JPS59112244A - Ｍｔｆ測定装置 - Google Patents
Ｍｔｆ測定装置Info
- Publication number
- JPS59112244A JPS59112244A JP57224342A JP22434282A JPS59112244A JP S59112244 A JPS59112244 A JP S59112244A JP 57224342 A JP57224342 A JP 57224342A JP 22434282 A JP22434282 A JP 22434282A JP S59112244 A JPS59112244 A JP S59112244A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- ronchi grating
- measuring device
- rotary table
- mtf
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0292—Testing optical properties of objectives by measuring the optical modulation transfer function
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は焦点距離を測定しうる機能を有する光学レンズ
用のＭ Ｔ Ｆ （Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ ｔｒａｎｓ
ｆｅｒｆｕｎｃｔｉｏｎ以下ＭＴＦと略記する）測定装
置だ関するものでちる。
用のＭ Ｔ Ｆ （Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ ｔｒａｎｓ
ｆｅｒｆｕｎｃｔｉｏｎ以下ＭＴＦと略記する）測定装
置だ関するものでちる。
従来例の構成とその問題点
従来のＭＴＦ測定装置は第１図に示すように定盤１上を
光軸２の方向に摺動する照明スタンド３とコリメータレ
ンズスタンド４と光電変換スタンド５に加工、被検レン
ズスタンド６とロンキ格子スタンド７と摺動台８を搭載
しモータ９とボールねじ１ｏにより揺動する回転テーブ
ル１１と信号処理装置１２と外乱光をしゃへいする暗箱
１３から構成されていた。摺動台８には回転テーブル１
１０回転軸１４に零をあわせた余尺１５が取付けられて
いた。ＭＴＦの測定法を示すと、照明スタンド３のビン
フォール１６から出だ光は、コリメータレンズ１了を経
て被検レンズ１８の焦点面に結像する。この像面にロン
キ格子１９をレンズの光軸２に直交させておき、被検レ
ンズ１８の第２主点附近を回転軸１４として、光軸２を
含む面内で被検レンズ１８とロンキ格子１９を同時に回
転するとロンキ格子１９が点像を走査することになる。
光軸２の方向に摺動する照明スタンド３とコリメータレ
ンズスタンド４と光電変換スタンド５に加工、被検レン
ズスタンド６とロンキ格子スタンド７と摺動台８を搭載
しモータ９とボールねじ１ｏにより揺動する回転テーブ
ル１１と信号処理装置１２と外乱光をしゃへいする暗箱
１３から構成されていた。摺動台８には回転テーブル１
１０回転軸１４に零をあわせた余尺１５が取付けられて
いた。ＭＴＦの測定法を示すと、照明スタンド３のビン
フォール１６から出だ光は、コリメータレンズ１了を経
て被検レンズ１８の焦点面に結像する。この像面にロン
キ格子１９をレンズの光軸２に直交させておき、被検レ
ンズ１８の第２主点附近を回転軸１４として、光軸２を
含む面内で被検レンズ１８とロンキ格子１９を同時に回
転するとロンキ格子１９が点像を走査することになる。
点像をロンキ格子１９が走査して得られる透過光は、フ
ィールドレンズ２ｏで平行となり、光電子倍増管２１に
入射して光電変換される。光電変換された電気信号より
信号処理装置１２は、ピーク値Ａ、ボタム値Ｂを選別し
、更には像のＭＴＦ値−Ｂ Ｉ（ｆ）＝ｐを計算する。一方、摺動台８に設置された
余尺１５より読みとった被検レンズ１８の焦点距離、ビ
ンフォール１６の直径、ロンキ格子１９の空間周波数よ
りビンフォールのＭＴＦ値Ｒ（ｆ）が計算でき更には被
検レンズ１８のＭＴＦ値Ｔ（ｆ）がＴ（ｆ） ＝ Ｉ
（ｆ） ／Ｒ（ｆ）なる式で計算できる。
ィールドレンズ２ｏで平行となり、光電子倍増管２１に
入射して光電変換される。光電変換された電気信号より
信号処理装置１２は、ピーク値Ａ、ボタム値Ｂを選別し
、更には像のＭＴＦ値−Ｂ Ｉ（ｆ）＝ｐを計算する。一方、摺動台８に設置された
余尺１５より読みとった被検レンズ１８の焦点距離、ビ
ンフォール１６の直径、ロンキ格子１９の空間周波数よ
りビンフォールのＭＴＦ値Ｒ（ｆ）が計算でき更には被
検レンズ１８のＭＴＦ値Ｔ（ｆ）がＴ（ｆ） ＝ Ｉ
（ｆ） ／Ｒ（ｆ）なる式で計算できる。
しかしながら上記のような構成では、
（ｉ） 被検レンズ１８の主点を回転テーブル１１の
回転軸１４にあわせる作業、被検レンズの焦点位置にロ
ンキ格子１９の面をあわせる作業等の調整の都度光電子
倍増管の高圧スイッチ２２を切り暗箱１３のカバーをは
ずし装置の中に首を入れ摺動台８に設置された余尺１５
の目盛を読みとる等煩雑な操作が必要で読みとりミスも
発生しやすく、又読みとれる測定値も５分１龍程度で測
定値の信頼性１分解能のうえでも不充分であったこと、 （１１）上記操作を経て読みとった被検レンズ１８の焦
点距離はパソコン２４のキーボード２６よす作業者がキ
ーインレピンフォールのＭＴＦ値Ｒ（ｆ）の計算に使わ
れる。このような手間のか＼る調整のため測定のスピー
ドが遅いこと、という欠点を有していた。
回転軸１４にあわせる作業、被検レンズの焦点位置にロ
ンキ格子１９の面をあわせる作業等の調整の都度光電子
倍増管の高圧スイッチ２２を切り暗箱１３のカバーをは
ずし装置の中に首を入れ摺動台８に設置された余尺１５
の目盛を読みとる等煩雑な操作が必要で読みとりミスも
発生しやすく、又読みとれる測定値も５分１龍程度で測
定値の信頼性１分解能のうえでも不充分であったこと、 （１１）上記操作を経て読みとった被検レンズ１８の焦
点距離はパソコン２４のキーボード２６よす作業者がキ
ーインレピンフォールのＭＴＦ値Ｒ（ｆ）の計算に使わ
れる。このような手間のか＼る調整のため測定のスピー
ドが遅いこと、という欠点を有していた。
発明の目的
本発明は上記欠点を解消するものであり測定手順を簡単
にすると同時に測定値の信頼性、測定スピードの向上を
ねらいとしたＭＴＦ測定装置を提供するものである。
にすると同時に測定値の信頼性、測定スピードの向上を
ねらいとしたＭＴＦ測定装置を提供するものである。
発明の構成
本発明は、白色光ランプの光をビンフォールで絞ってつ
くる点光源と、光源から出てくる光を平行にするコリメ
ータレンズと、平行光の中に被検レンズをおきレンズに
て結像した像点にロンキ格子をおきレンズと格子が互い
に独立に自動的に移動しうるテーブルと、テーブルを搭
載して被検レンズの第２主点附近を回転軸として光軸を
含む面内で回転可能な回転テーブルと、回転テーブルの
回転中心とロンキ格子面の間の距離を測定する測長器と
、ロンキ格子を透過した光を光電変換する光電変換部と
、光電変換信号及び測長データを収録するデータ処理装
置と、全体を外乱光からまもる暗箱から構成され、被検
レンズの主点とロンキ格子迄の距離（すなわち被検レン
ズの焦点距離）を測定するために、暗箱のカバーをはず
すこともなく、又被検レンズの焦点距離の値は自動的に
データ処理装置にとりしまれるので焦点距離の読みとり
ミスがなくなると同時に、測定スピードも向上し、又本
発明の構成では測定器の分解能を高くとることができ、
測定値の精度及び信頼性の向上をはかれるという特有の
効果を有する。
くる点光源と、光源から出てくる光を平行にするコリメ
ータレンズと、平行光の中に被検レンズをおきレンズに
て結像した像点にロンキ格子をおきレンズと格子が互い
に独立に自動的に移動しうるテーブルと、テーブルを搭
載して被検レンズの第２主点附近を回転軸として光軸を
含む面内で回転可能な回転テーブルと、回転テーブルの
回転中心とロンキ格子面の間の距離を測定する測長器と
、ロンキ格子を透過した光を光電変換する光電変換部と
、光電変換信号及び測長データを収録するデータ処理装
置と、全体を外乱光からまもる暗箱から構成され、被検
レンズの主点とロンキ格子迄の距離（すなわち被検レン
ズの焦点距離）を測定するために、暗箱のカバーをはず
すこともなく、又被検レンズの焦点距離の値は自動的に
データ処理装置にとりしまれるので焦点距離の読みとり
ミスがなくなると同時に、測定スピードも向上し、又本
発明の構成では測定器の分解能を高くとることができ、
測定値の精度及び信頼性の向上をはかれるという特有の
効果を有する。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。第２図において、２６は照明スタンド、２７は
コリメータスタンド、２８は被検レンズスタンド、２９
はロンキ格子スタンド、３０は被検レンズスタンド２８
とロンキ格子スタンド２９を搭載した回転テーブル、３
１は光！変換スタンド、３２は信号処理装置である。そ
して前記ロンキ格子スタンド２９には測長用ガラススケ
ール３３が設置されており又回転テーブル３０にはスケ
ールの格子読取り用センサ３４が設置されている。セン
サ３４からの信号は、ケーブル３５を経て表示器３６へ
導びかれＡ／Ｄ変換される。
明する。第２図において、２６は照明スタンド、２７は
コリメータスタンド、２８は被検レンズスタンド、２９
はロンキ格子スタンド、３０は被検レンズスタンド２８
とロンキ格子スタンド２９を搭載した回転テーブル、３
１は光！変換スタンド、３２は信号処理装置である。そ
して前記ロンキ格子スタンド２９には測長用ガラススケ
ール３３が設置されており又回転テーブル３０にはスケ
ールの格子読取り用センサ３４が設置されている。セン
サ３４からの信号は、ケーブル３５を経て表示器３６へ
導びかれＡ／Ｄ変換される。
Ａ／Ｄ変喚された信号は、インターフェイス３７を介し
てパソコン３８へとりこまれる。一方前記光電変換スタ
ンド３１にて光電変換された電気信号は、ケーブル３９
．ローパスフィルタ４０．Ａ／Ｄｉ換器４１．インター
フェイス４２を経てパソコン３８へ送りこまれる。
てパソコン３８へとりこまれる。一方前記光電変換スタ
ンド３１にて光電変換された電気信号は、ケーブル３９
．ローパスフィルタ４０．Ａ／Ｄｉ換器４１．インター
フェイス４２を経てパソコン３８へ送りこまれる。
以上のように構成されたＭＴＦ測定装置について以下そ
の動作を説明する。まずコリメータレンズ４３にて平行
にされた光は、被検レンズ４４にてロンキ格子２９面に
焦点を結ぶ。被検レンズ４４の第２主点附近に回転軸４
５をあわせ回転テーブル３０を左右に回転すると、焦点
スポットはロンキ格子２９上を走査し、格子を透過した
光は光電変換スタンドにて電気信号に変換される。この
電気信号より従来例で述べたと同様の方法で像のＭＴＦ
値が算出される。一方、被検レンズ４４の主点の位置す
なわち回転テーブル３ｏの回転軸４５の位置とセンサ３
４間は既知であるので、センサ３４とスケール３３の位
置関係すなわち表示器３６の値にこの既知の値を加える
と被検レンズ４４の焦点距離が求まる。
の動作を説明する。まずコリメータレンズ４３にて平行
にされた光は、被検レンズ４４にてロンキ格子２９面に
焦点を結ぶ。被検レンズ４４の第２主点附近に回転軸４
５をあわせ回転テーブル３０を左右に回転すると、焦点
スポットはロンキ格子２９上を走査し、格子を透過した
光は光電変換スタンドにて電気信号に変換される。この
電気信号より従来例で述べたと同様の方法で像のＭＴＦ
値が算出される。一方、被検レンズ４４の主点の位置す
なわち回転テーブル３ｏの回転軸４５の位置とセンサ３
４間は既知であるので、センサ３４とスケール３３の位
置関係すなわち表示器３６の値にこの既知の値を加える
と被検レンズ４４の焦点距離が求まる。
すなわちパンコン３８は光電変換部３１とセンサ３４の
信号をうけとり下記に示す演算を行ないレンズのＭＴＦ
値を求め出力する。
信号をうけとり下記に示す演算を行ないレンズのＭＴＦ
値を求め出力する。
−Ｂ
１（ｆ） −Ａ＋８
Ｒ（ｆ＞ ＝ Ｔ、 （２ｙｒａｆ）／（πａｆ）Ｔ（
ｆ） −Ｉ（ｆ） ／Ｒ（ｆ） Ｉ（ｆ） ：像のＭＴＦ値 Ａ：光電変換した信号の最大値 Ｂ：光電変換した信号の最小値 ａ：ビンフォールの像面での理想半径 ｄ：ビンフォールの半径（固定） ｆＴ：測長器の読み値 Ｃ：センサ３４と回転中心４５の距離（固定）ｆＴ＋Ｃ
：被検レンズの焦点距離 ｆニー１’）、ｌ−タレンズの焦点距離（固定）ｄ：ビ
ンフォールの半径（固定） Ｒ（ｆ） ：ピンフォールのＭＴＦ値ｆ：ロンキ格子
の空間周波数（固定） Ｔ（ｆ）：レンズのＭＴＦ値 発明の効果 以上本発明は、被検レンズの焦点距離をたえずパソコン
で監視できる構成であるので、被検レンズを順々と交換
して測定を行っていく際、ビンフォールのＭＴＦ値の計
算をそのつど簡単に行うことができるのみならず、暗室
作業のために生じる焦点距離の読とりミスがなくなり測
定イ直の精度及び信頼性が向上するとともに測定スピー
ド７５；向上しだ０
ｆ） −Ｉ（ｆ） ／Ｒ（ｆ） Ｉ（ｆ） ：像のＭＴＦ値 Ａ：光電変換した信号の最大値 Ｂ：光電変換した信号の最小値 ａ：ビンフォールの像面での理想半径 ｄ：ビンフォールの半径（固定） ｆＴ：測長器の読み値 Ｃ：センサ３４と回転中心４５の距離（固定）ｆＴ＋Ｃ
：被検レンズの焦点距離 ｆニー１’）、ｌ−タレンズの焦点距離（固定）ｄ：ビ
ンフォールの半径（固定） Ｒ（ｆ） ：ピンフォールのＭＴＦ値ｆ：ロンキ格子
の空間周波数（固定） Ｔ（ｆ）：レンズのＭＴＦ値 発明の効果 以上本発明は、被検レンズの焦点距離をたえずパソコン
で監視できる構成であるので、被検レンズを順々と交換
して測定を行っていく際、ビンフォールのＭＴＦ値の計
算をそのつど簡単に行うことができるのみならず、暗室
作業のために生じる焦点距離の読とりミスがなくなり測
定イ直の精度及び信頼性が向上するとともに測定スピー
ド７５；向上しだ０
第１図は従来のＭＴＦ測定装置の断面図、第２図は本発
明の一実施例におけるＭＴＦ測定装置の一部破断の斜視
図である。 ４４・・・・・被検レンズ、２９・・・ロンキ格子、３
３・・・・・測長用ガラススケール、３４・・・・・ス
ケールの格子読取り用セ／す、３１・・・・・・光電変
換スタンド、３２・・・・信号処理装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名−２
４り
明の一実施例におけるＭＴＦ測定装置の一部破断の斜視
図である。 ４４・・・・・被検レンズ、２９・・・ロンキ格子、３
３・・・・・測長用ガラススケール、３４・・・・・ス
ケールの格子読取り用セ／す、３１・・・・・・光電変
換スタンド、３２・・・・信号処理装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名−２
４り
Claims (1)
- 点光源から出る光を平行に曲折可能なコリメータレンズ
と、被検レンズとロンキ格子が同一方向に移動しうるテ
ーブルと、このテーブルを搭載シ、被検レンズの第２主
点附近を回転軸として回転可能な回転テーブルと、この
回転テーブルの中心とロンキ格子面の距離を測定する測
長器と、ロンキ格子を透過した光を光電変換する光電変
換部と、前記測長器からの信号及び光電変換部からの信
号を処理するデータ処理装置とからなるＭＴＦ測定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57224342A JPS59112244A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | Ｍｔｆ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57224342A JPS59112244A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | Ｍｔｆ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59112244A true JPS59112244A (ja) | 1984-06-28 |
Family
ID=16812250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57224342A Pending JPS59112244A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | Ｍｔｆ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59112244A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61120937A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ｍｔｆ測定装置 |
| CN102788683A (zh) * | 2012-08-31 | 2012-11-21 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于牛顿法和泰伯效应的微透镜阵列焦距的检测方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56158933A (en) * | 1980-05-13 | 1981-12-08 | Agency Of Ind Science & Technol | Method for measuring spacial frequency characteristic of lens |
-
1982
- 1982-12-20 JP JP57224342A patent/JPS59112244A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56158933A (en) * | 1980-05-13 | 1981-12-08 | Agency Of Ind Science & Technol | Method for measuring spacial frequency characteristic of lens |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61120937A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ｍｔｆ測定装置 |
| CN102788683A (zh) * | 2012-08-31 | 2012-11-21 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于牛顿法和泰伯效应的微透镜阵列焦距的检测方法 |
| CN102788683B (zh) * | 2012-08-31 | 2015-04-22 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于牛顿法和泰伯效应的微透镜阵列焦距的检测方法 |
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