JPS59149307A - 光軸調整装置 - Google Patents
光軸調整装置Info
- Publication number
- JPS59149307A JPS59149307A JP58024038A JP2403883A JPS59149307A JP S59149307 A JPS59149307 A JP S59149307A JP 58024038 A JP58024038 A JP 58024038A JP 2403883 A JP2403883 A JP 2403883A JP S59149307 A JPS59149307 A JP S59149307A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- optical axis
- laser
- optical system
- adjustment device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は炭酸ガスレーザあるいはＹＡ（、レーザ装置か
ら照射された非可視レーザビームの光軸と外部光学系構
成部品の中心軸とを一致させて調整。
ら照射された非可視レーザビームの光軸と外部光学系構
成部品の中心軸とを一致させて調整。
設置するだめの光軸調整装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
非町視光領域の波長で発振する炭酸ガスレーザ。
あるいはＹＡＧレーザはパワーが強く、このパワーを利
用してレーザ装置から発進したレーザビームを発振装置
外に設置した外部光学系で液加］二物にビームを照射し
て表面熱処理、スクライビング。
用してレーザ装置から発進したレーザビームを発振装置
外に設置した外部光学系で液加］二物にビームを照射し
て表面熱処理、スクライビング。
切断２ トリミングなどのレーザ加工全行うことが出来
る。第１図ａは典型的なレーザ発振装置および外部光学
系を示す。ここで１は炭酸ガスあるい？′１ＹＡＧレー
ザ発振装置、２はレーザ発振装置から発進したレーザビ
ーム、３は空気中の塵埃が外部光学系に入らないように
し人体がレーザビームに触れないようにするためのレー
ザビーム誘導管であり、４．６は各々誘導管入口端、出
口端である。通常レーザビームは加工照射位置壕で導く
だめに反射鏡６を内蔵する反射鏡ホルダー７を用いてレ
ーザビームの方向全適当な方向に曲げる。こコテ８．
９は反射鏡ホルタ″−人ロ端、出ロ端である。レーザビ
ーム金誘導管１ｏの入口端１１．出口端１２全通して集
光し／ズ１３を内蔵する集光レンズホルダー１４へ導く
。ここに１５は集光レンズホルダー１４の開口端で、ノ
ズル１６茫通して被加工物１７にレーザビーム金照射し
加工に供する。
る。第１図ａは典型的なレーザ発振装置および外部光学
系を示す。ここで１は炭酸ガスあるい？′１ＹＡＧレー
ザ発振装置、２はレーザ発振装置から発進したレーザビ
ーム、３は空気中の塵埃が外部光学系に入らないように
し人体がレーザビームに触れないようにするためのレー
ザビーム誘導管であり、４．６は各々誘導管入口端、出
口端である。通常レーザビームは加工照射位置壕で導く
だめに反射鏡６を内蔵する反射鏡ホルダー７を用いてレ
ーザビームの方向全適当な方向に曲げる。こコテ８．
９は反射鏡ホルタ″−人ロ端、出ロ端である。レーザビ
ーム金誘導管１ｏの入口端１１．出口端１２全通して集
光し／ズ１３を内蔵する集光レンズホルダー１４へ導く
。ここに１５は集光レンズホルダー１４の開口端で、ノ
ズル１６茫通して被加工物１７にレーザビーム金照射し
加工に供する。
通常レーザビームの光軸を、外部光学系の構成部品の誘
導管３１反射鏡６．誘導管１０．集光レンズ１３．ノズ
ル１６の各中心軸と合致させるために、各構成部品を並
進あるいは傾斜させて調整するが、この場合に被加工物
１７に集束するスポットを収差の少いものにして加工精
度を向上させなければならない。
導管３１反射鏡６．誘導管１０．集光レンズ１３．ノズ
ル１６の各中心軸と合致させるために、各構成部品を並
進あるいは傾斜させて調整するが、この場合に被加工物
１７に集束するスポットを収差の少いものにして加工精
度を向上させなければならない。
従来、外部光学系を調整するには、レーザ発振器から発
射された非可視光レーザビームの軸方向と同一の軸方向
を有するように重畳させたＨＩ３−Ｎｅ等の可視光レー
ザビームを用意し、可視光レーザビームのみ全通して外
部光学系構成部品内又は出入１コに第１図すに示すよつ
なレーザビーム散乱板１８を設置して光軸を可視化して
調整を行っていた。しかしながら可視光Ｈｅ−Ｎｅレー
ザを重畳するためには、精密な重畳装置が必要となり、
合わせて定期的に両ビームの重畳確認をいう管理手続き
も必要となり、あく１でも代理ビームでの光学調整でし
かなく、加工系全体のコストを上げるなどの欠点がある
。また、可視光レーザビームを重畳することなしに第１
図すに示す様な紙やアクリルなどで作ったレーザビーム
散乱板１８を各外部光学系構成部品の３．７，１０，１
４の出入口端で非可視光レーザビームで照射して光軸合
せをする場合には、発火と共に煙塵が舞い反射鏡や集光
レンズを汚ごして外部光学系を破損させてし甘う欠点も
ある。
射された非可視光レーザビームの軸方向と同一の軸方向
を有するように重畳させたＨＩ３−Ｎｅ等の可視光レー
ザビームを用意し、可視光レーザビームのみ全通して外
部光学系構成部品内又は出入１コに第１図すに示すよつ
なレーザビーム散乱板１８を設置して光軸を可視化して
調整を行っていた。しかしながら可視光Ｈｅ−Ｎｅレー
ザを重畳するためには、精密な重畳装置が必要となり、
合わせて定期的に両ビームの重畳確認をいう管理手続き
も必要となり、あく１でも代理ビームでの光学調整でし
かなく、加工系全体のコストを上げるなどの欠点がある
。また、可視光レーザビームを重畳することなしに第１
図すに示す様な紙やアクリルなどで作ったレーザビーム
散乱板１８を各外部光学系構成部品の３．７，１０，１
４の出入口端で非可視光レーザビームで照射して光軸合
せをする場合には、発火と共に煙塵が舞い反射鏡や集光
レンズを汚ごして外部光学系を破損させてし甘う欠点も
ある。
発明の目的
本発明は上記目的を解消するもので、低コストで高精度
の光軸調整を可能にするものである。
の光軸調整を可能にするものである。
発明の構成
本発明は上記目的全達成するもので、外部光学系構成部
品の人出口端にビーム中心軸と同軸に取りつけられた結
合部と、前記結合部の中心軸の延長上に設けられた、被
照射物体を着脱可能に保持する試料支持部とを備え、前
記結合部と試料支持部とを開口窓を有する支柱で固定し
たことを特徴とする光軸調整装置を提供するものである
。
品の人出口端にビーム中心軸と同軸に取りつけられた結
合部と、前記結合部の中心軸の延長上に設けられた、被
照射物体を着脱可能に保持する試料支持部とを備え、前
記結合部と試料支持部とを開口窓を有する支柱で固定し
たことを特徴とする光軸調整装置を提供するものである
。
実施例の説明
第２図は本発明の一実施例である光軸調整装置の外観図
である。
である。
図において、２２は第１図ａの外部光学系の構成部品の
各出口端５． ９． １２． １６それぞれに中心線軸
を一致させて本実施例の光軸調整装置２１を取り付ける
結合部であり、中央にレーザビーム２が通過する孔が設
けられている。
各出口端５． ９． １２． １６それぞれに中心線軸
を一致させて本実施例の光軸調整装置２１を取り付ける
結合部であり、中央にレーザビーム２が通過する孔が設
けられている。
図に示した結合部２２は凸ネジで示しであるが。
凹ネジあるいはビス止め方式で光軸検出装置を着脱する
実施例でも良い。
実施例でも良い。
第１図ａに示した典型的なレーザ装置において、レーザ
発振装置１と外部光学系との光軸を調整する場合には、
各構成部品ごとに、たとえばその出口端に本光軸調整装
置２１を結合部２２を介して取りつけることにより行う
。前記結合部２２の嵌合構造と第１図ａの出入口端の構
造とを合わせておけば、−個のレーザビーム光軸検出装
置でもって全外部光学系の光軸調整が可能となる。
発振装置１と外部光学系との光軸を調整する場合には、
各構成部品ごとに、たとえばその出口端に本光軸調整装
置２１を結合部２２を介して取りつけることにより行う
。前記結合部２２の嵌合構造と第１図ａの出入口端の構
造とを合わせておけば、−個のレーザビーム光軸検出装
置でもって全外部光学系の光軸調整が可能となる。
具体的ｖｒＣは外部光学系構成部品、たとえばレーザビ
ーム誘導管３の出口端５に光軸調整装置２１を取り付け
、レーザビームの照射により発煙２発火。
ーム誘導管３の出口端５に光軸調整装置２１を取り付け
、レーザビームの照射により発煙２発火。
着色９発光する被照射物体を試料支持部に設置し、レー
ザ発振装置１からのレーザビーム２で被照射物体を照射
し、その照射位置を観察しながらレーザビーム誘導管３
を動かして、レーザビームの光軸と構成部品の中心軸を
±０．１問範囲内で合わすことが出来る。
ザ発振装置１からのレーザビーム２で被照射物体を照射
し、その照射位置を観察しながらレーザビーム誘導管３
を動かして、レーザビームの光軸と構成部品の中心軸を
±０．１問範囲内で合わすことが出来る。
被照射物体支持部２３と結合部２２とはのぞき窓２４を
有する支柱２６で固定されており、本実施例のごとく、
のぞき窓構造にすることにより、レーザビーム照射時に
出る煙塵金、のぞき窓２４かも拡散させて外部光学系構
成部品を汚すことなくレーザビーム位置検出しながら光
軸調整が可能となる。
有する支柱２６で固定されており、本実施例のごとく、
のぞき窓構造にすることにより、レーザビーム照射時に
出る煙塵金、のぞき窓２４かも拡散させて外部光学系構
成部品を汚すことなくレーザビーム位置検出しながら光
軸調整が可能となる。
他の構成部品についても順次同様に行うことにより外部
光学系全体の調整が完了する。
光学系全体の調整が完了する。
捷た本装置を第１図ａの各入口端４，８，１１゜１６に
取り付けてレーザビームを２′の方向から、被照射物体
の支持部２３に対面して設けられた別の支持部２６の被
照射物体に照射することにより外部光学系構成部品の入
口での光軸合わせ金行う′こともできる。
取り付けてレーザビームを２′の方向から、被照射物体
の支持部２３に対面して設けられた別の支持部２６の被
照射物体に照射することにより外部光学系構成部品の入
口での光軸合わせ金行う′こともできる。
第３図は本発明の他の実施例で、ａ図のものは結合部が
凹ねじ３２になっており、ｂ図のものは結合部４１を嵌
合したのちビス４２で止める構造になっている。０図の
実施例では支柱は必ず・しも４本ではなく、１本の支柱
６６で結合部６２の中心軸と被照射物体の支持部５３．
６６の中心軸とを合わせた状態で固定するようにしたも
のである。
凹ねじ３２になっており、ｂ図のものは結合部４１を嵌
合したのちビス４２で止める構造になっている。０図の
実施例では支柱は必ず・しも４本ではなく、１本の支柱
６６で結合部６２の中心軸と被照射物体の支持部５３．
６６の中心軸とを合わせた状態で固定するようにしたも
のである。
いずれの場合も発煙による埃を外部光学系に付着させる
ことなく、精度良く外部光学系の光軸合せをすることが
出来る。
ことなく、精度良く外部光学系の光軸合せをすることが
出来る。
発明の効果
以上のように本発明は炭酸ガスレーザあるいはＹＡＧレ
ーザビームを透過、誘導２反射、集束する外部光学系構
成部品の人出口端でのレーザビーム光軸と中心軸が一致
する結合部と、レーザビーム全照射して発煙９発火９着
色２発光する被照射物体を着脱出来る支持部を有し、前
記被照射物体上でのレーザビーム照射位置を目視出来る
のぞき窓を具備するもので、外部光学系の中心軸とレー
ザビームの光軸を非可視光加工用レーザビーム自身で合
わせることが出来、レーザビーム照射位置から発生する
煙塵をのぞき窓から大気中に拡散させて外部光学系全治
すことなく精度良く光軸を調整することがでさる利点を
有する。
ーザビームを透過、誘導２反射、集束する外部光学系構
成部品の人出口端でのレーザビーム光軸と中心軸が一致
する結合部と、レーザビーム全照射して発煙９発火９着
色２発光する被照射物体を着脱出来る支持部を有し、前
記被照射物体上でのレーザビーム照射位置を目視出来る
のぞき窓を具備するもので、外部光学系の中心軸とレー
ザビームの光軸を非可視光加工用レーザビーム自身で合
わせることが出来、レーザビーム照射位置から発生する
煙塵をのぞき窓から大気中に拡散させて外部光学系全治
すことなく精度良く光軸を調整することがでさる利点を
有する。
第１図ａは従来より用いられているレーザ発振装置と外
部光学系を接続した加工装置の斜視図、第１図すは上記
加工装置の光軸調整に使用されるレーザビーム散乱板の
斜視図、第２図は本発明の一実施例である光軸調整装置
の斜視図、第３図ａ。 ｂ、 ｃは他の実施例である光軸調整装置の正面図で
ある。 １・・・・・・レーザ発振装置、３・・・・・・レーザ
誘導管、７・・・・・・反射鏡ホルダー、１０・・・・
・・レーザ誘導管、１３・・・・・・集光レンズ、１４
・・・・・・集光レンズホルダー、２１・・・・・・光
軸調整装置、２２・・・・・・結合部、２３・・・・・
・試料支持部、２４・・・・・・のぞき窓、２５・・・
・・・支柱。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 ｊＩ ３ 爾 ３？
部光学系を接続した加工装置の斜視図、第１図すは上記
加工装置の光軸調整に使用されるレーザビーム散乱板の
斜視図、第２図は本発明の一実施例である光軸調整装置
の斜視図、第３図ａ。 ｂ、 ｃは他の実施例である光軸調整装置の正面図で
ある。 １・・・・・・レーザ発振装置、３・・・・・・レーザ
誘導管、７・・・・・・反射鏡ホルダー、１０・・・・
・・レーザ誘導管、１３・・・・・・集光レンズ、１４
・・・・・・集光レンズホルダー、２１・・・・・・光
軸調整装置、２２・・・・・・結合部、２３・・・・・
・試料支持部、２４・・・・・・のぞき窓、２５・・・
・・・支柱。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 ｊＩ ３ 爾 ３？
Claims (1)
- 外部光学系構成部品の人出口端にビーム中心軸と同軸に
取りつけられるだめの結合部と、前記結合部の中心軸の
延長上に設けられ、被照射物体を着脱可能に保持する試
料支持部とを備え、前記結合部と試料支持部とが開口窓
を有する支柱で一体に固定されていることを特徴とする
光軸調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58024038A JPS59149307A (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | 光軸調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58024038A JPS59149307A (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | 光軸調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59149307A true JPS59149307A (ja) | 1984-08-27 |
Family
ID=12127324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58024038A Pending JPS59149307A (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | 光軸調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59149307A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0388067U (ja) * | 1989-12-27 | 1991-09-09 | ||
| JP2002310115A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ロック機構 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS518558U (ja) * | 1974-07-06 | 1976-01-22 | ||
| JPS5250702U (ja) * | 1975-10-09 | 1977-04-11 |
-
1983
- 1983-02-15 JP JP58024038A patent/JPS59149307A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS518558U (ja) * | 1974-07-06 | 1976-01-22 | ||
| JPS5250702U (ja) * | 1975-10-09 | 1977-04-11 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0388067U (ja) * | 1989-12-27 | 1991-09-09 | ||
| JP2002310115A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ロック機構 |
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