JPS59172113A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS59172113A JPS59172113A JP58046312A JP4631283A JPS59172113A JP S59172113 A JPS59172113 A JP S59172113A JP 58046312 A JP58046312 A JP 58046312A JP 4631283 A JP4631283 A JP 4631283A JP S59172113 A JPS59172113 A JP S59172113A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- films
- substrate
- magnetic recording
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はフロッピーディスク等に用いることができる垂
直磁気記録媒体に関するものである。
直磁気記録媒体に関するものである。
従来例の構成とその問題点
短波長記録特性の優れた磁気記録方式として垂直記録方
式がある。この方式においては、媒体の膜面に垂直方向
が磁化容易軸である垂直磁化膜が必要となる。垂直磁気
記録媒体は非強磁性基板上に直接に、あるいはパーマロ
イ等の軟磁性薄膜を３／−ジ 介して、ＣＯとＯｒを主成分とし膜面に垂直方向に磁化
容易軸を有する磁性層を、スパッタリング法あるいは真
空蒸着法により形成したものである。
式がある。この方式においては、媒体の膜面に垂直方向
が磁化容易軸である垂直磁化膜が必要となる。垂直磁気
記録媒体は非強磁性基板上に直接に、あるいはパーマロ
イ等の軟磁性薄膜を３／−ジ 介して、ＣＯとＯｒを主成分とし膜面に垂直方向に磁化
容易軸を有する磁性層を、スパッタリング法あるいは真
空蒸着法により形成したものである。
上記の磁性層は一般にＣｏ−０ｒ垂直磁化膜と呼ばれる
。
。
垂直磁気記録媒体の用途としては、リジッドディスク、
フロッピーディスク、テープが考えられている。これら
のなかでフロッピーディスクは、一般に高分子材料より
成る基板の両面に磁性層が形成された構造をしている。
フロッピーディスク、テープが考えられている。これら
のなかでフロッピーディスクは、一般に高分子材料より
成る基板の両面に磁性層が形成された構造をしている。
高分子材料より成る基板上に、Ｃ０−０ｒ垂直磁化膜を
スパッタリング法や真空蒸着法で形成する際には、膜形
成部において基板が基板ホルダーに均一に貼り付いた状
態にする必要がある。基板が基板ホルダーに貼り付いて
いないと、膜が堆積する際の熱が基板ホルダーに拡散す
ることが困難なので、基板が熱負けを生じ、しわが入っ
たり、穴があいたりする。高分子材料より成る基板の一
方の表面にのみ膜を形成する際には、基板を帯電させて
、基板ホルダーに電気的引力により貼り付けて膜を形成
することが可能なので、基板の熱負けを避けられる。す
なわち、例えば電子銃により電子を高分子材料より成る
基板に打ち込むと、この基板は負に帯電する。
スパッタリング法や真空蒸着法で形成する際には、膜形
成部において基板が基板ホルダーに均一に貼り付いた状
態にする必要がある。基板が基板ホルダーに貼り付いて
いないと、膜が堆積する際の熱が基板ホルダーに拡散す
ることが困難なので、基板が熱負けを生じ、しわが入っ
たり、穴があいたりする。高分子材料より成る基板の一
方の表面にのみ膜を形成する際には、基板を帯電させて
、基板ホルダーに電気的引力により貼り付けて膜を形成
することが可能なので、基板の熱負けを避けられる。す
なわち、例えば電子銃により電子を高分子材料より成る
基板に打ち込むと、この基板は負に帯電する。
このように帯電した状態で、基板を金属製の基板ホルダ
ーに沿わせると、両者間の電気的引力によって、基板は
基板ホルダーに貼り付く。また、高分子材料より成る基
板の一方の表面に、パーマロイ膜等の金属膜が形成され
ており、さらにその上にＧｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成す
る際には、このパーマロイ膜と金属製の基板ホルダーと
の間に電圧を印加することにより。両者間に電気的引力
が働き、基板は基板ホルダーに貼り付く。しかし、一方
の表面に既にＧＯ−Ｃｒ垂直磁化膜が形成されている、
高分子材料より成る基板の他方の表面にＧｏ−Ｃｒ垂直
磁化膜を形成する際には、上記のように基板を基板ホル
ダーに貼り付けることは不可能であり、その結果、熱負
けを生じ易い。すなわち、高分子材料より成る基板の両
者にＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を形成することは非常に困
難である。
ーに沿わせると、両者間の電気的引力によって、基板は
基板ホルダーに貼り付く。また、高分子材料より成る基
板の一方の表面に、パーマロイ膜等の金属膜が形成され
ており、さらにその上にＧｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成す
る際には、このパーマロイ膜と金属製の基板ホルダーと
の間に電圧を印加することにより。両者間に電気的引力
が働き、基板は基板ホルダーに貼り付く。しかし、一方
の表面に既にＧＯ−Ｃｒ垂直磁化膜が形成されている、
高分子材料より成る基板の他方の表面にＧｏ−Ｃｒ垂直
磁化膜を形成する際には、上記のように基板を基板ホル
ダーに貼り付けることは不可能であり、その結果、熱負
けを生じ易い。すなわち、高分子材料より成る基板の両
者にＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を形成することは非常に困
難である。
発明の目的
６ ・°−ジ
本発明は、製造することが容易な高分子材料より成る基
板の両面にＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜の形成された垂直磁
気記録媒体を提供することを目的とする。
板の両面にＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜の形成された垂直磁
気記録媒体を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は高分子材料より成る基板の一方の表面゛に直接
にあるいはパーマロイ等の下地層を介してＣＯとＯｒを
主成分とする垂直磁化膜が形成された一対のフィルムが
、上記垂直磁化膜の形成されている面と反対側の面が貼
り合わされて構成されていることを特徴とする垂直磁気
記録媒体であり、フロッピーディスクのような表裏両面
にＧｏ −Ｃｒ垂直磁化膜が形成されている垂直磁気記
録媒体を容易に製造することができるものである。
にあるいはパーマロイ等の下地層を介してＣＯとＯｒを
主成分とする垂直磁化膜が形成された一対のフィルムが
、上記垂直磁化膜の形成されている面と反対側の面が貼
り合わされて構成されていることを特徴とする垂直磁気
記録媒体であり、フロッピーディスクのような表裏両面
にＧｏ −Ｃｒ垂直磁化膜が形成されている垂直磁気記
録媒体を容易に製造することができるものである。
実施例の説明
以下、第１図〜第３図を用いて本発明の詳細な説明する
。第１図は本発明の垂直磁気記録媒体の基本構成を示す
図である。１ａ 、１ｂは高分子材料より成る基板、２
ａ 、２ｂはＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜であり、Ａ及びＢ
の一対のフィルムが、Ｃｏ −６／、−−ジ Ｏｒ 垂直磁化膜２ａ 、２ｂの形成されている面と反
対側の面で貼り合わされている。このような構造の媒体
は、高分子材料より成る基板の一方の表面にのみＣｏ
−Ｃｒ垂直磁化膜を形成した後に貼り合わせることによ
り作製出来るので、製造が容易である。これに対し従来
の媒体は既に述べたように、高分子材料より成る基板の
両面にＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を形成しなければならな
いので、膜堆積時に熱的ダメージを受は易くその製造が
非常に困難である。
。第１図は本発明の垂直磁気記録媒体の基本構成を示す
図である。１ａ 、１ｂは高分子材料より成る基板、２
ａ 、２ｂはＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜であり、Ａ及びＢ
の一対のフィルムが、Ｃｏ −６／、−−ジ Ｏｒ 垂直磁化膜２ａ 、２ｂの形成されている面と反
対側の面で貼り合わされている。このような構造の媒体
は、高分子材料より成る基板の一方の表面にのみＣｏ
−Ｃｒ垂直磁化膜を形成した後に貼り合わせることによ
り作製出来るので、製造が容易である。これに対し従来
の媒体は既に述べたように、高分子材料より成る基板の
両面にＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を形成しなければならな
いので、膜堆積時に熱的ダメージを受は易くその製造が
非常に困難である。
第１図に示される媒体における、Ａ及びＢの一対ノフィ
ルムはスパッタリング法あるいは真空蒸着法により、長
尺のものを連続的に作製することが可能である。特に後
者においては、数１０ｏ。
ルムはスパッタリング法あるいは真空蒸着法により、長
尺のものを連続的に作製することが可能である。特に後
者においては、数１０ｏ。
Ａ ／ ｓｅａという非常に高い膜堆積速度が容易に得
られるので生産性に優れている。真空蒸着法により膜を
形成する場合には、高分子材料より成る基板を円筒状キ
ャンの周側面に沿って走行させつ２膜の形成を行なうと
生産性が非常に良い。第２図にこのような真空蒸着装置
の内部構造の概略を示７１“−ジ す。高分子材料より成る基板１は円筒状キャン３の周側
面に沿って矢印の向きに走行する。なお円筒状キャンは
一般にＳｖＳ等の金属により作られている。６，６はそ
れぞれ基板１の供給ロール及び巻き取りロールである。
られるので生産性に優れている。真空蒸着法により膜を
形成する場合には、高分子材料より成る基板を円筒状キ
ャンの周側面に沿って走行させつ２膜の形成を行なうと
生産性が非常に良い。第２図にこのような真空蒸着装置
の内部構造の概略を示７１“−ジ す。高分子材料より成る基板１は円筒状キャン３の周側
面に沿って矢印の向きに走行する。なお円筒状キャンは
一般にＳｖＳ等の金属により作られている。６，６はそ
れぞれ基板１の供給ロール及び巻き取りロールである。
基板１は電子銃７によって電子が打ち込まれ、円筒キャ
ン３に貼り付く。
ン３に貼り付く。
この状態で蒸発源４によってＧｏ −Ｏｒ垂直磁化膜が
形成される。すなわち、第２図に示されるような装置で
は、基板が円筒状キャンに貼り付いた状態で、Ｇｏ−（
５ｒ垂直磁化膜が形成されるので、基板の熱負けは発生
せず安定な垂直磁気記録媒体が得られる。また、パーマ
ロイ等の金属薄膜が形成されている高分子材料より成る
基板上、第２図に示される装置でＣｏ −Ｏｒ垂直磁化
膜を形成する場合には、電子銃７は使用せずに、パーマ
ロイ等の金属薄膜と円筒状キャンとの間に電圧を印加す
れば、基板が円筒状キャンに貼り付く。この状態でＣｏ
−０ｒ垂直磁化膜を蒸着すると、安定に垂直磁気記録媒
体が得られる。
形成される。すなわち、第２図に示されるような装置で
は、基板が円筒状キャンに貼り付いた状態で、Ｇｏ−（
５ｒ垂直磁化膜が形成されるので、基板の熱負けは発生
せず安定な垂直磁気記録媒体が得られる。また、パーマ
ロイ等の金属薄膜が形成されている高分子材料より成る
基板上、第２図に示される装置でＣｏ −Ｏｒ垂直磁化
膜を形成する場合には、電子銃７は使用せずに、パーマ
ロイ等の金属薄膜と円筒状キャンとの間に電圧を印加す
れば、基板が円筒状キャンに貼り付く。この状態でＣｏ
−０ｒ垂直磁化膜を蒸着すると、安定に垂直磁気記録媒
体が得られる。
以上のようにして得られた一対の垂直磁気記録媒体を貼
り合わせることにより、垂直磁気記録媒体が作製される
。この媒体の特徴としては、このように安定かつ容易に
作製出来るということ以外にカールが全くないという点
もあげられる。すなわち、全く同じ条件で作製したＡ及
びＢ一対のフィルムを貼り合わせるので、Ａ及びＢにカ
ールが存在しても貼り合わせることによって、これが除
去される。これに対し従来のような、一枚の高分子材料
より成る基板の両面にＧｏ −Ｏｒ垂直磁化膜が形成さ
れた媒体において、カールのない状態を実現することは
非常に困難である１、 この媒体のもう一つの特徴としては、従来よりも膜厚の
薄い基板を用いることが出来ることである。すなわち、
垂直磁気記録媒体をフロッピーディスクとして用いる際
には、機械的特性の点から膜厚６ｏμｍ〜１ｏｏμｍ程
度の基板を使用する必要があるが、膜堆積時にこのよう
な厚い基板を基板ホルダーに安定に貼り付けることは困
難である。これに対し本発明の媒体では、基板膜厚が半
分なので（次に述べる第３図の構造の場合には半９、・
−ジ 分以下）、基板ホルダーへの貼り付けが容易である。
り合わせることにより、垂直磁気記録媒体が作製される
。この媒体の特徴としては、このように安定かつ容易に
作製出来るということ以外にカールが全くないという点
もあげられる。すなわち、全く同じ条件で作製したＡ及
びＢ一対のフィルムを貼り合わせるので、Ａ及びＢにカ
ールが存在しても貼り合わせることによって、これが除
去される。これに対し従来のような、一枚の高分子材料
より成る基板の両面にＧｏ −Ｏｒ垂直磁化膜が形成さ
れた媒体において、カールのない状態を実現することは
非常に困難である１、 この媒体のもう一つの特徴としては、従来よりも膜厚の
薄い基板を用いることが出来ることである。すなわち、
垂直磁気記録媒体をフロッピーディスクとして用いる際
には、機械的特性の点から膜厚６ｏμｍ〜１ｏｏμｍ程
度の基板を使用する必要があるが、膜堆積時にこのよう
な厚い基板を基板ホルダーに安定に貼り付けることは困
難である。これに対し本発明の媒体では、基板膜厚が半
分なので（次に述べる第３図の構造の場合には半９、・
−ジ 分以下）、基板ホルダーへの貼り付けが容易である。
第３図は本発明の垂直磁気記録媒体のもう一つの実施例
を示す図である。人、Ｂ一対のフィルムの間に薄膜８が
挾まれている３、この薄膜８としては、高分子材料より
成るフィルムでもよいし、金属薄膜、酸化物薄膜、窒化
物薄膜等でもよい。
を示す図である。人、Ｂ一対のフィルムの間に薄膜８が
挾まれている３、この薄膜８としては、高分子材料より
成るフィルムでもよいし、金属薄膜、酸化物薄膜、窒化
物薄膜等でもよい。
人、Ｂ一対のフィルムの間に、このように薄膜８を挾む
構造にすることにより、膜堆積が容易になり、また磁気
記録媒体のスティフネスや破断強度のような機械的特性
を、所望どおりに変えることができ、実用特性が向上す
る。
構造にすることにより、膜堆積が容易になり、また磁気
記録媒体のスティフネスや破断強度のような機械的特性
を、所望どおりに変えることができ、実用特性が向上す
る。
第４図にさらに具体的な実施例を示す。第４図の垂直磁
気記録媒体は、膜厚２６μｍのポリアミド系の論熱性高
分子フィルムｇａ、ｇｂの上に真空蒸着法により、Ｔｉ
膜１１１Ｌ、１１１）、パーマロイ膜１０１Ｌ、１０
ｂ及びＧｏ −Ｏｒ垂直磁化膜２ ｌＬ、２ｂが形成さ
れたフィルムＡ′及びＢ′が貼り合わされた構造になっ
ている。Ｔｉ、パーマロイ及びＧｏ −Ｏｒ ノ膜厚は
それぞれ５００人、４０００１ｏ・・−ジ 八及び３０００人である。パーマロイ膜は、良く知られ
ているように、記録再生特性を向上させるために、また
Ｔ１膜は、■−Ｏｒ膜の結晶配向性を良くするために設
けられている。このような構造の垂直磁気記録媒体をフ
ロッピーディスクとして用いると、従来の酸化鉄粉末塗
布型のフロッピーディスクの１００倍以上の記録密度が
達成できる。また、高分子フィルムの片面にのみ膜を蒸
着するので製造が容易であり、作製されたディスクはカ
ールが全くなかった。
気記録媒体は、膜厚２６μｍのポリアミド系の論熱性高
分子フィルムｇａ、ｇｂの上に真空蒸着法により、Ｔｉ
膜１１１Ｌ、１１１）、パーマロイ膜１０１Ｌ、１０
ｂ及びＧｏ −Ｏｒ垂直磁化膜２ ｌＬ、２ｂが形成さ
れたフィルムＡ′及びＢ′が貼り合わされた構造になっ
ている。Ｔｉ、パーマロイ及びＧｏ −Ｏｒ ノ膜厚は
それぞれ５００人、４０００１ｏ・・−ジ 八及び３０００人である。パーマロイ膜は、良く知られ
ているように、記録再生特性を向上させるために、また
Ｔ１膜は、■−Ｏｒ膜の結晶配向性を良くするために設
けられている。このような構造の垂直磁気記録媒体をフ
ロッピーディスクとして用いると、従来の酸化鉄粉末塗
布型のフロッピーディスクの１００倍以上の記録密度が
達成できる。また、高分子フィルムの片面にのみ膜を蒸
着するので製造が容易であり、作製されたディスクはカ
ールが全くなかった。
これに対し、従来のように、膜厚５ｏμｍのポリアミド
系の耐熱性高分子フィルムの両面に、真空蒸着法により
膜を作製することを試みたが、基板に熱負けが発生し安
定な膜を得ることが困難であった。すなわち、上記高分
子フィルムの一方の面に膜を蒸着する場合には、高分子
フィルムを電子ビームにより帯電させて基板ホルダーに
貼り付かせることができたが、さらに、他方の面に膜を
蒸着する場合には、基板ホルダーに貼り付かせることが
できなかった。その結果、蒸着時に高分子１１ ／・−
ジ フィルムに熱負けによるしわが発生したり、熱分解して
穴があいたりしてし１った。
系の耐熱性高分子フィルムの両面に、真空蒸着法により
膜を作製することを試みたが、基板に熱負けが発生し安
定な膜を得ることが困難であった。すなわち、上記高分
子フィルムの一方の面に膜を蒸着する場合には、高分子
フィルムを電子ビームにより帯電させて基板ホルダーに
貼り付かせることができたが、さらに、他方の面に膜を
蒸着する場合には、基板ホルダーに貼り付かせることが
できなかった。その結果、蒸着時に高分子１１ ／・−
ジ フィルムに熱負けによるしわが発生したり、熱分解して
穴があいたりしてし１った。
発明の効果
以上のように本発明によれば、製造が容易で、両面に磁
性層のある垂直磁気記録媒体を提供することができる。
性層のある垂直磁気記録媒体を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例における垂直磁気記録媒体の
断正面図、第２図は真空蒸着装置の内部の概略を示す図
、第３図は本発明の他の実施例における垂直磁気記録媒
体の断正面図、第４図は同さらに他の実施例における垂
直磁気記録媒体の断正面図である。 １．１ ＆ 、 １ ｂ 、９Ｎ 、 ９ｂ−、−・・
高分子材料より成る基板、２Ｌ、２ｂ・・・・・・Ｇｏ
−Ｏｒ垂直磁化膜、３・・・・・・円筒状キャン、８
・・・・・・薄膜、１０１Ｌ、１０ｂ・・・・・・パー
マロイ膜、１１ａ１１１ｂ・・・・・・Ｔｉ膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ？ａ 第２図 ↑ 陣ト４
断正面図、第２図は真空蒸着装置の内部の概略を示す図
、第３図は本発明の他の実施例における垂直磁気記録媒
体の断正面図、第４図は同さらに他の実施例における垂
直磁気記録媒体の断正面図である。 １．１ ＆ 、 １ ｂ 、９Ｎ 、 ９ｂ−、−・・
高分子材料より成る基板、２Ｌ、２ｂ・・・・・・Ｇｏ
−Ｏｒ垂直磁化膜、３・・・・・・円筒状キャン、８
・・・・・・薄膜、１０１Ｌ、１０ｂ・・・・・・パー
マロイ膜、１１ａ１１１ｂ・・・・・・Ｔｉ膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ？ａ 第２図 ↑ 陣ト４
Claims (6)
- （１）高分子材料より成る基板の一方の表面に直接にあ
るいはパーマロイ等の下地層を介してＣＯとＣｒヲ主成
分とする垂直磁化膜が形成された一対のフィルムが、上
記垂直磁化膜の形成されている面と反対側の面で貼り合
わされて構成されていることを特徴とする垂直磁気記録
媒体。 - （２）一対のフィルムにおけるＣＯとＯｒを主成分とす
る垂直磁化膜が、圭謡基板を基板ホルダーに電気的引力
によって貼り付けた状態で形成された膜であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の垂直磁気記録媒体
。 - （３）基板ホルダーが円筒状キャンであることを特徴と
する特許請求の範囲第２項記載の垂直磁気記録媒体。 - （４）一対のフィルム間に高分子材料より成るフィルム
あるいは金属等の薄膜が配置されているこ２・−ジ とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の垂直磁気記
録媒体。 - （５）一対のフィルム間に高分子材料より成るフィルム
あるいは金属等の薄膜が配置されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第２項記載の垂直磁気記録媒体。 - （６）一対のフィルム間に高分子材料より成るフィルム
あるいは金属等の薄膜が配置されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第３項記載の垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58046312A JPS59172113A (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58046312A JPS59172113A (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59172113A true JPS59172113A (ja) | 1984-09-28 |
Family
ID=12743652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58046312A Pending JPS59172113A (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59172113A (ja) |
-
1983
- 1983-03-18 JP JP58046312A patent/JPS59172113A/ja active Pending
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