JPS5912614A - 抵抗を有する圧電振動部品の製造方法 - Google Patents
抵抗を有する圧電振動部品の製造方法Info
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- JPS5912614A JPS5912614A JP12182982A JP12182982A JPS5912614A JP S5912614 A JPS5912614 A JP S5912614A JP 12182982 A JP12182982 A JP 12182982A JP 12182982 A JP12182982 A JP 12182982A JP S5912614 A JPS5912614 A JP S5912614A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は抵抗を有する圧電振動部品を製造する方法に
関するものである。
関するものである。
従来、圧電基板上に電極を設けて形成された共振子、フ
ィルタ、発振子、トラップ素子、ＦＭディスクリミネー
タ用共振素子の如き圧電振動部品と抵抗を組合せたいと
きは抵抗と圧電振動部品とは別個に作られ、プリント基
板上において別々に取り扱かわれていたが、別個である
と部品点数が多（なりプリント基板上においてスペース
的に不利となる。
ィルタ、発振子、トラップ素子、ＦＭディスクリミネー
タ用共振素子の如き圧電振動部品と抵抗を組合せたいと
きは抵抗と圧電振動部品とは別個に作られ、プリント基
板上において別々に取り扱かわれていたが、別個である
と部品点数が多（なりプリント基板上においてスペース
的に不利となる。
このため、−板の圧電基板上に電極と抵抗を設は部品数
の減少と小型化によりスペース的に有利な圧電振動部品
が近年提案されている。
の減少と小型化によりスペース的に有利な圧電振動部品
が近年提案されている。
上記のような圧電振動部品を製造する一般的な方法は、
圧電特性の出る組成の磁器材料を用い、これを焼成して
圧電基板を形成し、この圧電基板を分極して圧電性をも
たせ、共振電極等の加工を施す。この後圧電性基板に抵
抗ペーストを塗布してこれを焼付は固着させるようにし
ていた。
圧電特性の出る組成の磁器材料を用い、これを焼成して
圧電基板を形成し、この圧電基板を分極して圧電性をも
たせ、共振電極等の加工を施す。この後圧電性基板に抵
抗ペーストを塗布してこれを焼付は固着させるようにし
ていた。
しかし、抵抗ペーストを焼付は加工するときに圧電基板
を高温で加熱すると、圧電基板が備えている圧電性がと
れるため、抵抗ペーストの焼付けを、圧電基板の圧電性
を損なわない温度以下で行なう必要がある。
を高温で加熱すると、圧電基板が備えている圧電性がと
れるため、抵抗ペーストの焼付けを、圧電基板の圧電性
を損なわない温度以下で行なう必要がある。
このため抵抗の焼付けが不充分となり、強度の強いもの
が得られないと共に、抵抗値のバラツキ発生や経時変化
の原因となるという問題がある。
が得られないと共に、抵抗値のバラツキ発生や経時変化
の原因となるという問題がある。
この発明は上記のような問題を解消するためになされた
ものであり、抵抗の焼付けが高温で行なえ、抵抗の強度
と精度が優れた圧′市振動部品を提供することを目的と
する。
ものであり、抵抗の焼付けが高温で行なえ、抵抗の強度
と精度が優れた圧′市振動部品を提供することを目的と
する。
この発明の構成は、圧電磁器板になり得る基板の所要位
置に抵抗膜を設けて充分な温度で焼付け、この抵抗膜の
両端を除く表面を不導体インキで被覆した後、基板の表
面全体に電極膜を施して分極を行ない、電極膜上に必要
なパターンをレジストインキで印刷してエツチングを施
すようにし、電（α膜の形成前に抵抗膜を高温で焼付は
加工することができるようにしたものである。
置に抵抗膜を設けて充分な温度で焼付け、この抵抗膜の
両端を除く表面を不導体インキで被覆した後、基板の表
面全体に電極膜を施して分極を行ない、電極膜上に必要
なパターンをレジストインキで印刷してエツチングを施
すようにし、電（α膜の形成前に抵抗膜を高温で焼付は
加工することができるようにしたものである。
以下、この発明の一実施例を添付図面にもとづいて説明
する。
する。
図面はｌ素子構成の圧型磁器フィルタに１つの抵抗を設
けた圧電振動部品に適用した例であり、第１図ないし第
９図はその製造工稈を示し、第１Ｏ図は同上の電気的回
路を示しているが、共振子等信の圧電振動部品にも適用
できる。
けた圧電振動部品に適用した例であり、第１図ないし第
９図はその製造工稈を示し、第１Ｏ図は同上の電気的回
路を示しているが、共振子等信の圧電振動部品にも適用
できる。
先ず、第１図のように、圧電磁器板になり得る材料を用
いて基板ｌを形成し、次に第２図のように、基板ｌの表
面における所要の位置に抵抗ペーストを塗布した後、高
温で焼付を行なって抵抗膜２を形成する。
いて基板ｌを形成し、次に第２図のように、基板ｌの表
面における所要の位置に抵抗ペーストを塗布した後、高
温で焼付を行なって抵抗膜２を形成する。
抵抗膜２は高温での焼付けにより強固な固着となる。
第３図のように、抵抗膜２の両端を除く表面を不導体イ
ンキ３で被覆した後、基板ｌの表面および裏面の全体に
電極膜４を設ける。（第４図参照）電極膜４の形成は、
蒸着やスパッタリング等の手段によって施し、抵抗膜２
の不導体インキ３で被覆された部分は電極膜４との接触
がなく、その両端の露出する部分のみが電極膜４と導通
することになり、後にこの部分が電極における入出力両
端子との接続部分となる。
ンキ３で被覆した後、基板ｌの表面および裏面の全体に
電極膜４を設ける。（第４図参照）電極膜４の形成は、
蒸着やスパッタリング等の手段によって施し、抵抗膜２
の不導体インキ３で被覆された部分は電極膜４との接触
がなく、その両端の露出する部分のみが電極膜４と導通
することになり、後にこの部分が電極における入出力両
端子との接続部分となる。
電極膜４の形成された基板ｌに対し、表裏の電極膜に直
流の高電圧をかけ、第５図のように、母基板の厚み方向
に分極処理を施し、圧電基板ｌａに形成する。
流の高電圧をかけ、第５図のように、母基板の厚み方向
に分極処理を施し、圧電基板ｌａに形成する。
この後、表裏両電極膜４上に残しておきたい電極パター
ンをレジストインキ５で印刷する。
ンをレジストインキ５で印刷する。
第６図は圧電基板１ａの表面に、また第７図は同裏面に
施す電極パターンのレジストインキを示している。
施す電極パターンのレジストインキを示している。
表面のレジストインキ５は一対の振動電極を形成するた
めに施され、入出力の端子に該当する部分が不導体イン
キ３の端部に達している。
めに施され、入出力の端子に該当する部分が不導体イン
キ３の端部に達している。
レジストインキ５の印刷後、表裏両’ａｕＸ膜４にエツ
チングを施す。エツチングを行なうと、レジストインキ
５で覆われた部分だけそのま＼残り、露出している不要
部分の電極膜４は除去され、この後洗浄すればレジスト
インキ５が取り除かれ、第８図のように必要とするパタ
ーンの電極６が形成されることになる。
チングを施す。エツチングを行なうと、レジストインキ
５で覆われた部分だけそのま＼残り、露出している不要
部分の電極膜４は除去され、この後洗浄すればレジスト
インキ５が取り除かれ、第８図のように必要とするパタ
ーンの電極６が形成されることになる。
また、第９図のように、必要ならば抵抗膜２を不導体イ
ンキ３と共にトリミング７して抵抗値を所望のものにす
ればよく、圧電基板１ａの表面に一対の分割振動電極５
ａ、５ｂが対向し、その入出力端子ＡとＢが抵抗膜２で
つながり、しかも裏面側に振動電極６ｃを備えた圧電磁
器フィルタができあがり、各端子Ａ、Ｂ、Ｃにリード線
を接続する等通常の加工を施せばよい。
ンキ３と共にトリミング７して抵抗値を所望のものにす
ればよく、圧電基板１ａの表面に一対の分割振動電極５
ａ、５ｂが対向し、その入出力端子ＡとＢが抵抗膜２で
つながり、しかも裏面側に振動電極６ｃを備えた圧電磁
器フィルタができあがり、各端子Ａ、Ｂ、Ｃにリード線
を接続する等通常の加工を施せばよい。
なお、実施例では、一つの圧電振動部品を製作したが、
大きな母基板を用い、多数個の同時加工を行なってもよ
い。
大きな母基板を用い、多数個の同時加工を行なってもよ
い。
以上のように、この発明によると、圧゛市磁器板になり
得る基板の所要位置に抵抗膜を設けて焼付加工した後、
この抵抗膜を不導体インキで被覆し、次に電極膜の形成
、基板の分極、電極膜上へのレジストインキでの印刷、
エツチングを順次施し、電極膜の不要部分を除去するよ
うにしたので、抵抗膜の形成を圧電基板の分極加工前に
行なうことができ、従って圧電基板の圧電性に関係なく
、充分に高い温度で抵抗膜を焼付加工することができる
よ・）になり、強度が強く精度の高い抵抗膜を形成でき
、性能バラツキのない複合圧電振動部品を得ることがで
きる。
得る基板の所要位置に抵抗膜を設けて焼付加工した後、
この抵抗膜を不導体インキで被覆し、次に電極膜の形成
、基板の分極、電極膜上へのレジストインキでの印刷、
エツチングを順次施し、電極膜の不要部分を除去するよ
うにしたので、抵抗膜の形成を圧電基板の分極加工前に
行なうことができ、従って圧電基板の圧電性に関係なく
、充分に高い温度で抵抗膜を焼付加工することができる
よ・）になり、強度が強く精度の高い抵抗膜を形成でき
、性能バラツキのない複合圧電振動部品を得ることがで
きる。
第１図乃至第９図の各々は、この発明による製造方法を
示す工程図、第１Ｏ図は圧電振動部品の−例を示す回路
図である。 ｌ・・・基板、ｌａ・・・圧電基板、２・・・抵抗膜、
３・・・不導体インキ、４・・・電極膜、５・・・レジ
ストインキ。 ６・・・電極、７・・・トリミング。 特許出願人 株式会社 村田製作所代 理 人
弁理士 和 １） 剛節１図
第２図 第５図 第６図 第７図 ５７− 第８図 第９図 第１０図
示す工程図、第１Ｏ図は圧電振動部品の−例を示す回路
図である。 ｌ・・・基板、ｌａ・・・圧電基板、２・・・抵抗膜、
３・・・不導体インキ、４・・・電極膜、５・・・レジ
ストインキ。 ６・・・電極、７・・・トリミング。 特許出願人 株式会社 村田製作所代 理 人
弁理士 和 １） 剛節１図
第２図 第５図 第６図 第７図 ５７− 第８図 第９図 第１０図
Claims (1)
- 圧電磁器板になり得る基板の所要位置に抵抗膜を設けて
焼付け、この抵抗膜の両端を除く表面を不導体インキで
被覆した後基板の表面全体に電極膜を設け、次に基板の
分極を行ない分離後電極膜上に残しておきたいパターン
をレジストインキで印刷し、この後エツチングを施して
電極膜の不要部分を除去することを特徴とする抵抗を有
する圧電振動部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12182982A JPS5912614A (ja) | 1982-07-12 | 1982-07-12 | 抵抗を有する圧電振動部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12182982A JPS5912614A (ja) | 1982-07-12 | 1982-07-12 | 抵抗を有する圧電振動部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5912614A true JPS5912614A (ja) | 1984-01-23 |
| JPH0214807B2 JPH0214807B2 (ja) | 1990-04-10 |
Family
ID=14820954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12182982A Granted JPS5912614A (ja) | 1982-07-12 | 1982-07-12 | 抵抗を有する圧電振動部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5912614A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0439715U (ja) * | 1990-07-31 | 1992-04-03 |
-
1982
- 1982-07-12 JP JP12182982A patent/JPS5912614A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0439715U (ja) * | 1990-07-31 | 1992-04-03 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0214807B2 (ja) | 1990-04-10 |
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