャネルM
OSトランジスタを同一基板上に形成したc h+ o
s構造を有する半導体集積回路装置において、外部か
ら供給される第1の電源電圧で動作し、該電源電圧より
低い第2の電圧を出力する電源回路を設け、該第2の電
圧を電源電圧として、該同一基板上に形成した主要回路
全動作させることを特徴とする半導体集積回路装置。 2、上記電源回路は、上記主要回路で用いるpチャイ・
ルおよびnチャネルMOSトランジスタのチャネル長よ
りも長いチャネル長を有するpチャネルおよびnチャネ
ルMO8)ランジスタを基本構成とする素子で構成され
ることに%徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導体
集積回路装置。 3、上記電源回路の出力は、該同一基板上に集積した少
くとも1個のnpn型バイポーラトランジスタのベース
に入力され、該コレクタは第1の電源に接続され、該エ
ミッタは第2の電源に接続されると共に電源回路にフィ
ードバックされていることを特徴とする特許請求の範囲
第2項記載の半導体集積回路装置。 4、上記第2の電源端子に、該同一基板上に集積した容
量を付加したことを特徴とする特許請求の範囲第3項記
載の半導体集積回路装置。 5、上記電源回路は、該同一基板上に複数個設けられ、
該市柳回路より出力される複数個の第2の電源で複数個
に分割した主要回路を動作きせること全特徴とする特許
請求の範囲第1項、第2項、第3項の半導体集積回路装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57216821A JPS59107560A (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57216821A JPS59107560A (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 半導体集積回路装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59107560A true JPS59107560A (ja) | 1984-06-21 |
| JPH058584B2 JPH058584B2 (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=16694414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57216821A Granted JPS59107560A (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59107560A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1982
- 1982-12-13 JP JP57216821A patent/JPS59107560A/ja active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH058584B2 (ja) | 1993-02-02 |
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