JPS59178265A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS59178265A JPS59178265A JP58051546A JP5154683A JPS59178265A JP S59178265 A JPS59178265 A JP S59178265A JP 58051546 A JP58051546 A JP 58051546A JP 5154683 A JP5154683 A JP 5154683A JP S59178265 A JPS59178265 A JP S59178265A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal head
- thermal
- resistant layer
- oxidation
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）０発明の技術分野
本発明は電子計算装置等の出力装置として用いられるサ
ーマルプリンタのサーマルヘッドに関するものである〇 （２）、従来技術と問題点 データや図形などの情報を記録するサーマルプリンタは
無衝撃形で騒音が少なく、無臭であバ現像定着々どの操
作が不要で保守性が良いことなどの特徴を有することか
ら情報端末機、ファクシミリ等に用いられている。この
サーマルプリンタの記録方式は、加熱によシ発色する特
殊処理を施した感熱記録紙を用い、ドツト状の発熱素子
を有するサーマルへ、ドｆＡ’ルス状の電力を印加して
発熱させ、その熱エネルギを感熱記録紙に供給して発色
させるのである。この場合に用いられるサーマルヘッド
は第１図の断面図に示す如き構造を有している。即ち基
板１にはアルミナに熱伝導率の低いガラスをコーティン
グしたグレーズドアルミナ基板を用い、その上に抵抗体
膜２を一様に形成し、その上に発熱抵抗体３となる部分
を残し、該発熱抵抗体３に電力を供給する導体部４を形
成し、さらにその上に発熱抵抗体３の酸化全防止するた
めの耐酸化層５と、Ｔａ２０５による耐摩耗層６とを形
成している。
ーマルプリンタのサーマルヘッドに関するものである〇 （２）、従来技術と問題点 データや図形などの情報を記録するサーマルプリンタは
無衝撃形で騒音が少なく、無臭であバ現像定着々どの操
作が不要で保守性が良いことなどの特徴を有することか
ら情報端末機、ファクシミリ等に用いられている。この
サーマルプリンタの記録方式は、加熱によシ発色する特
殊処理を施した感熱記録紙を用い、ドツト状の発熱素子
を有するサーマルへ、ドｆＡ’ルス状の電力を印加して
発熱させ、その熱エネルギを感熱記録紙に供給して発色
させるのである。この場合に用いられるサーマルヘッド
は第１図の断面図に示す如き構造を有している。即ち基
板１にはアルミナに熱伝導率の低いガラスをコーティン
グしたグレーズドアルミナ基板を用い、その上に抵抗体
膜２を一様に形成し、その上に発熱抵抗体３となる部分
を残し、該発熱抵抗体３に電力を供給する導体部４を形
成し、さらにその上に発熱抵抗体３の酸化全防止するた
めの耐酸化層５と、Ｔａ２０５による耐摩耗層６とを形
成している。
従来このような２層構造の保護Ｍを持つサーマルヘッド
は、第１層の耐酸化膜５に５１０２を用すているが、こ
の５ｔＯ２の熱膨張率が著しく小さいため、基板１との
熱膨張率との差によっ二ひずみの多く入っている導体パ
ターン４のエツジ部分にクラック７が生じる。そして印
字中に感熱紙に含まれる水分が水蒸気となシヘラドに付
着した場合、前記クラック７から導体と保護膜との間に
水が入り込み、その結果導体の電蝕が起こ夛、保護層が
浮きヘッドの寿命を短かくするといり欠点があった。
は、第１層の耐酸化膜５に５１０２を用すているが、こ
の５ｔＯ２の熱膨張率が著しく小さいため、基板１との
熱膨張率との差によっ二ひずみの多く入っている導体パ
ターン４のエツジ部分にクラック７が生じる。そして印
字中に感熱紙に含まれる水分が水蒸気となシヘラドに付
着した場合、前記クラック７から導体と保護膜との間に
水が入り込み、その結果導体の電蝕が起こ夛、保護層が
浮きヘッドの寿命を短かくするといり欠点があった。
（３）１発明の目的
本発明は上記従来の欠点に鑑み、保護膜のクラックを防
止した長寿命のサーマルヘッドを提供することを目的と
するものである。
止した長寿命のサーマルヘッドを提供することを目的と
するものである。
（４）０発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、絶縁基板上に発熱抵
抗体を有し、該発熱抵抗体上に少なくとも耐酸化層の保
護層を設けたサーマルヘッドにおいて、前記耐酸化層と
してシリコンオキシナイトライドを用いたことを特徴と
するサーマルヘッドを提供することによって達成される
。
抗体を有し、該発熱抵抗体上に少なくとも耐酸化層の保
護層を設けたサーマルヘッドにおいて、前記耐酸化層と
してシリコンオキシナイトライドを用いたことを特徴と
するサーマルヘッドを提供することによって達成される
。
（５）１発明の実施例
以下本発明実施例を図面によって詳述する。
第２図は本発明によるサーマルヘッドを示す図である。
同図において、１０は基板、１１は抵抗体膜、１２発熱
抵抗体部、１３は導体部、１４は耐酸化層、１５は耐摩
耗層をそれぞれ示す。
抵抗体部、１３は導体部、１４は耐酸化層、１５は耐摩
耗層をそれぞれ示す。
本実施例は図に示テ如く基板１０の上に抵抗体膜１１、
導体部１３、耐酸化層１４、耐摩耗層１５を順次形成し
たものであり、耐酸化層１４にシリコンオキシナイトラ
イド（５ｘＯＸＮｙ ＃但し０（ｘ、０＜ｙ）を用いて
いる。
導体部１３、耐酸化層１４、耐摩耗層１５を順次形成し
たものであり、耐酸化層１４にシリコンオキシナイトラ
イド（５ｘＯＸＮｙ ＃但し０（ｘ、０＜ｙ）を用いて
いる。
このように構成された本実施例は耐酸化層１４のシリコ
ンオキシナイトライドの熱膨張率が基板のそれに近いた
め導体のエツジ部分でのクラックの発生は防止され、ヘ
ッドの長寿命化が得られる。
ンオキシナイトライドの熱膨張率が基板のそれに近いた
め導体のエツジ部分でのクラックの発生は防止され、ヘ
ッドの長寿命化が得られる。
第３図は実施例の製造工程を説明するための図である。
図によ）説明すると先ずａ図の如くグレーズドアルミナ
基板１０上にＴａ −Ｎ抵抗体膜１１をスパックし、次
にｂ図の如く導体部として、ＮｉＣｒ １３ ａを５０
０ Ａ ＃ Ａｕ １３ ｂを５０００Ｘ 。
基板１０上にＴａ −Ｎ抵抗体膜１１をスパックし、次
にｂ図の如く導体部として、ＮｉＣｒ １３ ａを５０
０ Ａ ＃ Ａｕ １３ ｂを５０００Ｘ 。
Ｃｒｌ ３ｃ１５００ Ｘ順次蒸着し、その後Ｃ図の如
くホトリソグラフィ法にてパターニングを行って導体部
１３と発熱抵抗体部１２を形成し、次いでｄ図の如く発
熱抵抗体部１２にシリコンナイトライド（８１５Ｎ４
）粉末７０重量％と酸化シリコン（５ｉ０２ ）粉末
３０重量係を混合して焼結したシリコンオキシナイトラ
イドからなるターゲットをＮ２２％、Ａｒ９８％の混合
ガスでガス圧４．７Ｘ１０−’ＴＯｒｒにて１μｍスノ
′ｅ、、夕して耐酸化層１４を形成し、連続して０図の
如（Ｔａ２０５を３μｍス・ザックして耐摩耗層１５を
形成して完成する。このようにして形成された本実施例
を他と比較して行なった試験結果を次に説明する。
くホトリソグラフィ法にてパターニングを行って導体部
１３と発熱抵抗体部１２を形成し、次いでｄ図の如く発
熱抵抗体部１２にシリコンナイトライド（８１５Ｎ４
）粉末７０重量％と酸化シリコン（５ｉ０２ ）粉末
３０重量係を混合して焼結したシリコンオキシナイトラ
イドからなるターゲットをＮ２２％、Ａｒ９８％の混合
ガスでガス圧４．７Ｘ１０−’ＴＯｒｒにて１μｍスノ
′ｅ、、夕して耐酸化層１４を形成し、連続して０図の
如（Ｔａ２０５を３μｍス・ザックして耐摩耗層１５を
形成して完成する。このようにして形成された本実施例
を他と比較して行なった試験結果を次に説明する。
第４図は試験片を示す図であシ、ａは平面図、ｂはａ図
のｂ−ｂ線における断面図を示す。同図において２０は
基板、２１はＮＩ Ｃｒ ＊ Ａｕ ＋ Ｃｒからなる
導体部、２２．２２／Ｆｉ電極、２３は保護膜、２４は
耐水性絶縁物をそｎ、それ示している。
のｂ−ｂ線における断面図を示す。同図において２０は
基板、２１はＮＩ Ｃｒ ＊ Ａｕ ＋ Ｃｒからなる
導体部、２２．２２／Ｆｉ電極、２３は保護膜、２４は
耐水性絶縁物をそｎ、それ示している。
第５図は試験方法を示す図でおシ、２５は純水１ｔに対
してＮａＣ１Ｏ，０１６ｔを溶解し、４０℃に保った溶
液、２６は試験片、２７は電源をそれぞれ示している。
してＮａＣ１Ｏ，０１６ｔを溶解し、４０℃に保った溶
液、２６は試験片、２７は電源をそれぞれ示している。
そして試験は試験片２６を溶液２５に浸漬し、それぞれ
５０個のドツトを接続した電極２２及び２２＠に２４Ｖ
を印加し、３０分後に引き上げ、保護膜の浮きを調べた
。結果は次表の通シである。
５０個のドツトを接続した電極２２及び２２＠に２４Ｖ
を印加し、３０分後に引き上げ、保護膜の浮きを調べた
。結果は次表の通シである。
表から判るように従来用いられていた５ＩＯ２１μｍ＋
Ｔａ２Ｏ，３μｍの時は半分以上の保護膜が浮いていた
のが、本実施例のＳ ｉ Ｏ，ｃＮｙ（μｍ十Ｔａ２０
５３μｍの構造にすると浮き率は１割以下となった。
Ｔａ２Ｏ，３μｍの時は半分以上の保護膜が浮いていた
のが、本実施例のＳ ｉ Ｏ，ｃＮｙ（μｍ十Ｔａ２０
５３μｍの構造にすると浮き率は１割以下となった。
そして本実施例の場合の浮きの原因は保護膜のピンホー
ルからの液の浸入によるものであＪｌ） 、Ｓ ｔｏ２
の時のようなりラックからの侵入はみとめられなかった
。なおＴａ２０５と５１０ＸＮｙの単体は浮き率は非常
に良好であるが、Ｔａ２０５はＴａＮ抵抗体を酸化させ
るために使用不可である。
ルからの液の浸入によるものであＪｌ） 、Ｓ ｔｏ２
の時のようなりラックからの侵入はみとめられなかった
。なおＴａ２０５と５１０ＸＮｙの単体は浮き率は非常
に良好であるが、Ｔａ２０５はＴａＮ抵抗体を酸化させ
るために使用不可である。
（６）３発明の効果
以上、詳細に説明したように本発明によるサーマルヘッ
ドの耐酸化層は、熱膨張車が基板のアルミナセラミック
スによシ近いシリコンオキシナイトライドを用いること
Ｋよシ、導体のエツジ付近に生ずるクラックを防止し、
耐水性の向上によるサーマルへ、ドの長寿命化に寄与す
るといった効果大なるものである。
ドの耐酸化層は、熱膨張車が基板のアルミナセラミック
スによシ近いシリコンオキシナイトライドを用いること
Ｋよシ、導体のエツジ付近に生ずるクラックを防止し、
耐水性の向上によるサーマルへ、ドの長寿命化に寄与す
るといった効果大なるものである。
第１図は従来のサーマルヘッドを説明するための図、第
２図は本発明によるサーマルヘッドを説明するための図
、第３図は本発明によるサーマルヘッドの製造工程を説
明するための図、第４図及び第５図は本発明によるサー
マルヘッドの寿命試験を説明するための図であシ、第４
図は試験片、第５図は試験装置を示す図である。 図面において、１０は基板、１１は抵抗体膜、１２は発
熱抵抗体部、１３は導体部、１４け耐酸化層、１５は耐
摩耗層をそれぞれ示す。 第１図 第３図 第４図 （Ｇ） 第５図
２図は本発明によるサーマルヘッドを説明するための図
、第３図は本発明によるサーマルヘッドの製造工程を説
明するための図、第４図及び第５図は本発明によるサー
マルヘッドの寿命試験を説明するための図であシ、第４
図は試験片、第５図は試験装置を示す図である。 図面において、１０は基板、１１は抵抗体膜、１２は発
熱抵抗体部、１３は導体部、１４け耐酸化層、１５は耐
摩耗層をそれぞれ示す。 第１図 第３図 第４図 （Ｇ） 第５図
Claims (1)
- １、絶縁基板上に発熱抵抗体を有し、該発熱抵抗体上に
少なくとも耐酸化層の保護層を設けたサーマルヘッドに
おいて、前記耐酸化層としてシリコンオキシナイトライ
ドを用いたことを特徴とするサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58051546A JPS59178265A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58051546A JPS59178265A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59178265A true JPS59178265A (ja) | 1984-10-09 |
Family
ID=12890015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58051546A Pending JPS59178265A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59178265A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012071592A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-04-12 | Kyocera Corp | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ |
-
1983
- 1983-03-29 JP JP58051546A patent/JPS59178265A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012071592A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-04-12 | Kyocera Corp | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ |
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