JPS5916059U - イオン源 - Google Patents

イオン源

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Publication number
JPS5916059U
JPS5916059U JP11100182U JP11100182U JPS5916059U JP S5916059 U JPS5916059 U JP S5916059U JP 11100182 U JP11100182 U JP 11100182U JP 11100182 U JP11100182 U JP 11100182U JP S5916059 U JPS5916059 U JP S5916059U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion source
needle
capillary
electrosonic
radiation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11100182U
Other languages
English (en)
Inventor
恭雄 和田
大林　秀仁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS5916059U publication Critical patent/JPS5916059U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来技術によるイオン源の概略図、第２図〜第
４図は本考案の実施例のイオン源の説明図である。 ２、　５．　１６．　２６・・・・・・電界放射エミッ
タニードル、４．　６．　１９．　２７・・・・・・引
出し電極、３゜７Ａ、１５．２５・・・・・・ガス供給
キャピラリ、７゜１８．２４・・・・・・リザーバ、１
．　８．　１４．　２３・・・・・・冷却筒、１０．　
１３．　２２・・・・・・絶縁板、１７゜２８・・・・
・・熱絶縁体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ２゜１ＣＫ以下に冷却された冷凍器と、電音放射により
    イオンを放出するニードルと、該ニードル部の近傍に開
    口部を持つ超流動ヘリウムを流すべきキャピラリを具備
    する事を特徴とするイオン源。
JP11100182U 1982-07-23 1982-07-23 イオン源 Pending JPS5916059U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11100182U JPS5916059U (ja) 1982-07-23 1982-07-23 イオン源

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11100182U JPS5916059U (ja) 1982-07-23 1982-07-23 イオン源

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5916059U true JPS5916059U (ja) 1984-01-31

Family

ID=30257926

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11100182U Pending JPS5916059U (ja) 1982-07-23 1982-07-23 イオン源

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5916059U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001145970A (ja) * 1999-11-17 2001-05-29 Oribesuto Kk シート状表面材およびその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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