JPS5912980A - セラミツクス用接着剤及びその接着方法 - Google Patents

セラミツクス用接着剤及びその接着方法

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JPS5912980A
JPS5912980A JP12244682A JP12244682A JPS5912980A JP S5912980 A JPS5912980 A JP S5912980A JP 12244682 A JP12244682 A JP 12244682A JP 12244682 A JP12244682 A JP 12244682A JP S5912980 A JPS5912980 A JP S5912980A
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Yoshihiro Ehata
江畑 儀弘
Minoru Kinoshita
木下 実
Ryozo Hayamizu
速水 諒三
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はセランツクス用接着剤及びその接着方法に関し
、特化窒化珪素、炭化珪素、サイアロン等の非酸化物系
セラミックス相互またはこれと他ノセラミックス材刺と
の接着に用いるのに好適な接着剤及びそれ等・の接着方
法に関する。
炭化珪素、窒化珪素、サイアロン等の非δに化物系セラ
ミックスは、特に高温における強度、耐熱衝撃性、耐薬
品性等に優れる所から、金属酸化物系セラミックス材料
とは異なった新しい高温耐熱材刺として、近年脚光をあ
び、その応用分野の開発が種々進と1られている1例え
ばこれ笠、トイ第1は、高温機器、高精密機械部品、熱
交換器等に、また瞬間的に高温になる磁器部品や特殊な
高温絶縁体等としての用途にその利用の開発が検討され
つつある。
これ等非酸化物7セラミツクスを利用し、その特性を充
分に発揮させるためには、各種機器類やその部品等の製
造過程でこれ等非酸化物系セラミックスをこれ等相互間
または他の材料と接着させる必要があり、特に種々の形
状に成形された非酸化物系セラミックスの接着技術の開
発が不可欠となる。
しかしながら非酸化物系セラミックスは、一般に溶融物
の親和性所謂濡れ性が極めて悪く、しがもアルミナ、マ
グネシア等の金属酸化物系セラミックス材料とは異なっ
て共有結合性が強く、また他の化合物との反応性も非常
に低く、加えて熱膨張係数もアルミナの半分以下であり
、そのI′PC;Efは極めて困難である。事実従来該
非酸化物系セラミックスの接見Cメ、専ら高温鳥圧下て
のポットプレス法が知られているにすぎず、該ボッドブ
1/ス法では高温高圧下で操作ぜねばならないため、大
型複MJ1%形の材料の接着は至難であり、たとえ接着
できたとI、でもその接着弾度は荷下十分である欠点が
ある。
本発明者は上記現状に鑑み、ホットプレス法1こよるこ
となく、より温和な条件で容易にしかも大型複雑異形の
材料をも充分な接着強度をもって接着できる新しい接着
剤及び接着方法を相供することを目的として標々研究を
重ねた。しかるに上Re非酸化物系セラミックス用接着
剤には、これを充分な接着力にて接着できる特長を有す
ることは勿−のこと、これと共に、形成される接着層自
体が化学的に安定であり、しかも上記非酸化物系セラミ
ックスの特性をぜわない程度の優れた耐熱性、剛#衝撃
性等を具f’iffすることが要望され、現在知られて
いる接着剤乃至その有効成分は、到しいピ強PFを有す
るものでCIなかった。1本発明者らは引き続く研究に
おいて、特にアルカリ金にフッ化物及び(又は)アルカ
リ土類金属フッ化物並びにξれらと−fットリア及び(
又は)カオリンとの混合物が上記要件を月、錨するもの
であること及びこれらは非1駿化物系セラミツクスのみ
ならず酸化物系セラミックスの接着にも好適であること
を見い出し、それについては別途特許出願中であるが、
更に上記フッ化物とランクニド系元素の酸化物との混合
物又はこれらとカオリンとの混合物にも同等若しくはそ
れ以」二の効果があることを見い出し、本発明を完成し
たものである。
部ち、本発明はアルカリ金属フッ化物及びアルカリ土類
金属フッ化物の少くとも1種とランタニド系元素の酸化
物の少くともlflとの混合物、又はこれらとカオリン
との混合物を有効成分とするセラミックスの拉今用接着
剤及び」−1こ接着剤を非酸化物系中ラミックス相互間
若しくは間化り↓、系セラミックス相互間または非酸化
物系セラミックスと酸化物系セラミックスとの間に介在
させ、これを上記フッ化物の分解温度以上に加熱するこ
とを特徴とするセラミックスの接着方法に係る。
大発明接着剤は、これを単に非酸化物系セラミックス相
互間若しくは11化物系セラミツクス(U瓦間または非
酸化物系セラミックスと酸化物系セジミックスとの間に
介在させ通常約1000〜1500°C程度に加熱する
のみで、何等加圧することなく容易にセラミックスを接
着することができる。この際、接着剤中のアルカリ金属
フッ化物の割合が増加するにつれて、土間加熱温度範囲
内でより低い温度で接着することが可能となる。
本発明接着剤は、特に非酸化物系セラミックス相互を接
着できることを大きな利点としており、この場合の接着
強度は通常1000kg/d以上、実に8800kg/
ad にも及ぶものであり、公知の方法では約800k
g/cn!が限度であったことに比しf/′18倍以上
11倍もの向上を図り得る。更に本発明接着剤は、公知
方法では接着できない大ff1l複雑異形な非酸化物系
セラミックス材料の接着にも容易に適用でき、2等材料
をも強力に接着させることができる。加えて本発明接着
剤は、その使用により形成される接着層が化学的に安定
であり、また非酸化物系セラミックスにほぼ匹敵する程
度の剛燕性。
耐熱衝撃性を有する。
上記の効果は、非酸化物系セラミックスと酸化物系セラ
ミックス間又は酸化物系セラミックス相互間の接着の場
合も同様であり、従来以上に優れた接着強度及び接着層
の特性が得られる。
また、カオリンが駅舎された本発明接着剤の場合には、
接着強度は若干低下するが、接着層に気泡及びピンホー
ルが殆んど発生しないという効果を有する。
本発明接着剤の利用によって、上記各種の極めて卓越す
る効果が発揮される理由は、現在尚明確ではないが、以
下の如く考えられる。即ち本発明接着剤を構成するアル
カリ金属フッ化物又は(及び)アルカリ土類金属フッ化
−物は、これを非酸化物系セラミックス相互間若しくは
酸化物系セラ2ツクス相互間または非酸化物系セラミッ
クスと酸化物系セラミックスとの間に介在させその分解
温度以上の温度屹加熱することにより、分解[7てフッ
素ガスを発生し、該フッ素ガス、がセラミックス拐゛斗
の表面を侵食する一方、分解生成物のアルカリ金属又は
(及び)アルカリ土類金属とランタニド系元素の酸化物
との反応物、又けこれらとカオリンとの反応物が、上記
匿より侵食された材料内に浸透すると共に、被接着材料
間に優れた接着力を有する接着剤層を形成するものと考
えられる。
カオリンを併用された本発明接着剤の場合には。
該カオリンが、上記加熱により結晶水を放出し。
放出された結晶水により濡れ性が改善されると共に接着
剤が均一になって気泡及びピンホールの生成を防止する
ものと思われる。いずれにせよ、本発明は七うきツクス
の新しい接着技術全提供するものであり、特に従来有効
な接着方法のなかった非酸化物系セラミックスの新しい
接着技術を確立したものであり、これにより非酸化物系
セラミックスの利用分野が拡大されると共に、高温耐熱
材料を必要とする各種分野のmmの全勝に′ytドする
ものである。
本発明接着剤の適用される非酸化物系セラミックスは、
たとえば炭化珪素、窒化珪素、サイアロミックス相互間
の接着としてはたとえば炭化珪素−炭化珪素、窒化珪素
−窒化珪素、窒化珪素−炭化珪素、窒化珪素−サイアロ
ン、炭化珪素−サイア豐ン、サイアロン−サイアロン等
の間の接着を例示できる。また1本発明接着剤は王妃非
酸化物糸上うミックスと酸化物系セラはツクスたとえば
アルミナ、ムライト質セラミックス、マグネシア。
ジルコニア、コージーライト、ベリリア等との接着ある
いは上記酸化物系セラミックス相互の接着にも好適化使
用できる。
更には非酸化物系セラミックスに上記酸化物系セラミッ
クスを介して金属と接着することも出来る。この場合は
非酸化物系セラミックスと金属とけ膨張係数が大きく異
なるため、その中間各こ酸化物系セラミックスを存在せ
しめるものである。この「眩化物系セラミックスがその
厚みが5 +u以下の場合には該酸化物系セラミックス
は一種類だけでも良いが、その厚みが5ffより大きく
なると酸化物系セラミックスとして2種以上の膨張係数
の界なるものを組合せて使用することが好ましl+’a
この際の金属としては広く各種のものが包含される。
これ等非酸化物系セラミックス、・チ化物系−ヒラミッ
クス、あるいは金属材料は特にその形状や大きさに限定
はなく、板状、柱状、ノ何フ゛状、塊状等のあらゆる形
状を有していてよく、しかも接着すべき材料相互が同一
形状でも異形状でもよし)6本発明接着剤において有効
成分とするアルノ21)金属フッ化物としては、ソツ化
ナト1」ウム、フッ化リチウム、フッ化カリウム、フッ
化ルビジウム等が挙げられ、又アルカリ土類金属フッ化
物としては、フッ化カルシウム、フッ化ヘリリウム、フ
化バリウム等が挙げられる。これらフッ化物の純度は特
に限定されないが接着強度を高めるためには、できるだ
り高純度であるのが好ましい。
これ等アルカリ金属フッ化物やアルカリ土類金属フッ化
物は通常入手される粉末状形態で有利に用いられる。こ
れ等アルカリ金属フッ化物及びアルカリ土類金Rフッ化
物はその内の任意の一種を用途に応じて用いることがで
き、また二種以上の混合物として用いる場合には用途に
応じて任意のフッ化物を任意の割合(通常2:8〜8:
2)に混合すれば良い。
また、本発明接着剤において有効成分とするランタニド
系元素の酸化物としては、周期表の第6周期に位する元
素番号57〜71の15元素、即ちランタン、セリウム
、プラセオジム、ネオジム、プロメチウム、サマリウム
、ユウロピウム及びガドリニウムの軽希土類、テルビウ
ム、ジスプロシウム。
ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウム及
びルテチウムの重希土類の酸化物がいずitも包含され
、これらの1種又は2種以上の混合物が用いられる。こ
れらの内で、特に好ましいものとして、酸化エルビウム
、0化ネオジム、酸化ランタン、T化すマリウム、酸化
テルビウム、酸化ホルきラム、酸化エルビウム、酸化セ
リウム及び9化プラセオジム等を挙げることができる。
これらランタニド系元素の酸化物は、特に高純度である
必要はな(、通常市販されているものの純度で充分であ
る。
また、例えばミツシュメタルの様な各種ランクニド系元
素を含有する混合物の酸化物C以下酸化ミツシュという
)も好適に用いることができ、酸化ミツシュを用いたと
きには、カオリンを併用しなくても、おそらくランクニ
ド系元素の酸化物以外の不純物の作用によると思われる
が、気泡及びピンホールの生成が殆んどないという効果
がある。
また、本発明接着剤に併用され得るカオリンとしては、
市販のものをいずれも使用でき、特にその産地(原石の
種類)、結晶の大きさ、履歴等に限定されない。またそ
の成分組成も5102  及びA120gを主とし他に
Fe2O3、TiO2、cao、 K2O等の若干量を
含む通常のものでよいが、純度のより高いものの方が、
その使用により前記の効果即ち気泡及びピンホールの防
止効果がより高められる。
本発明接着剤において有効成分とする上記三者の使用割
合としては、広い師団から選択され特に限定されるもの
ではないが、通常アルカリ金属フッ化物及びアルカリ土
類金属フッ化物の少くとも1種を10〜90重11%程
度、ランタニド系元素の酸化物の少くとも1種を10〜
90重量%程度及びカオリンを0〜80重景%重量であ
る。
本発明接着剤は、上記アルカリ金属フッ化物及びアルカ
リ土類金属フッ化物の少くともlfI!!とランタニド
系元素の酸化物の少くとも1wt%またはこイ9.らと
カオリンとを単Iζ粉体混合した混合粉末状すでも使用
でき、また之等を通常のビヒクル(バルサム等の有機粘
着物又はこれと有t’9溶剤)に配合してペースト状態
等の形態で用いるこきもできる。
かくして得られる本発明接着剤は、その使用に当っては
、これを接着すべき月4・1間に介在させ次いでアルカ
リ金属フッ化物またはプルカリ土類金ムメフツ化物の分
解温度以上に加熱される。ここで六発明接)ゆ剤の材料
間への適用は、接着剤の形態に応じて、例えば粉末形態
のものではこれを被接着面に撒布すればよく、またペー
スト状のものでは通常の接着剤と同様に塗付すればよい
。その適用汲は、用いる接着剤の組成特にカオリンの併
用看、該接着剤適用後の加熱条件、被接着材とする材料
のrl類や形状特に厚さ等に応じて適宜に決定でき、特
に限定されないが、本発明接着剤有効成分重錬換算で、
被接着面積1f、1当りに約0.O1〜5f。
剤を上記により施工後の加熱は、前記温度即ちアルカリ
全縮フッ化物またはアルカリ土類金属フッ化物が分解し
てフッ素を放出する温度きすれば良い。
本発明では特に上記加熱に際12て何らの加圧手段を採
用する必要はないが、被接着面の密着性を確葆するため
若干加圧することもできる。また上記加熱は、一般に空
気中で容易に行ない得るが。
被接N相とする材料の加熱による酸化が起るおそれのあ
る場合は、窒素雰囲気下で行なうこともできる。
以下本発明を側に詳しく説明するため実施例を発げる。
尚、以下の実施例で得られた接合体試料の接着強度、耐
檗品性及び耐熱衝零性は王制の方法により調べた。
接着強度−スパン20 MM 、荷重速度0.5xR/
 minの条件下で、三点荷重曲げ強度測定法により求
めた。
耐薬品性・・・48%水酸化カリウム水溶液中に、70
″C下に50時間浸漬して調べた。
龜t ?、H(悔撃性・・・1100℃に再加熱後、空
気中にて急冷する急冷試験により調べた。
実施例1〜4 ?化坤素板相瓦間、サイアロン板相互間又は炊化ムト素
枦相互1IIHζフッ化ナトリウノ、5G貢量%、竺ひ
11召しエルビiツム50亜量%かりな゛る混合粉末を
接層面4j l d当り0.61 となる量で撒布介在
させ、これを電気炉中で1100℃で30分間加熱した
得られた各接合体試料の接着強度は、窒化珪素板相互間
のす・合2000 kq/r:4であり、サイアロン枦
相互1iJ、i にり N’合195 Q kH,’/
ctl であり、又炭化EI R’at’i a 、l
j−IW (/、) l=合160 J kQ/c−で
あった、まt、−’4妾着強夏画定後の破゛・ノ「面を
調べた所、接着部分の外側(基材窒化珪素、サイアロン
又は炭化珪素)で破壊されていた。
更に、1ゴク各接合体試料の耐薬品性及び酬熱衝−性を
調べたところ、いずれも接着部には何等の異状も認めら
れなかった。
次に、上記と同様にして、フッ化ナトリウムと酸化エル
ビウムの配合量を種々変化させ、窒化珪素板相互をtP
JTさ利てイ0られた各接合体試料の接着強度、耐薬品
性及び耐熱(鋳撃性を下賃己第1表に示−’J−a 第1表 実施例6〜8 窒化珪素板相互間にフッ化す) IJウム45重重量、
酸化エルビウム45重量%及びカオリン10重量%から
なる混合粉末を接着面積1 ci当り0.5Fとなる量
で撒布介在させ、これを電気炉中で1100°Cで30
分間加熱して接き本を得た。
得られた接合体試料の接着強度を測定した所、1800
#/dであった。また耐薬品性及び耐熱衝撃性はいずれ
も異状なしであった。
フッ化ナトリウム、酸化エルビウム及びカオリンの配合
量を種々変化させ、上記と同PIこして窒化珪素板相互
を接着させて得た各接合体試料の接着強度、耐薬品性及
び耐熱衝撃性を下記第2表に示す。
第2表 実施例9〜12 アル建す板相瓦間番こフッ化ナトリウム50重量%及び
酸化エルビウム50重量%からなる混合粉末を接着面積
ld尚り0.51となる量で撒布介在させ、これを電気
炉中で1100℃で30分間加熱した。
得られた接合体試料の接着強度を測定した所、690に
す/C−であった。また耐薬品性及び耐熱衝撃性はいず
れも異状なしであった。
フッ化ナトリウム及び酸化エルビウムの配合量を種々変
化させ、上記と同様にしてアルミナ板相互を接着させて
得た各接合体試料の接着強度、耐薬品性及び耐熱衝撃性
を下記@3表に示す。
第8表 実施例18〜16 アル建す仮相瓦間又はジルコニア板相瓦間番と、フッ化
ナトリウム45重量%、酸化エルビラム45重景%及び
カオリン10重量%からなる混合粉末を接着面積xd当
り0.5fとなる量で撒布介在させ、これを電気炉中で
1100°Cで30分間加熱した。
得られた接合体試料の接着強度を測定1.た所、アルミ
ナ板相互間の場合605kQ/cIIであり、父、ジル
コニア板相互間の場合600 kg / ctAであっ
た。
また耐薬品性及び耐熱衝5許性はいずれも異状なしであ
った。
フッ化ナトリウム、酸化エルビウム及びカオリンの配合
量を種々変化させ、上記と同様にしてアルミナ板相互を
接着させて得た各接合体試料の接着強度、耐薬品性及び
耐熱衝撃性を下肥第4・表に示す。
第4表。
実施例17〜20 窒化珪素板とムライト板との間にフッ化ナトリウム50
重量%及び酸化エルビウム50重量%からなる混合粉末
を接着面積11当り0.51となる量で撒布介在させ、
これを電気炉中で1100℃で30分間加熱した。
得られた接合体試料の接着強度を測定した所、sto&
9/dであった。また耐薬品性及び耐熱衝撃性はいずれ
も異状なしであった。
フッ化ナトリウム及び酸化エルビウムの配合量を種々変
化させ、上記と同様にして窒化珪素板とムライト板とを
接着させて得た各接合体試料の接着強度、耐薬品性及び
耐熱衝撃性を下記第6表に示す。
第6表 実施例21〜24 窒化珪素板とムライト板との開化フッ化ナトリウム45
重景%1酸化エルビウム45重針%及びカオリン10重
景%からなる混合粉末を接着面積1d当り0.5gとな
る量で撒布介在させ、これを電気炉中で1100℃で3
0分間加熱した。
得られた接合体試料の接着強度は4xskq/dであっ
た。また耐薬品性及び耐熱衝撃性は、いずれも異状なし
であった。
フッ化ナトリウム、酸化エルビウム及びカオリンの配合
量を種々変化させて、上記と同様にして窒素珪素板とム
ライト板とを接着させて得た各接合体試料の接着強度、
耐薬品性及び耐熱衝撃性を下記第6表に示す。
第6表 実施例25〜28 窒化珪素板相互間、サイアロン板相互間又は炭化珪素板
相互1!Jllにフッ化カルシウム50重量%及び酸化
エルビウム50重量%からなる混合粉末を接着面積1d
当り0.5Fとなる量で撒布介在させ、これを電気炉中
で1450°Cで30分間加熱した。
得られた各接合体試料の接着強度は、窒化珪素板相互間
の場合8800に97cdであり、サイアロン板粕瓦間
の場合8800 kQ/dであり、又炭化珪素板相互間
の場合1600〜/cdであった。また接着強度測定後
の破断面を調べた所、接着部分の外側(基利蟹化珪素、
サイアロン又は炭化珪素)で破壊されていた。
更に、上記各接合体試料の耐薬品性及び耐熱衝撃性を調
べたところ、いずれも接着部には何等の異状も認められ
なかった。
次に、上記と同様にして、フッ化カルシウムと酸、化エ
ルビウムの配合量を種々変化させ、窒化珪素板相互を接
着させて得られた各接合体試料の接着強度、耐薬品性及
び耐熱債務性を下記第7表に示す。
tgT表 実施例29〜82 窒化珪素板相互間にフッ化カルシウム45重量%、酸化
エルビウム45重量%及びカオリン10重睦%からなる
混合粉末を接着面積1 ctl当り0,5fとなる量で
撒布介在させ、これを電気炉中で1460℃で30分間
加熱して接合体を得た。
得られた接合体試料の接着強度を測定した所、2 t 
o okti/Cdであった。また耐薬品性及び耐熱衝
撃性はいずれも異状なしであった。
フッ化カルシウム、酸化エルビウム及びカオリンの配合
量を種々変化させ、上記と同様にして窒化珪素板相互を
接着させて得た各接合体試料の接着強度、耐薬品性及び
耐熱衝撃性を下記第8表に示す。。
第8表 8 実施例88〜86 アルミナ板相互間にフッ化カルシウム50重量%及び酸
化エルビウム50重量%からなる混合粉末を接着面積1
 cd″1す0.5gとなる量で撒布介在させ、これを
電気炉中で1450’Cで30分間加熱した。
得られた接合体試料の接着強度を測定した所、3200
&f/dであった、また耐薬品性及び耐熱衝撃性はいず
れも異状なしであった。
フッ化カルシウム及び酸化エルビウムの配合量を種々変
化させ、上記と同様にしてアルオナ板相互を接着させて
fUた各接合体試料の接着強度、財も品性及び耐熱衝撃
性を王制第9表に示す。
第 9表 実施例87〜40 アルきす仮相瓦間又はジルコニア板相互間に。
フッ化カルシウム45重量%、酸化エルビウム45重量
%及びカオリン10 ffi 71%からなる混合粉末
を接着面(’# 1 cd当り0.5fとなる量で撒布
介在させ、これを電気炉中で1400°Cで30分間加
熱した。
得られた接合体試料の接着強度を測定した所、アルミナ
板相互間の場合2100kg/c−であり、又。
ジルコニア板相互間の場合1900#/dであった。
また耐薬品性及び耐熱衛撃□性はいずれも異状なしであ
った。
フッ化カルシウム、酸化エルビウム及びカオリンの配合
量を種々変化させ、上記と同様にしてアルミナ板相互を
接着させて得た各接合体試料の接着強度、耐薬品性及び
耐熱衝撃性を王妃第1o表尾示す。
第10表 実施例41〜44 窒化珪素板とムライト板との間にフッ化カルシウム50
重量%及び酸化エルビウム50重量%からなる混合粉末
を接着面接1cd当り0.5fとなる1で撒布介在させ
、これを電気炉中で1400°Cで30分間加熱した。
得られた接合体試料の接着強度を測定した所、1200
kL;l/cdであった。また耐薬品性及び耐熱衝撃性
は、いずれも異状なしであった。
フッ化カルシウム及び酸化エルビウムノ配合量を種々変
化させ、上記と同様にして窒化珪素板とムライト板とを
接着させて得た各接合体試料の接着強度、耐薬品性及び
耐熱衝撃性を下記第11表に示す。
第11表 実施例45〜48        ′ 窒化珪素板とムライト板との間にフッ化カルシウム45
重量%、酸化エルビウム45重1%及びカオリン10重
針%からなる混合粉末を接着面積1d当り0.5fとな
る量で撒布介在させ、これを電気炉中で1400°Cで
30分間加熱した。
得られた接合体試料の接着強度は1800kQ/4であ
った。また耐薬品性及び耐熱衝撃性は、いずれも異状な
しであった。
フッ化カルシウム、酸化エルビウム及びカオリンの配合
量を種々変化させて、上記と同様にして窒素珪素−とム
ライト板とを接着させて得た各接合体試料の接着強度、
耐薬品性及び耐熱衝撃性を下記第12表に示す。
第12表 実施例49〜52 窒化珪素板相互間、サイアロン板相互間又は炭化珪素板
相互間にフッ化ナトリウム50重量%及び酸化ネオジム
50重電%からなる混合粉末を接着面積1d当り0.5
fとなる壁で撒布介在させ、これを電気炉中で1100
’Cで30分間加熱した。
イυられた各接合体試料の接着強度は、窒化珪素板相互
間の場合1800&g/d1サイアロン板相互間の場合
1850に9/d及び炭化珪素板相互間の場合1450
ky/dであった。
更に、上記各接合体試料の耐薬品性及び耐熱衝撃性を調
べたところ、いずれも接着部には何等の異状も認められ
なかった。
次に、上記と同様にしてフッ化ナトリウムと酸化ネオジ
ムの配合量を種々変化させ、窒化珪素板相互を接着させ
て得られた各接合体試料の接着強度、耐薬品性及び耐熱
衝撃性を下配第13表に示す。
第13表 実施例68〜56 錯化珪素板相互間、サイアロン板相互R)j又は炭化珪
素板相互間にフッ化ナトリウム50M量%及び酸化ラン
タン50重量%からなる混合粉末を挟着面積1 c4当
り05Fとなる”椙で撒布介在させ、これを電気炉中で
11GO’Cで30分間加熱した。
得られた各接合体試澹の接着強度は、窒化珪素板相互間
の場合21 tl OkgltΔ、ザイアロン板相互1
hの場合1980に9/ chi及び炭化珪素板相互間
の場合1200&9/cmであった。
更に、上記各接合体試料の耐薬品性及び耐熱衝撃性を調
べたところ、いずれも接着部には何等の異状も認められ
なかった。
次に、上記と同壕にしてフッ化ナトリウムとJ化うンタ
ンの配合風を、匪々変化させ、窒化珪素板相互を接着さ
せて得られた各接合体試料の接着強度、耐薬品性及び耐
熱衝撃性を下記第14表に示す。
実施例57〜60 蟹化珪素仮相瓦間、ザイアロン板相互間又は炭化珪素板
相互間にフッ化ナトリウム50重縫%及び酸化サマリウ
ム50重量%からなる混合粉末を接着面積ld当り0.
5gとなる量で撒布介在させ、これを電気炉中で110
0°Cで30分間加熱した。  ・得られた各接合体試
料の接着強度は、窒化珪素板(■瓦間の場合1880k
g/d、サイアロン板相互間の場合1970kg/cd
及び炭化珪素板相互間の場合1050&9/dであった
更に、上F6接合体試料のit薬品性及び耐熱衝撃性を
調べたところ、いずれも接着部には何等の異状も認めら
れなかった。
次に、上記と同様にしてフッ化ナトリウムと酸化サマリ
ウムの配合量を種々変′化させ、窒化珪素板411互を
接着させて得られた各接合体試料の接着強度、耐薬品性
及び耐熱衝撃性を下記第15表に示す。
第15表 実施例61〜64 窒化珪素板相互間、サイアロン板相互間又は炭化珪素板
相互間にフッ化ナトリウム50ビラ%及び酸化ホルミウ
ム50重量%からなる混合粉末を接着面PR1d当り0
,5fとなる量で撒布介在させ、これを電気炉中で11
00℃で30分間加熱した。
得られた各接合体試料の接着強度は、窒化珪素板相互間
の場合2100に97C4,サイアロン板相互間の場合
1900に97cd及び炭化珪素板相互間の場合920
kq/c艷であった。
更に、上記各接合体試料の1耐薬品性及び耐熱衝撃性を
調べたところ、いずれも接着部には何等の異状も認めら
れなかった。
t、(に、上記と同様にしてフッ化ナトリウムとr5化
ホルミウムの配合量を種々変化させ、窒化珪素=bz相
互を接着させて得られた各接合体試4”)の接着強反、
耐薬品性及び耐熱@死性を下記@16表に示す。
う(16表 実施例65〜68 電化珪素板相互間、サイアロン板相互間又は炭化珪素板
相互間にフッ化ナトリウム50 ii 8%及び酸化テ
ルビウム50重着%からなる混合粉末を接着面積ICd
当り0.5fとなる量で撒布介在させ、これを電気炉中
で1100°Cで30分間加熱した。
得られた各接合体試料の接着強度は、窒化珪素板相互間
の場合2100kg/d、サイア四ン板相互間の場合f
!200kq/c4及び炭化珪素板相互間の場合夏50
0kg/c14であった。
更に、上記各接合体試料の耐薬品性及び耐熱衝槃性を!
■べたところ、いずれも接着部には何等の異状も望めら
れなかった。
次に、上記と同様にしてフッ化ナトリウムと酸化テルビ
ウムの配今帰を種々変化させ、窒化珪素板相互を接着さ
せて得られた各接合体試料の接着強度、耐薬品性及びi
f熱衝撃性を王制第17表に示す。
第17t! 実施例 窒化珪素板相互間、サイアロン板相互間又は炭化珪素板
相互間にフッ化カルシウム50重量%及び酸化ネオジム
50凹量%からなる混合粉末を接着面J’r’ 1 r
)当り0.5fとなる駄て撒布介在3ぜ、これを−気力
・中て1400 ’Cで30分曲加熱した。
得られた各接合体試料の接着強度は、窒化珪素板相互間
の場合8100 kg/d、サイアロン板相互間の場合
2900fg/cd及び炭化珪素板相互間の場合14’
30に9/「−であった。
rに、上記各接合体試料の丘薬品性及び耐−517゜牙
性を調べたところ、いずれも接着部には何等の異状も認
められなかった。
次に、上3「1と同様にしてフッ化カルシウムと酸化ネ
オジムの配合量を種々変化させ、窒化珪素板相互を接着
させて得られた各接合体ぜ料の接T弾度、耐薬品性及び
1lirI熱蓮、撃性を下記凍18表に示す。
ト 加 実施例78〜76 窒化珪素板相互+tt+ =サイアロン板相互間又は炭
化珪素板相互間にフッ化カルシウム50重量%及び酸化
ランタン50W!%からなる2合粉末を接9s面積1−
当り0.6vとなる量で撒布介在させ、これを電気炉中
で1400℃で30分間加熱した。
得られた各接合体試料の接着強度は、詔化珪累板相互間
の場合8000 kg/ctA、サイアロン板相互間の
場合8180峠/cd及び炭化珪素板相互間の場合19
00#/dであった。
更に、上記各接合体試料の耐薬品性及び耐熱衝撃性を調
べたところ、いずれも接着部ζこは何等の異状も認めら
れなかった。
次に、上記と同様にしてフッ化カルシウムと酸化ランタ
ンの配合量を種々変化させ、窒化珪素板相互を接着させ
て得られた各接合体試料の接着強度、耐薬品性及び耐熱
仙撃性を下記第19表に示す。
第19表 実施例77〜80 窒化珪素板相互間、サイアロン板相互間又は炭化珪素板
相互間にフッ化カルシウム50f(1%及び酸化サマリ
ウム50重量%からなる混合粉末を接着面積1d当り0
.51となる量で撒布介在させ、これを電、気炉中で1
400°Cで30分間加熱した。
得られた各接合体試料の接着強度は、窒化珪素板相互間
の場合8870に9/d%サイアロン板相互間の場合8
210&p/d及び炭化珪素板相互間の場合1700k
q/d テあった。
更に、上記各接合体試料の耐薬品性及び耐熱f!II撃
性を調べたところ、いずれも接着部2こは何vo)異状
も認められなかった。
化サマリウムの配合h:を種々変化させ、窒化珪素板相
互を接着させて得られた各接合体試料の接着強度、耐認
品性及び耐熱衛vと住を王制第20表に示す。
第20表 実施例81〜84 窒化珪素板相互間、サイアロン板相互間又は炭化珪素板
相互間にフッ化カルシウム50重情%及び酸化ホルミウ
ム50重1%からなる混合粉末を接着面!R1d当り0
,5yとなる1で撒布介在させ、これを電気炉中で14
00°Cで30分間加熱した。
得られた各接合体試料の接着強度は、窒化珪素板相互間
の場合8220 kg/cd、サイアロン板相互間の場
合8170にり/C−及び炭化珪素板相互間の場合□ 1721)&9/iであった。
更に、上言Iシ各接合体試料のlli、耐薬品性及び耐
熱67t9f性を調べたところ、いずれもぜ゛;着部に
は何等の臀状も認められなかった・ 次に、上2と同様にしてフッ化カルシウムと酸化ホルミ
ウムの配合量を種々変化させ、窒化珪素板相互を接着さ
せて得られた各接合体試料の接着強度、耐薬品性及び耐
熱衝撃性を下tピ第21表に示す。
第21表 実施例85〜88 窒化珪素板相互間、サイアロン板相互間又は炭化珪素板
相互間にフッ化カルシウム50重量%及び酸化テルビウ
ム50重量%からなる混合粉末を接着面fFt l c
4 mす0,5fとなる量で撒布介在さ→ノ、これを電
気炉中で1400°Cで30分間加熱した。
得られた各接合体試料の接着強度は、V化珪禦□ 板組瓦間の場合2700kl/cd、サイアロン板相互
間の場合2600kg/cd及び炭化珪素板相互間の場
合1450kj/cdであった。
贋にsl、l’til:各接合体試料の耐薬品性及び耐
熱衝撃性を調べたところ、いずれも接着部には細化のみ
状も認められなかった。
次に、上「ピと同tvlこしてフッ化カルシウムと酸化
テルビウムの配合量を憚々変化させ、窒化珪素板組Hを
接着させて得られた各接合体試料の接着強度、耐薬品性
及び耐熱衝撃性を下記@22表に示実施例89〜92 ランタン28重量%、セリウム40重号%、プラセオジ
ム4重醍%、ネオジム14重景%、その他のランタニド
元素7重骨%、鉄5重角%、並びにアルミニウム、マグ
ネシウム及びカルシウムの合計2重麹%を含有するミツ
シュメタルの酸化物(以下、・酸化ミツシュAという)
50W!t%とフッ化カルシウム50 i 倚%とから
なる混合粉末を、窒化珪素板相互間に、接着面積lC請
当り0.5Fとなるlで撒布介在させ、これを電気炉中
で、1450°Cで30分間加熱した。
得られた接合体試料の接着強度は8100kq/ail
であった。また耐薬品性及び耐熱′q撃性はいずれも異
状なしであった。
次に、上記と同様にしてフッ化カルシウムと酸化ミソシ
ュAの配合量を種々変化させ、窒化珪素板相互を接着さ
せて得られた各接合体試料の挟着強度、耐薬品性及び耐
熱衝撃性を下肥第23表に示温23表 実施例98〜9G 酸化ミツシュA 50 軍Q%とフッ化ナトリウム50
重硅%とからなる混合粉末を、2°2化珪素板相互間に
、44’= M面積IC−当り0.5Fとなる量で撒布
介在させ、これを電鎖炉中で、1100℃で30分間加
熱し ブこ 。
得られた接合体試料の接着強度は1710 kg/cl
rであった。また耐薬品性及び耐熱r!?浜性はいずれ
も異状なしであった。
次に、上δこと同様にしてフッ化ナトリウムと酸化きツ
シュAの配合量を種々変化させ、窒化)18素板相互を
接着させて得られた各接合体試料の接着強度、耐薬品性
及び耐熱衝撃性を下だ第24表に示す。
第24表 −if!施例97〜100 1宵化ミツシユA 50 重量%とフッ化リチウム50
1量%とからなる混合粉末を、窒化珪素板相互間に接考
面積11当り0.6ノとなる沖で撒布介在させ。
これをjl電気炉中1too℃で30分間加熱した。
得られた接合体試料の接着強度は1792旬/cdであ
った。また耐薬品性及び耐熱筒13性は、いrれも異状
は認められなかった。
仄に上記と同を襄にしてフッ化リチウムと酸化ンツ7ユ
Aの配合量を種々変化させ、望化珪素板相互を接着させ
て得られた各接合体試料の接着強度。
耐薬品性及び耐熱衝撃性を下記第25表に示す。
第25表 実施例101〜104 酸化iツシュA 50 M 31%とフッ化マグネシウ
ム50重骨%とからなる混合粉末を、窒化珪素板相互間
に接着面積lc−当り0.5fとなる量で撒布介在させ
、これを電気炉中で1450°Cで30分間加熱しlこ
得られた接合体試料の接着強度はa 01 okq/d
であった。また耐薬品性及び耐熱衝撃性は、いずれも異
状は認められなかった。
次に上記と同様にしてフッ化マグネシウムと酸化2ツシ
ユAの配合値を秤々変化させ、宜化珪ノ:仮相互を接着
させC得られた各接合体試料の接り;ti′、I度、耐
薬品性及び耐熱衝(性を下記a 2G表に示す。
紀26表 実114帥1105 フッ化カルシウム及びフッ化ナトリウムの<、−1jr
jj台物67重も1%と酔化ミツシュA 3:3 ft
 禁%とからなるlげ金粉末4%窒化珪素板相互間に接
着ば枳lcdえ11す0.5fとなる−で撒布ブi′在
させ、これを電気匁二中て1450°Cで30分間加熱
した。
得られた接合体試料の接着強直は80 ] Okq/、
−dであった。また耐薬品性及び耐熱衝撃性は、いずれ
も其状なしであった。
(以上)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ■ アルカリ金屑フッ化物及びアルカリ土類金属フッ化
    物の少くともIJとランタニド系元素の酸化物の少くと
    も1種との混合物、又はこれらとカオリンとの混合物を
    有効成分とするセラミックスの接合用接着剤。 ■ セラミックスが非情化物系である特許請求の範囲第
    1項に記載の接着剤。 ■ 非情化物系セラミックスが炭化珪素、窒化珪素及び
    サイアロンの少くとも1種である特許請求の範囲第2項
    に記載の接着剤。 ■ セラミックスが酸化物系である特許請求の範囲第1
    項に1芳の接着剤。 ■ アルカリ金13フッ化物及びアルカリ土類金属フッ
    化物の少くとも1 flとランタニド系元素の酸化物の
    少くとも1種との混合物、又はこれらとカオリンとの混
    合物を有効成分とする接着剤を、非酸化物系セラミック
    ス相互間若しくは酸化物系セラミックス相互間または非
    酸化物系セラミックスと酸化物系セラミックスとの間に
    介在させ、これを上記フッ化物の分解温度以上薯こ加熱
    する仁とを特徴とするセラミックスの接着方法。 ■ 非酸化物系セラ電ツクス、W!化物系セラ電ツタス
    及び該酸化物系セラミックスより膨張係数の大きい他の
    酸化物系セラミックスとをこれ等の間に上聞接着剤を介
    在させてこの順序で積層することを特徴とする特許請求
    の範囲第6項の接着方法。 ■ 上記膨張係数の大きい他の酸化物系セラミックスが
    その表面に予め金属が接着されたものである特許請求の
    範囲l/E6項の接着方法。
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