JPS59174706A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
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- JPS59174706A JPS59174706A JP58049786A JP4978683A JPS59174706A JP S59174706 A JPS59174706 A JP S59174706A JP 58049786 A JP58049786 A JP 58049786A JP 4978683 A JP4978683 A JP 4978683A JP S59174706 A JPS59174706 A JP S59174706A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、工業用ロボット等の位置検出装@Vこ関する
ものである。
ものである。
従来例の構成とその問題点
工業用ロボット’を用い作業を行う時、対象とする物体
を正確に位置決めする事が困難である場合対象とする物
体の位置情報を得る為、位置検出装置が用いられる。
を正確に位置決めする事が困難である場合対象とする物
体の位置情報を得る為、位置検出装置が用いられる。
一般に、位置検出装置として工業用カメラが用いられて
いるが、高度な計算機能をもつ処理系か必要であり、使
用するにあたり価格面で問題か多かった。1だ、簡素化
された処理系による位置検出の一つの方法として、第1
図、第2図、第3図を参照して説明すると、照明1で照
明された被検出物体2か結像レンズ3により4分割され
た光Φ、変換器4a 、4b 、4C,4d上に結像す
る。AiJ記結像レンズ3と前記光電変換器4 a 、
4b 、4c。
いるが、高度な計算機能をもつ処理系か必要であり、使
用するにあたり価格面で問題か多かった。1だ、簡素化
された処理系による位置検出の一つの方法として、第1
図、第2図、第3図を参照して説明すると、照明1で照
明された被検出物体2か結像レンズ3により4分割され
た光Φ、変換器4a 、4b 、4C,4d上に結像す
る。AiJ記結像レンズ3と前記光電変換器4 a 、
4b 、4c。
4dの間に(は、走査装置としてガルノ・ノメ−り6が
配置され、制御装置6より出力された走査信号で、前記
光電変換器4a、4bと4a、4cの各々の配列゛方向
に斜めに映像か移動するように駆動される。まず、駆動
回路7より走査信号か出力され、前記ガルバノメータ6
か、協動され、前記光1b。
配置され、制御装置6より出力された走査信号で、前記
光電変換器4a、4bと4a、4cの各々の配列゛方向
に斜めに映像か移動するように駆動される。まず、駆動
回路7より走査信号か出力され、前記ガルバノメータ6
か、協動され、前記光1b。
変換器4a 、4b 、4C,4d上に結像した前記物
体2の映像が前記光電変換器4a、4bと4a。
体2の映像が前記光電変換器4a、4bと4a。
4Cの配列方向に創めに移動する。Ail記光電変換器
4a 、 4b 、’4C、4dの検出信号P1.P2
゜P3.P4ば、演算回路8aに入力し、1(P1+P
3)−(P2+P4戸がスイッチング回路9に入力する
。
4a 、 4b 、’4C、4dの検出信号P1.P2
゜P3.P4ば、演算回路8aに入力し、1(P1+P
3)−(P2+P4戸がスイッチング回路9に入力する
。
前記スイッチング回路9に方向指定回路10よりスイッ
チング信号が入力していると、前記スイッチング回路9
から1(P1+P3)−(P2+P4)1が出力される
。前記被検出物体2の映像が前記光電変換器4a、4c
上にきた時、予め5a)Oとなるようなある値に設定さ
れたSa と比較し、1 (PI十P3)−(P2+P
4)1.>Sa となり、ゲート回路11より信号が
出力される。次に、前記被検出物体2の映像が前記光電
変換器4a、4Cと4b。
チング信号が入力していると、前記スイッチング回路9
から1(P1+P3)−(P2+P4)1が出力される
。前記被検出物体2の映像が前記光電変換器4a、4c
上にきた時、予め5a)Oとなるようなある値に設定さ
れたSa と比較し、1 (PI十P3)−(P2+P
4)1.>Sa となり、ゲート回路11より信号が
出力される。次に、前記被検出物体2の映像が前記光電
変換器4a、4Cと4b。
4dの中間にきた時、予めTaりOとなるようなある値
に設定されたTa と比較し、1(P1+P3)−(P
2+P4)1<Taとなり、比較回路12より信号が出
力される。前記ゲート回路11と前記比較i
回路12の信号出力により、AND回路13は、サ
ンプリング回路14にサンプリング信号を出力し、前記
サンプリング回路14は、その時の前記駆動す」1路了
の走査信号を読み取り、前記光電変換器4=、4bの配
列方向の位置信号を出力する。
に設定されたTa と比較し、1(P1+P3)−(P
2+P4)1<Taとなり、比較回路12より信号が出
力される。前記ゲート回路11と前記比較i
回路12の信号出力により、AND回路13は、サ
ンプリング回路14にサンプリング信号を出力し、前記
サンプリング回路14は、その時の前記駆動す」1路了
の走査信号を読み取り、前記光電変換器4=、4bの配
列方向の位置信号を出力する。
その後、前記被検出物体2の映像が前記光電変換器4b
、 4d上にきた時、1(P1+P3)−(P2+P
4)1)Saとなり前記ゲート回路9dよりの信号はな
くなる。捷だ、演算回路8bへの入力は、1(P1十P
2)−(P3十P4)1が前記スイッチング回路9に入
力する。前記スイッチング回路9に方向指定回路10よ
りスイッチング信号か入力していないと、前記スイッチ
ング回路9から1(P1+P2)−(P3+P4)1が
出力され、以下前述の通りに処理され、サンプリング回
路14ば、前記光電変換器4a 、4cの配列方向の位
置・言号を出力する。
、 4d上にきた時、1(P1+P3)−(P2+P
4)1)Saとなり前記ゲート回路9dよりの信号はな
くなる。捷だ、演算回路8bへの入力は、1(P1十P
2)−(P3十P4)1が前記スイッチング回路9に入
力する。前記スイッチング回路9に方向指定回路10よ
りスイッチング信号か入力していないと、前記スイッチ
ング回路9から1(P1+P2)−(P3+P4)1が
出力され、以下前述の通りに処理され、サンプリング回
路14ば、前記光電変換器4a 、4cの配列方向の位
置・言号を出力する。
この様に、4分割光電変換器上(で結像した映像を、走
査装置により各々の4分割光電変換器の配列方向に斜め
に移動させ、4分割光電変換器の検出信号を各々演算処
理することにより、位置検出を行うもの(は、走査巾が
狭くても良い場合のみ有効て、走査巾を広くとれないと
いう問題があった。
査装置により各々の4分割光電変換器の配列方向に斜め
に移動させ、4分割光電変換器の検出信号を各々演算処
理することにより、位置検出を行うもの(は、走査巾が
狭くても良い場合のみ有効て、走査巾を広くとれないと
いう問題があった。
発明の目的
本発明は、上記従来の問題点を解消するもので、簡素化
された処理系によるという特徴をそこなうことなく、1
次元走査装置の2回走査で、対象とする物体の広範囲の
2次元位置検出を行う2次元位置検出装置を提供するこ
とを目的とする。
された処理系によるという特徴をそこなうことなく、1
次元走査装置の2回走査で、対象とする物体の広範囲の
2次元位置検出を行う2次元位置検出装置を提供するこ
とを目的とする。
発明の構成
本発明は、被検出物体を照明する照明装置と、前記被検
出物体の像を結像させる結像装置と、結像面」二に配置
し像の明るさを検出する4個に分割された光電変換器よ
りなる検出装置と、前記光電変換器の受光面を制限する
制限装置と、像と前記光電変換器の相対位置を結像面内
で1次元移動させる走査装置と、前記検出装置の検出信
号と前記走査装置の走査信号とにより前記被検出物体の
2次元位置全決定する決定手段から構成されており被検
出物体の位置検出処理のr7x素化をそこなうことなく
、1次元走査装置の2回走査で広1ji囲の2次元位ら
、検出をはかるものである。
出物体の像を結像させる結像装置と、結像面」二に配置
し像の明るさを検出する4個に分割された光電変換器よ
りなる検出装置と、前記光電変換器の受光面を制限する
制限装置と、像と前記光電変換器の相対位置を結像面内
で1次元移動させる走査装置と、前記検出装置の検出信
号と前記走査装置の走査信号とにより前記被検出物体の
2次元位置全決定する決定手段から構成されており被検
出物体の位置検出処理のr7x素化をそこなうことなく
、1次元走査装置の2回走査で広1ji囲の2次元位ら
、検出をはかるものである。
実施例の説明
以下に本発明の一実施例を図にもとづいて説明する。
第4図Uおいて、照明装置15で照明された被検出物体
16か結像レンズ17により4分割された光電変換器1
8a、18b、18c、18d上に結像する。前記光電
変換器18a、18b。
16か結像レンズ17により4分割された光電変換器1
8a、18b、18c、18d上に結像する。前記光電
変換器18a、18b。
18C518dの受光面上には、受光面の寸法を制限す
る制限装置21が配置され、制御装置2゜よジ出力され
た駆動信号で駆動される。
る制限装置21が配置され、制御装置2゜よジ出力され
た駆動信号で駆動される。
前記制限装置21は、液晶の電気光学効果t 51”j
用したもので、22a 、22 b、22C、22d
。
用したもので、22a 、22 b、22C、22d
。
22e、22f 、22g、22h、22iの8セグメ
ントの液晶より構成され、各々のセグメントに通電で光
を透過、遮断で光を遮光する様になっている。第5図で
、前記セグメント22 b 、22e。
ントの液晶より構成され、各々のセグメントに通電で光
を透過、遮断で光を遮光する様になっている。第5図で
、前記セグメント22 b 、22e。
22hに通電する事により、前記光′ih変換器18a
。
。
18b、18G、18dの受光面ブ+1φ状は、l”l
×12の縦長の矩形形状となり、前記セグメン)22d
。
×12の縦長の矩形形状となり、前記セグメン)22d
。
22e、22fに通電する事により横長の矩形形状とな
る。また、受光面寸法11 は、前記被検出物体の長
さをLとすればL〈2 l 、になる様設定されている
。前記結像レンズ17と前記制限裟置21の間には、走
査装置としてガルバノメータ23が配置され、制御装置
20より出力された走査信号で、前記光電変換器18a
、18bと188゜18Cの各々の配列方向に斜めに映
像が移動するように駆動され、前記結像レンズ17の光
軸に垂直な面と、前記ガルバノメータ23の揺動軸とな
す角が第4図において時計回り方向にθとなる様に、前
記ガルバノメータ22は配置されている。
る。また、受光面寸法11 は、前記被検出物体の長
さをLとすればL〈2 l 、になる様設定されている
。前記結像レンズ17と前記制限裟置21の間には、走
査装置としてガルバノメータ23が配置され、制御装置
20より出力された走査信号で、前記光電変換器18a
、18bと188゜18Cの各々の配列方向に斜めに映
像が移動するように駆動され、前記結像レンズ17の光
軸に垂直な面と、前記ガルバノメータ23の揺動軸とな
す角が第4図において時計回り方向にθとなる様に、前
記ガルバノメータ22は配置されている。
次に第5図において、前記被検出物体16の位置を決定
する決定原理を説明すると、前記光電変換器18a、1
8b、18c、18d上に配置し液晶の通電、遮断によ
る光透過率の変化を利用した前記制限装!21Vこより
、前記光′ム変換器18a。
する決定原理を説明すると、前記光電変換器18a、1
8b、18c、18d上に配置し液晶の通電、遮断によ
る光透過率の変化を利用した前記制限装!21Vこより
、前記光′ム変換器18a。
18b、18C,18dの受光面を、各々の検出方向に
短く、巾方向に長い゛矩形形状に制限することにより、
配列方向に斜めに映像が移動しても、各々2 l 2s
inθ、2β2CO5θの中白に位置する前記被検出物
体16の映像は、必らず前記光電変換器18a。
短く、巾方向に長い゛矩形形状に制限することにより、
配列方向に斜めに映像が移動しても、各々2 l 2s
inθ、2β2CO5θの中白に位置する前記被検出物
体16の映像は、必らず前記光電変換器18a。
18cと18b、18dのまた1sa、1sbと18C
,18dの分割線を横切り、前記光電変換器18a、1
8b、18G、18dの像の明るさの検出信号P1 、
P2.P3.P4より1(P1+P3)−(P2十P4
)1.1 (P1+P2)−(P3+P4)1を求めれ
は、前記被検出物体16の映像か前記光電変換器18a
、16cと1sb、1s、dの中間に位置する時(は、
1.(P1+P3) −(P2+P4>1z0,18a
、1 sbと1sc、1sdの中間に位置する時ば1
(Pl 十P2 ) −(P3+P4 )、1りOl
。
,18dの分割線を横切り、前記光電変換器18a、1
8b、18G、18dの像の明るさの検出信号P1 、
P2.P3.P4より1(P1+P3)−(P2十P4
)1.1 (P1+P2)−(P3+P4)1を求めれ
は、前記被検出物体16の映像か前記光電変換器18a
、16cと1sb、1s、dの中間に位置する時(は、
1.(P1+P3) −(P2+P4>1z0,18a
、1 sbと1sc、1sdの中間に位置する時ば1
(Pl 十P2 ) −(P3+P4 )、1りOl
。
その近傍でば1(P1+P3)−(P2+P4)1>>
○、1(P1+P2)−(P3+P、4)1>>Oとな
る点に着目するものである。
○、1(P1+P2)−(P3+P、4)1>>Oとな
る点に着目するものである。
制御装置24の・構成の一例を示すと第6図のように、
演算回路25a、25b、スイッチング回路26、方向
指定回路27、液晶駆動回路28、ゲート回路29、比
較回路30SAND阿路31、サジブリング回路32、
ガルバノ駆動回路33から構成されている。前記方向指
定回路27」:リスイソチング信号が前記スイッチング
回路26に、液晶駆動信号が出力され前記液晶駆動回路
28よリセグメン)22b 、22qに信号が出力され
ると、前記光電変換器18a、18b+、18c。
演算回路25a、25b、スイッチング回路26、方向
指定回路27、液晶駆動回路28、ゲート回路29、比
較回路30SAND阿路31、サジブリング回路32、
ガルバノ駆動回路33から構成されている。前記方向指
定回路27」:リスイソチング信号が前記スイッチング
回路26に、液晶駆動信号が出力され前記液晶駆動回路
28よリセグメン)22b 、22qに信号が出力され
ると、前記光電変換器18a、18b+、18c。
18dの検出信号P1.P2 、P’3 、P4は、前
記演算回路25aで演算され、前記スイッチング回路2
6より1(、P1十P3) −(P2十P4)1が出力
される。前記スイッチング回路26には前記ゲート回路
29、前記比較回路3Qが接続され、前記ゲート回路2
9ば、入力の値1(P1+P3 )=(P2+P4 )
1がある値以上になった時から次にある値以上になる
寸での聞出力信号を出し、前記トヒ較回路30は、入力
の値1 (P1+P3)−(P2十P4)1がある値以
下になった時に出力信号を出す。前記ゲート回路29と
前記比較回路30の出力は前記AND回路31に接続さ
れ、走査信号を出力する前記ガルバノ1駆動回路33に
接続された前記サンプリング回路32にサンプリング信
号を与える。
記演算回路25aで演算され、前記スイッチング回路2
6より1(、P1十P3) −(P2十P4)1が出力
される。前記スイッチング回路26には前記ゲート回路
29、前記比較回路3Qが接続され、前記ゲート回路2
9ば、入力の値1(P1+P3 )=(P2+P4 )
1がある値以上になった時から次にある値以上になる
寸での聞出力信号を出し、前記トヒ較回路30は、入力
の値1 (P1+P3)−(P2十P4)1がある値以
下になった時に出力信号を出す。前記ゲート回路29と
前記比較回路30の出力は前記AND回路31に接続さ
れ、走査信号を出力する前記ガルバノ1駆動回路33に
接続された前記サンプリング回路32にサンプリング信
号を与える。
前記サンプリング回路32は、サンプリング信号により
前記ガルバノ駆動回路33の走歪侶号を読み取り、位置
信号を出力する。次に、前記方向指定回路27よりスイ
ッチング信号出力がなくなると、方向信号及び液晶駆動
信号が変化し前記液晶駆動回路28よりセグノン)22
d 、22G 。
前記ガルバノ駆動回路33の走歪侶号を読み取り、位置
信号を出力する。次に、前記方向指定回路27よりスイ
ッチング信号出力がなくなると、方向信号及び液晶駆動
信号が変化し前記液晶駆動回路28よりセグノン)22
d 、22G 。
22fに信号が出力されると、前記光電変4さ器18a
。
。
18b、18C218dの検出信号P1.P2゜P3.
P4は、前記演算(ロ)路25bで演算され、前記スイ
ッチング回路26より1(P1+P2)−(P3+P4
)1か出力される。以下前述の通り処理され、前記サン
プリング回路32より位置信号を出力する。
P4は、前記演算(ロ)路25bで演算され、前記スイ
ッチング回路26より1(P1+P2)−(P3+P4
)1か出力される。以下前述の通り処理され、前記サン
プリング回路32より位置信号を出力する。
次に上記のように構成した本実施例の位置検出装置につ
いて以下その動作を説明する′。
いて以下その動作を説明する′。
まず、前記方向指定回路27より方向信号、駆動信号、
スイッチング信号が出力され、前記側・板装置21の前
記セグメント22b 、22qが通電され光透過状態と
なると共に、前記スイッチング回路26は、前記演算回
路25aよりの入力を出力する。この時、前記ガルバノ
、駆動回路33より走査信号が出力されると、前記サン
プリング回路32より、前記光電変換器18a、18b
の配列方向の位置信号が出力されることは、従来例の通
りであるので説明は省略する。次に、前記方向指足回路
27よりの方向信号、駆動信号が変り、スイッチング信
号がな(なると、前記制限装置21の前記セグメント2
2d 、22e7,22 fが通電され光透過状態とな
り22b 、22e 、22hが遮断され遮光状態とな
ると共に、前記スイッチング回路26ば、前記演算回路
25bよりの入力を出力し、以下同様にして、前記サン
プリング回路32よシ、前記光電変換器18a、18c
の配列方向の位置信号が出力される。
スイッチング信号が出力され、前記側・板装置21の前
記セグメント22b 、22qが通電され光透過状態と
なると共に、前記スイッチング回路26は、前記演算回
路25aよりの入力を出力する。この時、前記ガルバノ
、駆動回路33より走査信号が出力されると、前記サン
プリング回路32より、前記光電変換器18a、18b
の配列方向の位置信号が出力されることは、従来例の通
りであるので説明は省略する。次に、前記方向指足回路
27よりの方向信号、駆動信号が変り、スイッチング信
号がな(なると、前記制限装置21の前記セグメント2
2d 、22e7,22 fが通電され光透過状態とな
り22b 、22e 、22hが遮断され遮光状態とな
ると共に、前記スイッチング回路26ば、前記演算回路
25bよりの入力を出力し、以下同様にして、前記サン
プリング回路32よシ、前記光電変換器18a、18c
の配列方向の位置信号が出力される。
す、上のように本実施例によれば、4分割光電変換器の
受光面の11チ状を液晶の電気光学効果を用い変化させ
検出方向に短い矩形形状を形成する事により、簡素化さ
れた処理系により1次元走査装置で、被検出物体の2次
元位置が広範囲に検出てきる。
受光面の11チ状を液晶の電気光学効果を用い変化させ
検出方向に短い矩形形状を形成する事により、簡素化さ
れた処理系により1次元走査装置で、被検出物体の2次
元位置が広範囲に検出てきる。
発明の効果
本発明は、4分割光電変換器の受光面の形状を液晶の電
気光学効果を用い変化させ各々の検出方向に短い矩形形
状を形成することにより、簡素化された処理系により1
次元走査装置で、被検出物体の2次元位置を広範囲に検
出する効果を得ることができる優れた位置検出装置を実
現できるものである。
気光学効果を用い変化させ各々の検出方向に短い矩形形
状を形成することにより、簡素化された処理系により1
次元走査装置で、被検出物体の2次元位置を広範囲に検
出する効果を得ることができる優れた位置検出装置を実
現できるものである。
第1図は、従来例としての位置検出装置の構成図、第2
図は、従来例の決定原理を示す原理図、第3図は、従来
例としての制御装置の構成図、第′4図は、本発明の実
施例としての位置検出装置の構成図、第5図は、本発明
の決定原理を示す原理図、第6図は、本発明の実施列と
しての制御装置の・構成図である。 1.15・・・・・・照明装置、2,16・・・・・・
被検出物体、3 、17−一結像レンズ、4a 、4b
、4c4d、18a、18b、18G、18d−−光
電変換器、5,23−・・・ ガルバノメータ、6,2
゜・・制御装置、22a 、22b 、22c 、22
d。 22e 、22 f 、22g 、22h 、22 i
−−一液晶セグメント。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第4図 第5図
図は、従来例の決定原理を示す原理図、第3図は、従来
例としての制御装置の構成図、第′4図は、本発明の実
施例としての位置検出装置の構成図、第5図は、本発明
の決定原理を示す原理図、第6図は、本発明の実施列と
しての制御装置の・構成図である。 1.15・・・・・・照明装置、2,16・・・・・・
被検出物体、3 、17−一結像レンズ、4a 、4b
、4c4d、18a、18b、18G、18d−−光
電変換器、5,23−・・・ ガルバノメータ、6,2
゜・・制御装置、22a 、22b 、22c 、22
d。 22e 、22 f 、22g 、22h 、22 i
−−一液晶セグメント。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第4図 第5図
Claims (1)
- 被検出物体を照明する照明装置と、前記被検出物体の像
を結像させる結像装置と、結像面上に配置し、像の明る
さを検出する4個に分割された光電変換器よりなる検出
装置と、前記光電変換器の受光面を制限装置と、像と前
記光電変換器の相対位置を結像面内で1次元移動させる
走査装置と、前記検出装置の検出信号と前記走査装置の
走査信号とにより前記被検出物体の2次元位置を決定す
る決定手段とを備えた位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58049786A JPS59174706A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58049786A JPS59174706A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59174706A true JPS59174706A (ja) | 1984-10-03 |
Family
ID=12840838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58049786A Pending JPS59174706A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59174706A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102135411A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-07-27 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 检测信号灯丝中心位置的便携式电子装置 |
| CN110721958A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-01-24 | 张旭松 | 一种用于水晶清洗的提高水晶表面加工精度的方法 |
-
1983
- 1983-03-24 JP JP58049786A patent/JPS59174706A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102135411A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-07-27 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 检测信号灯丝中心位置的便携式电子装置 |
| CN110721958A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-01-24 | 张旭松 | 一种用于水晶清洗的提高水晶表面加工精度的方法 |
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