JPS5916134U - エツチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

図はすべて本考案の実施例の図面で、第１図はドライエ
ツチングのブロック図、第２図はマイクロ波プラズマエ
ツチング装置のブロック図、第３図は発光スペクトルお
よびガス圧力の時間変化図、第４図、第５図、第６図は
発光スペクトルおよびガス圧力の時間変化図、第７図は
発光スペクトルおよびガス圧力信号強度説明図、第８図
はモニタ信号の交流信号化のためのブロック図、第９図
は平行平板型ドライエツチング装置におけるモニター　
ヘッドのとり付は図である。 １・・・・・・エツチング室、２・・・・・・ガス流量
制御器、３・・・・・・高周波電源、４・・・・・・ガ
ス圧力測定端子、５・・・・・・ガス圧力測定器、６・
・・・・・試料、７・・・・・・光透過窓、８・・・・
・・発光スペクトル検知器、９・・・・・・試料台、１
０・・・・・・プラズマ発生領域、１１・・・・・・検
知器、１２・・・・・・容量コンデンサー、１３・・・
・・・増幅器、１４・・・・・・記録計、１５・・・・
・・信号処理器、１６・曲・発振電源、１７・・・・・
・検知器、１８・・・・・・上部電極、１９・・・・・
・下部電極、２０・・・・・・容器、２１・・・・・・
窓、２２・・・・・・モニタヘット部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. プラズマを用いてエツチングする装置においてガス圧力
   の時間変化によりエツチングの進行状況およびエツチン
   グの終点をモニターするためのガス圧力測定器を設けた
   ことを特徴とするエツチング装置。