JPH0335824B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0335824B2 JPH0335824B2 JP59278881A JP27888184A JPH0335824B2 JP H0335824 B2 JPH0335824 B2 JP H0335824B2 JP 59278881 A JP59278881 A JP 59278881A JP 27888184 A JP27888184 A JP 27888184A JP H0335824 B2 JPH0335824 B2 JP H0335824B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- wafer
- rod
- heat treatment
- inner tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H10P72/3311—Horizontal transfer of a batch of workpieces
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は熱処理室内に埃塵を生じさせたり、室
温を変化させることのない熱処理治具の挿入取出
し方法及びその装置に関するものである。
温を変化させることのない熱処理治具の挿入取出
し方法及びその装置に関するものである。
半導体製造工業においては、ウエハを拡散炉に
入れて拡散処理を施す工程が含まれている。
入れて拡散処理を施す工程が含まれている。
従来、ウエハを拡散炉（内管）に出し入れする
方法としては、次の二通りの方法が知られてい
る。
方法としては、次の二通りの方法が知られてい
る。
その１つはボートローダ方法、もう１つはパド
ル方法であつて、前者の方法は、第１図に示すよ
うにウエハ１を載置したウエハ治具２を、拡散炉
３の延長方向に往復動可能な挿入引出し棒４を治
具２の端部に引つかけて、拡散炉３の内管５に治
具２を接触したまま挿入または引出す方法で、後
者の方法は、第２図に示すようにウエハ収容部６
ａを有する長棒（パドル）６の先端にローラ６ｂ
を設けたものをつかつて、収容部６ａにウエハ１
を載置した長棒６を内管に沿うように挿入または
取出す方法である。
ル方法であつて、前者の方法は、第１図に示すよ
うにウエハ１を載置したウエハ治具２を、拡散炉
３の延長方向に往復動可能な挿入引出し棒４を治
具２の端部に引つかけて、拡散炉３の内管５に治
具２を接触したまま挿入または引出す方法で、後
者の方法は、第２図に示すようにウエハ収容部６
ａを有する長棒（パドル）６の先端にローラ６ｂ
を設けたものをつかつて、収容部６ａにウエハ１
を載置した長棒６を内管に沿うように挿入または
取出す方法である。
しかしながら、前者の方法においては、ウエハ
治具２と内管５が接触した状態での挿入または取
出しであるために、接触部から埃塵が発生し、ウ
エハ欠陥の原因をつくる欠点がある。
治具２と内管５が接触した状態での挿入または取
出しであるために、接触部から埃塵が発生し、ウ
エハ欠陥の原因をつくる欠点がある。
また、後者の方法においては、長棒６を内管５
内に挿入したまま拡散処理するために、内管５内
の熱が長棒６に奪われ、内管５内の温度に変化を
生じさせ、一定した温度下で拡散処理ができない
こと、また内管５とローラ６ｂは接触状態にある
きから、ボートローダ方法まではいかないまで
も、管内５に埃塵を発生させる欠点がある。
内に挿入したまま拡散処理するために、内管５内
の熱が長棒６に奪われ、内管５内の温度に変化を
生じさせ、一定した温度下で拡散処理ができない
こと、また内管５とローラ６ｂは接触状態にある
きから、ボートローダ方法まではいかないまで
も、管内５に埃塵を発生させる欠点がある。
本発明はこのような従来の欠点を解消し、拡散
炉など熱処理室内に埃塵を生じさせることがな
く、かつ熱処理室内の室温に変化をきたすことの
ない熱処理治具の挿入取出し方法及びその装置を
提供するにある。
炉など熱処理室内に埃塵を生じさせることがな
く、かつ熱処理室内の室温に変化をきたすことの
ない熱処理治具の挿入取出し方法及びその装置を
提供するにある。
このような目的を達成するための本発明の一実
施例は、熱処理治具をスクエア・モーシヨン的に
熱処理室内に挿入することを特徴とする。
施例は、熱処理治具をスクエア・モーシヨン的に
熱処理室内に挿入することを特徴とする。
以下、第３図ないし第５図に示す一実施例によ
り本発明を詳細に説明する。
り本発明を詳細に説明する。
第３図において、熱処理治具の挿入取出し装置
１０は並列かつ上向きに配設した摺動杆１７，１
７に支えられた基板１８をする。
１０は並列かつ上向きに配設した摺動杆１７，１
７に支えられた基板１８をする。
この基板１８の一側面には適当な間隔を置いて
袖部１８ａ，１８ａを設けて、この袖部１８ａ，
１８ａの大面積側面には、貫通穴１８ｂ，１８ｂ
をあけて、これらの貫通穴１８ｂ，１８ｂを連絡
するように直線状の挿入引出し棒１９を摺動自在
に嵌挿している。
袖部１８ａ，１８ａを設けて、この袖部１８ａ，
１８ａの大面積側面には、貫通穴１８ｂ，１８ｂ
をあけて、これらの貫通穴１８ｂ，１８ｂを連絡
するように直線状の挿入引出し棒１９を摺動自在
に嵌挿している。
挿入引出し棒１９は円管状のもので、この長さ
方向の一端には、二本からなるホーク状の治具持
上部１９ａを形成して、ウエハ治具１２の翼部１
２ａを下方から支え上げられるようにするととも
に、棒１９の長さを拡散炉１３の内管１５に充分
入り込める寸法にとつて、しかも拡散炉１３の処
理温度に充分耐え得るように石英など耐熱材質の
ものでつくつている。
方向の一端には、二本からなるホーク状の治具持
上部１９ａを形成して、ウエハ治具１２の翼部１
２ａを下方から支え上げられるようにするととも
に、棒１９の長さを拡散炉１３の内管１５に充分
入り込める寸法にとつて、しかも拡散炉１３の処
理温度に充分耐え得るように石英など耐熱材質の
ものでつくつている。
また、この挿入引出し棒１９を、その延長方法
に往復動作させるための横方向送り駆動モータ２
０，２０を袖部１８ａ，１８ａの小面積側面に各
１個あて設けている。
に往復動作させるための横方向送り駆動モータ２
０，２０を袖部１８ａ，１８ａの小面積側面に各
１個あて設けている。
さらに、基板１８の背面側には、挿入引出し棒
１９、袖部１８ａ，１８ａを含む基板１８の全体
を高さ方向に往復動作させるための高さ方向駆動
モータ２１を配置し、このモータ２１に高さ幅調
整カム２２を取付けて、このカム２２の周面を該
基板１８の背面に取付けたカムフオロア２３に係
合させている。
１９、袖部１８ａ，１８ａを含む基板１８の全体
を高さ方向に往復動作させるための高さ方向駆動
モータ２１を配置し、このモータ２１に高さ幅調
整カム２２を取付けて、このカム２２の周面を該
基板１８の背面に取付けたカムフオロア２３に係
合させている。
第４図において、２０は横方向送り駆動モータ
で、１８ｃは該駆動モータ２０を装着させる袖部
１８ａの小面積側面（壁）で、２４は該袖部１８
ａ内に収容され、かつ横方向送り駆動モータ２０
の回転軸２０ａに直結した挿入引出し棒送りロー
ラで、これは挿入引出棒１９の下部に接触させて
いる。
で、１８ｃは該駆動モータ２０を装着させる袖部
１８ａの小面積側面（壁）で、２４は該袖部１８
ａ内に収容され、かつ横方向送り駆動モータ２０
の回転軸２０ａに直結した挿入引出し棒送りロー
ラで、これは挿入引出棒１９の下部に接触させて
いる。
また、２５，２５は挿入引出し棒１９の周面側
に沿つて配置したガイドローラで、これらのガイ
ドローラ２５，２５は該送りローラ２４と一緒に
なつて挿入引出し棒１９を支持できるように該袖
部１８ａ内に内蔵させている。
に沿つて配置したガイドローラで、これらのガイ
ドローラ２５，２５は該送りローラ２４と一緒に
なつて挿入引出し棒１９を支持できるように該袖
部１８ａ内に内蔵させている。
該横方向送り駆動モータ２０は、左右両方向の
駆動が可能なモータにしている。
駆動が可能なモータにしている。
第５図において、１９は挿入引出し棒で、１９
ａは二又形成した治具持上部、また１２は該治具
持上部１９ａによつて持上げられるウエハ治具
で、１１はウエハを示し、治具持上部１９ａの相
互の間隔は、ウエハ治具１２の翼部１２ａの付け
根の幅に見合う寸法にとつて、長さも治具１２に
見合う長さにとつている。
ａは二又形成した治具持上部、また１２は該治具
持上部１９ａによつて持上げられるウエハ治具
で、１１はウエハを示し、治具持上部１９ａの相
互の間隔は、ウエハ治具１２の翼部１２ａの付け
根の幅に見合う寸法にとつて、長さも治具１２に
見合う長さにとつている。
また、ウエハ治具１２は凹状の横断面を有し、
底部が開口部よりも幾分小寸法にとつている。さ
らに、ウエハ治具１２は石英からできている。
底部が開口部よりも幾分小寸法にとつている。さ
らに、ウエハ治具１２は石英からできている。
つぎに、このような構造をもつ装置１０の動作
を説明する。
を説明する。
まず、基板１８は高さ方向駆動モータ２１を作
動させることで、カム２２がカムフオロア２３を
介して垂直方向に往復動作される。この場合の往
復動作幅は、ウエハ治具１２を治具持上部１９ａ
で支えた状態で、ウエハ治具１２が内管１５の触
れない位置から、ウエハ治具１２を内管１５に置
いて幾分、下がつた位置に相当する範囲において
いる。
動させることで、カム２２がカムフオロア２３を
介して垂直方向に往復動作される。この場合の往
復動作幅は、ウエハ治具１２を治具持上部１９ａ
で支えた状態で、ウエハ治具１２が内管１５の触
れない位置から、ウエハ治具１２を内管１５に置
いて幾分、下がつた位置に相当する範囲において
いる。
つぎに、第６図ａ〜ｂをつかつて、本装置１０
をつかつてのウエハ治具１２の挿入および取出し
方法を説明する。
をつかつてのウエハ治具１２の挿入および取出し
方法を説明する。
まず、同図ａにおいて、あらかじめウエハ１１
を載置したウエハ治具１２を挿入引出し棒１９の
治具持上部１９ａで支持して、治具１２の底が内
管１５に接しない高さ位置まで持ち上げた状態
で、内管１５の中程まで水平移動させる。
を載置したウエハ治具１２を挿入引出し棒１９の
治具持上部１９ａで支持して、治具１２の底が内
管１５に接しない高さ位置まで持ち上げた状態
で、内管１５の中程まで水平移動させる。
ついで、同図ｂに示すように、挿入引出し棒１
９を下方に下げて、治具１２の底が内管１５に接
触する位置にもつていく。
９を下方に下げて、治具１２の底が内管１５に接
触する位置にもつていく。
ついで、同図ｃに示すように、挿入引出し棒１
９を、もう１段下方に下げて、治具持上部１９ａ
を翼部１２ａから離し、そのままの高さ位置のま
ま、矢印方向に引抜く。
９を、もう１段下方に下げて、治具持上部１９ａ
を翼部１２ａから離し、そのままの高さ位置のま
ま、矢印方向に引抜く。
この状態で、ウエハ１１の拡散処理を所定の時
間行う。
間行う。
ついで、同図ｄに示すように、挿入引出し棒１
９を該ｃの引抜時の高さ位置と同様な高さを保つ
て内管１５に挿入し、治具持上部１９ａを翼部１
２ａに対応するように差し込む。
９を該ｃの引抜時の高さ位置と同様な高さを保つ
て内管１５に挿入し、治具持上部１９ａを翼部１
２ａに対応するように差し込む。
ついで、同図ｅに示すように、挿入引出し棒１
９を上方に移動させて、治具１２が完全に内管１
５から離れた位置までもつて行く。
９を上方に移動させて、治具１２が完全に内管１
５から離れた位置までもつて行く。
ついで、同図ｂに示すように、治具１２を支持
した挿入引出し棒１９を水平移動させて矢印方向
に取り出す。
した挿入引出し棒１９を水平移動させて矢印方向
に取り出す。
第７図ａは、治具１２を内管１５内に挿入する
際の挿入引出し棒１９の移動状態を示す線図で、
符号ａは第６図ａに、符号ｂは第６図ｂに、符号
ｃは第６図ｃにそれぞれ対応され、総合ではスク
ウエア・モーシヨン（矩形動作）する。
際の挿入引出し棒１９の移動状態を示す線図で、
符号ａは第６図ａに、符号ｂは第６図ｂに、符号
ｃは第６図ｃにそれぞれ対応され、総合ではスク
ウエア・モーシヨン（矩形動作）する。
また、第７図ｂは、治具１２を内管１５から取
り出す際の挿入引出し棒１９の移動状態を示す線
図で、符号ｄは第７図ｄに、符号ｅは第７図ｅ
に、符号ｆは第７図ｆにそれぞれ対応され、第７
図ａとは逆回りのスクウエア・モーシヨン（矩形
動作）する。
り出す際の挿入引出し棒１９の移動状態を示す線
図で、符号ｄは第７図ｄに、符号ｅは第７図ｅ
に、符号ｆは第７図ｆにそれぞれ対応され、第７
図ａとは逆回りのスクウエア・モーシヨン（矩形
動作）する。
以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、処理室に熱処理治具を挿入する場合、一旦、
熱処理治具を処理室の壁（内面）から離れた位置
に動かして、横行動作を行つているから、従来の
ような熱処理治具を処理室の内壁に接触させたま
まで挿入方法と異なり、熱処理治具と処理室の内
壁とが接触したままでずらされることがない。
ば、処理室に熱処理治具を挿入する場合、一旦、
熱処理治具を処理室の壁（内面）から離れた位置
に動かして、横行動作を行つているから、従来の
ような熱処理治具を処理室の内壁に接触させたま
まで挿入方法と異なり、熱処理治具と処理室の内
壁とが接触したままでずらされることがない。
したがつて、熱処理治具の処理室への挿入時
に、処理室内に熱処理治具と処理室内面との接触
部分から埃塵が発生することもなく、よつて半導
体ウエハなど熱処理物に埃塵による欠陥を生じさ
せることもない。これにより特性的に優れた熱処
理物（拡散処理物）を得ることができる。
に、処理室内に熱処理治具と処理室内面との接触
部分から埃塵が発生することもなく、よつて半導
体ウエハなど熱処理物に埃塵による欠陥を生じさ
せることもない。これにより特性的に優れた熱処
理物（拡散処理物）を得ることができる。
また、本発明によれば、処理室に熱処理物を挿
入する際に用いる挿入引出し棒は、処理中（拡散
処理中）では処理室外においていることから、従
来のように、処理中においても長棒（パレル）を
処理室内に入れたままにしておく方法とは異な
り、処理室内の温度を奪つて温度を変化させるこ
とがない。したがつて、一定した温度下での熱処
理（拡散処理）が可能となり、処理物（拡散処理
物）に安定した処理（拡散処理）を施すことがで
きる。
入する際に用いる挿入引出し棒は、処理中（拡散
処理中）では処理室外においていることから、従
来のように、処理中においても長棒（パレル）を
処理室内に入れたままにしておく方法とは異な
り、処理室内の温度を奪つて温度を変化させるこ
とがない。したがつて、一定した温度下での熱処
理（拡散処理）が可能となり、処理物（拡散処理
物）に安定した処理（拡散処理）を施すことがで
きる。
第１図ないし第２図は従来の熱処理物の挿入取
出し方法を示す説明斜視図、第３図は本発明の実
施に用いる装置の斜視図、第４図は第３図の１要
部を取り出し拡大しての斜視図、第５図は第３図
の第４図に示すと異なる１要部を示す拡大斜視
図、第６図ａ〜ｆは本発明の一実施例方法を示す
作業動作説明図、第７ａ，ｂ図は本発明の実施に
用いる装置の挿入引出し棒の動きを示す線図であ
る。 １……ウエハ、２……ウエハ治具、３……拡散
炉、４……挿入引出し棒、５……内管、６……長
棒、６ａ……ウエハ収容部、６ｂ……ローラ、１
０……挿入取出し装置、１１…ウエハ、１２……
ウエハ治具、１２ａ……翼部、１３……拡散炉、
１５……内管、１７……摺動杆、１８……基板、
１８ａ……袖部、１８ｂ……貫通穴、１８ｃ……
小面積側面、１９……挿入引出し棒、１９ａ……
治具持上部、２０……横方向送り駆動モータ、２
０ａ……回転軸、２１……高さ方向駆動モータ、
２２……高さ幅調整カム、２３……カムフオロ
ア、２４……挿入引出し棒送りローラ、２５……
ガイドローラ。
出し方法を示す説明斜視図、第３図は本発明の実
施に用いる装置の斜視図、第４図は第３図の１要
部を取り出し拡大しての斜視図、第５図は第３図
の第４図に示すと異なる１要部を示す拡大斜視
図、第６図ａ〜ｆは本発明の一実施例方法を示す
作業動作説明図、第７ａ，ｂ図は本発明の実施に
用いる装置の挿入引出し棒の動きを示す線図であ
る。 １……ウエハ、２……ウエハ治具、３……拡散
炉、４……挿入引出し棒、５……内管、６……長
棒、６ａ……ウエハ収容部、６ｂ……ローラ、１
０……挿入取出し装置、１１…ウエハ、１２……
ウエハ治具、１２ａ……翼部、１３……拡散炉、
１５……内管、１７……摺動杆、１８……基板、
１８ａ……袖部、１８ｂ……貫通穴、１８ｃ……
小面積側面、１９……挿入引出し棒、１９ａ……
治具持上部、２０……横方向送り駆動モータ、２
０ａ……回転軸、２１……高さ方向駆動モータ、
２２……高さ幅調整カム、２３……カムフオロ
ア、２４……挿入引出し棒送りローラ、２５……
ガイドローラ。
Claims (1)
- １ 横型炉内に複数の半導体ウエハを載置したウ
エハ治具を挿入したり、前記横型炉内から前記ウ
エハ治具を取り出したりする工程を有する半導体
ウエハの熱処理方法において、石英ガラスから成
る円筒状の挿入取出し部を用いるとともに前記挿
入取出し部の先端部の２点で前記ウエハ治具を支
持し、その状態で前記ウエハ治具と前記横型炉内
面との間に実質的に動摩擦を生じることなく前記
ウエハ治具を前記横型炉内に挿入し及び前記横型
炉内から取り出すことを特徴とする半導体ウエハ
の熱処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59278881A JPS60167322A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | 半導体ウエハの熱処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59278881A JPS60167322A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | 半導体ウエハの熱処理方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4445677A Division JPS53129964A (en) | 1977-04-20 | 1977-04-20 | Method and device for inserting and taking out of heat treatment jig |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60167322A JPS60167322A (ja) | 1985-08-30 |
| JPH0335824B2 true JPH0335824B2 (ja) | 1991-05-29 |
Family
ID=17603410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59278881A Granted JPS60167322A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | 半導体ウエハの熱処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60167322A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10879095B2 (en) * | 2018-02-26 | 2020-12-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Jig for evaluating semiconductor processing chamber |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53129964A (en) * | 1977-04-20 | 1978-11-13 | Hitachi Ltd | Method and device for inserting and taking out of heat treatment jig |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP59278881A patent/JPS60167322A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60167322A (ja) | 1985-08-30 |
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