JPS59130421A - 熱処理治具の插入取出し用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は熱処理室内に埃塵を生じさせたり、室温を変化
づせることのない熱処理治具の挿入引出し用治具に関す
るものである。

半導体製造工業においては、ウェーハを拡散炉に入れて
拡散処理を施す工程が含まれ又いる。

従来、ウェーハを拡散炉（内管）に出し入ｔ’する方法
としては、次の二通りの方法が知られている。

その１つは、ボートローダ方法、もう１つはパドル方法
でトつ１、前者の方法は、第１図に示−ｉ−ようにウェ
ーハｌを載置したウェーハ治具２を、拡散炉３の延長方
向に往復動可能な挿入引出し棒４を治具２の端部に引っ
かけて、拡散炉３の内管５に治具２を接触したまま挿入
または引出１方法で、後者の方法は、第２図に示すよう
にウェーハ収容部６ａを有する長棒（パドル）６の先端
にローラ６ｂを設けたものをつかって、収容部６ａにウ
ェーハ１を載置した長棒６を内管に沿うように挿入また
は取出す方法である。

しかしながら、前者の方法におい又は、ウェーハ治具２
と内管５が接触した状態での挿入または取出しであるた
めに、接触部から埃塵が発生し、ウェーハ欠陥の原因を
つくる欠点がある。

また、後者の方法においては、長棒６を内管５内に挿入
したまま拡散処理するために、内管５内の熱が長棒６に
奪われ、内管５内の温度に変化を生じさせ、一定した温
度下での拡散処理ができないこと、また内管５とローラ
６ｂは接触状態にあるから、ボートローダ方法まではい
かないまでも、管内５に埃塵を発生させる欠点がある。

本発明はこのような従来の欠点を解消し、瑛散炉など熱
処理案内に埃塵を生じはせることがなく。

かつ熱処理案内の室温に変化をきたすことのない熱処理
治具の挿入引出し用治具を提ｇＪｅするにある。

以下、第３図は熱処理治具の挿入取出し装置について、
第４図は挿入取出し用治具の横方向送り駆動モータ部を
示したものである。

第３図において、熱処理治具の挿入取出し装置】０は、
並列かつ土向きに配設した摺動杆１７゜１７に支えられ
た基板１８を有する。

この基板１８の一側面には適当な間隔を置いて軸部１８
ａ、１８ａを設けて、この軸部１８ａ。

１８ａの大面積側面には、貫通穴１８ｂ、１８ｂをあけ
て、これらの貫通穴１８ｂ、１８ｂを連絡するように直
線状の挿入引出し棒１９を摺動自在に嵌挿している。

挿入引出し用治具１９は円管状のもので、この長さ方向
の一端には、二本からなるホーク状の治具持上部１９ａ
を形成して、ウエーノ・治具１２の翼部１２ａを１万か
ら支え上げられるようにするとともに、棒１９の長さを
拡散炉１３の内管１５に光分入り込める寸法にとって、
しかも拡散炉１３の処理温度に光分耐え得るように石英
など耐熱材質のものでつくっ℃いる。

また、この挿入引出し用治具１９を、その延長方向に往
復動作させるための横方向送り駆動モータ２０，２０を
軸部１８ａ、１８ａの小面＠側面に各１個あて設けてい
る。

さらに、基板’１−８の背面側には、挿入引出し用治具
１９、軸部１８ａ、１８ａを含む基板１８の全体を高さ
方向に往復動作させるための高さ方向駆動モータ２１を
配置し、このモータ２１に高さ幅調整カム２２を取付け
て、このカム２２０周面を該基板１８の背面に取付けた
カムフォロア２３に係合させている。

第４図において、２０は横方向送り駆動モータで、１８
ｃは該駆動モータ２ｏを装着ζせる軸部１８ａの小面積
側面（壁）で、２４は該軸部１８ａ内に収容され、かつ
横方向送り駆動モータ２ｏの回転軸２０ａＫ直結した挿
入引出し神速りローラで、これは挿入引出し用治具１９
の下部に接触させている。

また、２５．２５は挿入引出し用治具１９の周方向に沿
って配置したガイドローラで、これらのガイドローラ２
５．２５は該送りローラ２４と一緒になって挿入引出し
棒１９を支持できるように該軸部１８ａ内に内蔵させ又
いる。

該横方向送り駆動モータ２０は、左右両方向の駆動が可
能なモータにしている。

第５因が本発明の挿入引出し用治具であり、１９は挿入
引出し棒で、１９ａは二叉形成した治具持上部、また１
２は該治具持上部１９ａによって持上げられるウェーハ
治具で、１１はウェーハを示し、治具持上部１９ａの相
互の間隔は、ウニ・−ハ治具１２の翼部１２ａの付は根
の幅に見合う寸法にとって、長さも治具１２に見合う長
さにとっている。

また、ウェーハ治具１２は凹状の横断面を有し、底幅が
開口部よりも幾分小寸法にとっている。さらに、ウェー
ハ治具１２は石英からできている。

つぎに、このような構造をもつ装置１０の動作を説明す
る。

まず、基板１８は高さ方向駆動モータ２１を作動させる
ことで、カム２２がカムフォロア２３を介して垂直方向
に往復動作される。この場合の往復動作幅は、ウェーハ
治具１２を治具持上部１９ａで支えた状態で、ウェーハ
治具１２が内管１５の触れない位置から、ウェーハ治具
１２を内管１５に置いて幾分、゛下部かった位置に相当
する範囲においている。

つぎに、第６図（ａｌ〜（ｂｌをつかって、装置１０を
つかってのウェーハ治具１２の挿入および取出し方法を
説明する。

まず、同図（ａ）において、あらかじめウェーハ１１を
載置したウェーハ治具１２を挿入引出し用治具１９の治
具持上部１９ａで支持して、治具１２の底が内管１５に
接しない高さ位置まで持ち上げた状態で、内管１５の中
程まで水平移動させる。

ついで、同図（ｂ）に示すように、挿入引出し用治具１
９を下方に下けて、治具１２の底が内管１５に接触する
位置にもって行く。

ついで、同図ｔｃ）に示すように、挿入引出し用治具、
１９を、もう１段下万に下げて、治具持上部１９ａを翼
部１２ａから離し、そのままの高さ位置のまま、矢印方
向に引抜く。

この状態で、ウェーハ１１の拡散処理を所定の時間行う
。

ついで、同図（ｄ）に示すように、挿入引出し用治具１
９を該（Ｃ１の引抜時の高さ位置と同様な高さを保って
内管１５に挿入し、治具持上部１９ａを翼部１２ａに対
応するように差し込む。

ついで、同図ｔｅｌに示すように、挿入引出し用治具１
９を上方に駆動させて、治具１２が完全に内管１５から
離れた位置までもって行く。

ついで、同図（ｂＪに示すように、治具１２を支持した
挿入引出し用治具１９を水平移動させて矢印方向に取り
出す。

第７図（ａｌは、治具１２を内管１５内に挿入する際の
挿入引出し棒１９の移動状態を示す線図で、符号ａは第
６図（ａｌに、符号すは第６図（ｂｌに、符号Ｃは第６
図（Ｃ１にそれぞれ対応され、総合ではスフウェア・モ
ーション（矩形動作）する。

また、第７図（ｂｌは、治具１２を内管１５から取り出
す際の挿入引出し用治具１９の移動状態を示す線図で、
符号ｄは第７図（ｄＪに、符号ｅは第７図ｔｅｌに、符
号ｆは第７図げ）にそれぞれ対応され、第７図（ａｌと
は逆回りのスフウェア・モーション（矩形動作）する。

以上の説明から明らかなように、本発明σ）管状部材か
らなる治具によれば、処理室に熱処理治具を挿入、引出
す場合に、ウェーハ及びウェーハ治具の重量で挿入引出
し用治具が曲がるということがない。

また、処理室に熱処理治具を挿入、引出す場合に、挿入
引出し用治具が曲がることがないので加熱炉内壁に熱処
理治具が接触することがない。

また、先端が円弧の一部を有する形状となっているため
熱処理治具の持上げ、離間が容易であり、運搬時の安定
性がよい。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第２図は従来の熱処理物の挿入取出し方法
を示す説明斜視図、第３図しま熱処理治具の挿入取出し
装置の斜視図、第４図は第３図の１要部を取り出し拡大
しての斜視図、第５図は第３図の第４図に示すと異なる
１要部を示す拡大斜視図、第６図ｆａｔ〜げ）は本発明
の挿入引出し用治具を使った作業動作説明図、第７図（
ａｌ、　（ｂＪは本発明の挿入引出し用治具の動きを示
す線図である。 １・・・ウェーハ、２・・・ウェーハ治具、３・・・拡
散炉、４・・・挿入引出し棒、訃・・内管、６・・・長
棒、６ａ・・・ウェーハ収容部、６ｂ山ローラ、１ｏ・
・・挿入取出し装置、１１・・・ウェーハ、１２・・・
ウェーハ治具、１２ａ・・・翼部、１３・・・拡散炉、
１５・・・内管、１７・・・摺動杆、１８・・・基板、
１８ａ・・・軸部、１８ｂ・・・貫通穴、１８ｃ・・・
小面積側面、１９・・・挿入引出し用治具、１９ａ・・
・治具持上部、２ｏ・・・横方向送り駆動モータ、２０
ａ・・・回転軸、２１・・・高さ方向駆動モータ、２２
・・・高さ幅調整カム、２３・・・カムフォロア、２４
・・・挿入引出し棒送りローラ、２５・・・ガイドロー
ラ。 第　　３　　図 ７３ ノグイ 第　　４　　図 第　　５　　図 第６図 と６Ｌ） とＣ２ 第　　７　　図 第　　６　　図 （Ｃ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　管状部材の長さ方向の一端に熱処理治具の支持部を
   有することを特徴とする熱処理治具の挿入引出し用治具
   。 ２、特許請求の範囲の第１項記載の円管を石英により形
   成することを特徴とする熱処理治具の挿入引出し用治具
   。