JPS59131212A - 圧電セラミツクフイルタおよびその製造方法 - Google Patents
圧電セラミツクフイルタおよびその製造方法Info
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- JPS59131212A JPS59131212A JP502683A JP502683A JPS59131212A JP S59131212 A JPS59131212 A JP S59131212A JP 502683 A JP502683 A JP 502683A JP 502683 A JP502683 A JP 502683A JP S59131212 A JPS59131212 A JP S59131212A
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- electrode
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/58—Multiple crystal filters
- H03H9/581—Multiple crystal filters comprising ceramic piezoelectric layers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、製造が容易でかつ特性面ですぐれた圧電セ
ラミックフィルタおよびその製造方法に関する。
ラミックフィルタおよびその製造方法に関する。
エネルギーとじこめ形の厚みすべり振動モードを用いた
圧電セラミックフィルタに第１図、第２図のようなもの
がある。第１図はその表面側、第２図はその裏面側を示
す。四角形状の圧電セラミック基板１にスリッド２が設
けられている。スリット２の両側にエネルギーとじこめ
形の厚みすべり振動モードを用いたフィルタ部分３．４
がそれぞれ設けられている。フィルタ部分３の分割電極
の一方はスリット２の左側の基板部分に設けられた入・
出力端子電極５に接続されている。フィルタ部分３の分
割電極の他方とフィルタ部分４の分割電極の一方とが接
続されている。フィルタ部分４の分割電極の他方はスリ
ット２の右側の基板部分に設けられた入・出力端子電極
６に接続されている。フィルタ３．４の共通電極は、い
ずれも入・出力端子電極５．６とは反対側の圧電基板の
辺部に設けられた共通端子電極７に接続されている。
圧電セラミックフィルタに第１図、第２図のようなもの
がある。第１図はその表面側、第２図はその裏面側を示
す。四角形状の圧電セラミック基板１にスリッド２が設
けられている。スリット２の両側にエネルギーとじこめ
形の厚みすべり振動モードを用いたフィルタ部分３．４
がそれぞれ設けられている。フィルタ部分３の分割電極
の一方はスリット２の左側の基板部分に設けられた入・
出力端子電極５に接続されている。フィルタ部分３の分
割電極の他方とフィルタ部分４の分割電極の一方とが接
続されている。フィルタ部分４の分割電極の他方はスリ
ット２の右側の基板部分に設けられた入・出力端子電極
６に接続されている。フィルタ３．４の共通電極は、い
ずれも入・出力端子電極５．６とは反対側の圧電基板の
辺部に設けられた共通端子電極７に接続されている。
このような構造のものは以下のような欠点がある。
圧電セラミック基板１の長さρは、通常５〜８ｍｍであ
る。これは分極を容易におこなうためである。より低い
周波数のものを製作する場合、長さりをざらに長くする
必要があるが、長さ文が長い程分極処理用の電源電圧を
より高くしなければならず危険性が増す。
る。これは分極を容易におこなうためである。より低い
周波数のものを製作する場合、長さりをざらに長くする
必要があるが、長さ文が長い程分極処理用の電源電圧を
より高くしなければならず危険性が増す。
また、長さρは通常圧電母材の厚み寸法であるが、長さ
ρが上述の理由で長くなった場合、圧電母材の組成物の
分布状態を均一に保って焼成しにくく、このため長ざ！
を長くするのは特性面からいっても好ましくない。
ρが上述の理由で長くなった場合、圧電母材の組成物の
分布状態を均一に保って焼成しにくく、このため長ざ！
を長くするのは特性面からいっても好ましくない。
さらに、圧電セラミック基板１の板厚は共振周波数に関
連しているのでより高い周波数のものを製作する場合、
板厚が薄い上に、スリット２の存在のため機械的強度が
低下するので、このような略Ｕ字状の圧電セラミック基
板はできれば採用したくない。
連しているのでより高い周波数のものを製作する場合、
板厚が薄い上に、スリット２の存在のため機械的強度が
低下するので、このような略Ｕ字状の圧電セラミック基
板はできれば採用したくない。
この発明は、以下の背景をもとになされたもので、機械
的強度が高く特性が安定している圧電セラミックフィル
タを提供することである。
的強度が高く特性が安定している圧電セラミックフィル
タを提供することである。
また、この発明は、作業性にすぐれた、圧電セラミック
フィルタの製造方法を提供することである。
フィルタの製造方法を提供することである。
この発明の要旨は、圧電基板の主平面に沿う方向に分極
され、主平面の一方に幅方向全面にわたって設けられる
とともに幅方向にギャップがある分割形振動電槽を有す
るとともに、主平面の他方に前記一対の振動電極と対向
した共通振動電極を有する第１、第２のフィルタ素子を
有し、これら第１、第２のフィルタ素子はその一端面同
士が接着されて一体化されており、第１、第２のフィル
タ素子の分割形振動電槽の一方同士が接続され、他方が
それぞれの圧電基板の端部に設けられた入・出力端子Ｎ
極に接続されており、接着部位に設けられた共通端子電
極にそれぞれの共通振動電極が接続されていることを特
徴とする圧電セラミックフィルタである。またこの発明
の要旨は、圧電基板の主平面に沿う方向に分極され、主
平面の一方に幅方向全面にわたって設けられるとともに
幅方向にギャップがある分割形振動電槽を有するととも
に、主平面の他方に前記一対の振動電極と対向した共通
振動電極を有する第１、第２のフィルタ素子を有し、こ
れら第１、第２のフィルタ素子はその一端面同士が接着
されて一体化されており、第１、第２のフィルタ素子の
分割形振動電槽の一方同士が接続され、他方がそれぞれ
の圧電基板の端部に設けられた入・出力端子電極に接続
されており、接着部位に設けられた共通端子電極にそれ
ぞれの共通振動電極が接続されている圧電セラミックフ
ィルタの製造方法であって、厚み方向に分極された圧電
母材を二枚接着した後、厚み方向に切断し、切断後のユ
ニットを、所定の周波数で厚みすべり振動が生じる厚み
に整えた後電極を設け、その後所定の幅で切断すること
を特徴とする圧電セラミックフィルタの製造方法である
。
され、主平面の一方に幅方向全面にわたって設けられる
とともに幅方向にギャップがある分割形振動電槽を有す
るとともに、主平面の他方に前記一対の振動電極と対向
した共通振動電極を有する第１、第２のフィルタ素子を
有し、これら第１、第２のフィルタ素子はその一端面同
士が接着されて一体化されており、第１、第２のフィル
タ素子の分割形振動電槽の一方同士が接続され、他方が
それぞれの圧電基板の端部に設けられた入・出力端子Ｎ
極に接続されており、接着部位に設けられた共通端子電
極にそれぞれの共通振動電極が接続されていることを特
徴とする圧電セラミックフィルタである。またこの発明
の要旨は、圧電基板の主平面に沿う方向に分極され、主
平面の一方に幅方向全面にわたって設けられるとともに
幅方向にギャップがある分割形振動電槽を有するととも
に、主平面の他方に前記一対の振動電極と対向した共通
振動電極を有する第１、第２のフィルタ素子を有し、こ
れら第１、第２のフィルタ素子はその一端面同士が接着
されて一体化されており、第１、第２のフィルタ素子の
分割形振動電槽の一方同士が接続され、他方がそれぞれ
の圧電基板の端部に設けられた入・出力端子電極に接続
されており、接着部位に設けられた共通端子電極にそれ
ぞれの共通振動電極が接続されている圧電セラミックフ
ィルタの製造方法であって、厚み方向に分極された圧電
母材を二枚接着した後、厚み方向に切断し、切断後のユ
ニットを、所定の周波数で厚みすべり振動が生じる厚み
に整えた後電極を設け、その後所定の幅で切断すること
を特徴とする圧電セラミックフィルタの製造方法である
。
以下にこの発明の実施例を図面を参照しながら説明する
。
。
第３図において、１１．１２は厚みｔｌの圧電母材で、
それぞれ厚み方向にあらかじめ分極されているものが二
枚接着されている。厚みｔｌは均質に焼成可能な厚みで
あり、また分極処理の面からも考慮された厚みである。
それぞれ厚み方向にあらかじめ分極されているものが二
枚接着されている。厚みｔｌは均質に焼成可能な厚みで
あり、また分極処理の面からも考慮された厚みである。
接着が完了した圧電母材１１．１２は、厚み方向にたと
えばスライシングマシンで一定間隔１２／に切断分離さ
れる。間隔１２／は、エネルギーとじこめ形厚みすべり
共振を所定の周波数でおこすために必要な基板板厚Ｔ２
と合致もしくは若干大きくしておく。切断されたユニッ
ト１３の切断面をラッピング処理をして板厚をｔ２とす
る。ユニット１３は板厚２ｔ１の圧電母材から作ったの
と外形的には同じであるが、ユニツ］−の均質性と分極
のしやすさは第５図のものの方がすぐれている。つぎに
、ユニット１３の表面、裏面に第７図、第８図に示すよ
うな電極を複数組形成する。
えばスライシングマシンで一定間隔１２／に切断分離さ
れる。間隔１２／は、エネルギーとじこめ形厚みすべり
共振を所定の周波数でおこすために必要な基板板厚Ｔ２
と合致もしくは若干大きくしておく。切断されたユニッ
ト１３の切断面をラッピング処理をして板厚をｔ２とす
る。ユニット１３は板厚２ｔ１の圧電母材から作ったの
と外形的には同じであるが、ユニツ］−の均質性と分極
のしやすさは第５図のものの方がすぐれている。つぎに
、ユニット１３の表面、裏面に第７図、第８図に示すよ
うな電極を複数組形成する。
電極形成方法は種々あるが、たとえばユニット１３の表
面、裏面とも全面的に蒸着によって電極膜を形成したの
ち、曖シストインキを用いて電極パターンを印刷によっ
て形成したのちエツチングして不要電極部分を除去し、
必要電極上のレジストインクを除去する。この後、第６
図に示すように一定幅Ｗ１で直線状に切断分離される。
面、裏面とも全面的に蒸着によって電極膜を形成したの
ち、曖シストインキを用いて電極パターンを印刷によっ
て形成したのちエツチングして不要電極部分を除去し、
必要電極上のレジストインクを除去する。この後、第６
図に示すように一定幅Ｗ１で直線状に切断分離される。
できあがった製品は、第７図、第８図に示すようになる
。各電極部分は第１図、第２図に示すものと実質同一な
ので同一番号を付して説明を省略する。
。各電極部分は第１図、第２図に示すものと実質同一な
ので同一番号を付して説明を省略する。
以上の実施例からもあきらかなようにこの発明では、エ
ネルギーとじこめ形厚みすべり振動モードを用いたフィ
ルタ部分を二つ縦続接続したフィルタを得るにあたり、
別々に分極された圧電母材を用いているので分極が容易
であるし、圧電母材の材質も均質なものが使えて好まし
い。また機械的強度を低下させるスリットがないという
効果もある。さらに、接着部位に共通端子電極が設けら
れ当然外部回路との接続のためにはんだや導電性接着剤
が付着するので接着部位の強度を向上させる効果がある
。
ネルギーとじこめ形厚みすべり振動モードを用いたフィ
ルタ部分を二つ縦続接続したフィルタを得るにあたり、
別々に分極された圧電母材を用いているので分極が容易
であるし、圧電母材の材質も均質なものが使えて好まし
い。また機械的強度を低下させるスリットがないという
効果もある。さらに、接着部位に共通端子電極が設けら
れ当然外部回路との接続のためにはんだや導電性接着剤
が付着するので接着部位の強度を向上させる効果がある
。
第１図は平面図、第２図は裏面図、第３図〜第５図は斜
視図、第６図は平面図、第７図は平面図、第８図は裏面
図。 ３．４はフィルタ部分、５．６は入・出力端子電極、７
は共通端子電極、１１．１２は圧電母材、１３はユニッ
ト。 特 許 出 願 人 第５喝 第４旧
視図、第６図は平面図、第７図は平面図、第８図は裏面
図。 ３．４はフィルタ部分、５．６は入・出力端子電極、７
は共通端子電極、１１．１２は圧電母材、１３はユニッ
ト。 特 許 出 願 人 第５喝 第４旧
Claims (2)
- （１）圧電基板の主平面に沿う方向に分極され、主平面
の一方に幅方向全面にわたって設けられるとともに幅方
向にギャップがある分割形振動電極を有するとともに、
主平面の他方に前記一対の振動電極と対向した共通振動
電極を有する第１、第２のフィルタ素子を有し、これら
第１、第２のフィルタ素子はその一端面同士が接着され
て一体化されており、第１、第２のフィルタ素子の分割
形振動電極の一方同士が接続され、他方がそれぞれの圧
電基板の端部に設けられた入・出力端子電極に接続され
ており、接着部位に設けられた共通端子電極にそれぞれ
の共通振動電極が接続されていることを特徴とする圧電
セラミックフィルタ。 - （２）圧電基板の主平面に沿う方向に分極され、主平面
の一方に幅方向全面にわたって設けられるとともに幅方
向にギャップがある分割形振動電極を有するとともに、
主平面の他方に前記一対の振動電極と対向した共通振動
電極を有する第１、第２のフィルタ素子を有し、これら
第１、第２のフィルタ素子はその一端面同士が接着され
て一体化されており、第１、第２のフィルタ素子の分割
形振動電極の一方同士が接続され、他方がそれぞれの圧
電基板の端部に設けられた入・出力端子電極に接続され
ており、接着部位に設けられた共通端子電極にそれぞれ
の共通振動電極が接続されている圧電セラミックフィル
タの製造方法であって、厚み方向に分極された圧電母材
を二枚接着した後、厚み方向に切断し、切断後のユニッ
トを、所定の周波数で厚みすべり振動が生じる厚みに整
えた後電極を設け、その後所定め幅で切断することを特
徴とする圧電レラミックライルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP502683A JPS59131212A (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | 圧電セラミツクフイルタおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP502683A JPS59131212A (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | 圧電セラミツクフイルタおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59131212A true JPS59131212A (ja) | 1984-07-28 |
Family
ID=11599982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP502683A Pending JPS59131212A (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | 圧電セラミツクフイルタおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59131212A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05243884A (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-21 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電体の分極方法 |
-
1983
- 1983-01-14 JP JP502683A patent/JPS59131212A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05243884A (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-21 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電体の分極方法 |
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