JPS5924132U - マイクロ波プラズマ処理装置 - Google Patents

マイクロ波プラズマ処理装置

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JPS5924132U
JPS5924132U JP12072982U JP12072982U JPS5924132U JP S5924132 U JPS5924132 U JP S5924132U JP 12072982 U JP12072982 U JP 12072982U JP 12072982 U JP12072982 U JP 12072982U JP S5924132 U JPS5924132 U JP S5924132U
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JP
Japan
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plasma generation
plasma processing
microwave
plasma
microwave plasma
Prior art date
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JP12072982U
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JPS6236240Y2 (ja
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篠塚　利貞
恒男 村中
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Publication of JPS5924132U publication Critical patent/JPS5924132U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のマイクロ波プラズマ処理装置を示す断面
図、第２図はこの考案の一実施例に係るマイクロ波プラ
ズマ処理装置の要部を示す断面図である。 １・・・マイクロ波発振器（マイクロ波発振源）、−２
・・・アイソレータ、３・・・パワーモニタ、３ａ・・
・指示計、４・・・整合器、５・・・プラズマ発生炉、
５ａ・・・遮蔽筒、６・・・摺動短絡板、７・・・反応
器、７ａ・・・ガス輸送管、７ｂ・・・排気管、７Ｃ・
・・プラズマ発生管、８・・・排気装置、９・・・パツ
キン、１０・・・蓋、１１・・・被処理物、１２・・・
流量調節弁、１３・・・真空計、１４・・・高周波放電
筒（高周波発生器）。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）マイクロ波発振源と、このマイクロ波発振源の出
    力部に連設されたプラズマ発生炉と、このプラズマ発生
    炉に貫通装着されているプラズマ発生管と、このプラズ
    マ発生管にて発生した活性化ガスを導き被処理物に活性
    化ガスを照射する反応器を備えたマイクロ波プラズマ処
    理装置において、 上記プラズマ発生管の近傍に高周波発生器を設けたこと
    を特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
  2. （２）上記プラズマ発生管は複数にして、これらを一括
    して上記高周波発生器の影響を与えるよう配置したこと
    を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のマイ
    クロ波プラズマ処理装置。
JP12072982U 1982-08-09 1982-08-09 マイクロ波プラズマ処理装置 Granted JPS5924132U (ja)

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JP12072982U JPS5924132U (ja) 1982-08-09 1982-08-09 マイクロ波プラズマ処理装置

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JP12072982U JPS5924132U (ja) 1982-08-09 1982-08-09 マイクロ波プラズマ処理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5924132U true JPS5924132U (ja) 1984-02-15
JPS6236240Y2 JPS6236240Y2 (ja) 1987-09-14

Family

ID=30276581

Family Applications (1)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59226027A (ja) * 1983-06-07 1984-12-19 Toyota Motor Corp プラズマ処理方法
JPH02151021A (ja) * 1988-12-02 1990-06-11 Agency Of Ind Science & Technol プラズマ加工堆積装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5221332U (ja) * 1975-08-01 1977-02-15

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5221332U (ja) * 1975-08-01 1977-02-15

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59226027A (ja) * 1983-06-07 1984-12-19 Toyota Motor Corp プラズマ処理方法
JPH02151021A (ja) * 1988-12-02 1990-06-11 Agency Of Ind Science & Technol プラズマ加工堆積装置

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JPS6236240Y2 (ja) 1987-09-14

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