JPS59181571U - 電子顕微鏡等における試料冷却装置 - Google Patents

電子顕微鏡等における試料冷却装置

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JPS59181571U
JPS59181571U JP7588183U JP7588183U JPS59181571U JP S59181571 U JPS59181571 U JP S59181571U JP 7588183 U JP7588183 U JP 7588183U JP 7588183 U JP7588183 U JP 7588183U JP S59181571 U JPS59181571 U JP S59181571U
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JP
Japan
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sample
cooling device
electron microscopes
sample cooling
cooling tank
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JP7588183U
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青木　好則
木原　春己
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Jeol Ltd
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Jeol Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第２図及び
第３図は夫々第１図の一部拡大断面図である。 １・・・・・・試料ホルダ、２・・・・・・鏡体、３ａ
・・・・・・対物レンズの上磁極、３ｂ・・・・・・対
物レンズの下磁極、４・・・・・・試料、５・・・・・
・試料台、６・・・・・・外槽、７・・・・・・液体窒
素、８・・・・・・冷却槽、９・・・・・・パイプ、１
０・・・・・・冷却部材、１１．１２・・・・・・ベロ
ーズ、１３・・・・・・外筒、１４・・・・・・切換弁
、１５・・・・・・操作軸、１６゜１７．１８・・・・
・・穴、１９・・・・・・ニードルバルブ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 対物レンズの中心部に置かれた試料近傍に冷却槽に満さ
    れた冷媒を導くことにより試料を冷却する前装置におい
    て、前記冷却槽内で気化した冷媒ガスと冷媒液とを任意
    に切換えて試料近傍に送る為の切換手段を設けてなる電
    子顕微鏡等における試料冷却装置。
JP7588183U 1983-05-20 1983-05-20 電子顕微鏡等における試料冷却装置 Granted JPS59181571U (ja)

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JPS59181571U true JPS59181571U (ja) 1984-12-04
JPH0125476Y2 JPH0125476Y2 (ja) 1989-07-31

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011129441A (ja) * 2009-12-21 2011-06-30 Hitachi High-Technologies Corp 冷却試料ホールダ及び試料の冷却加工方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50134359A (ja) * 1974-04-10 1975-10-24

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50134359A (ja) * 1974-04-10 1975-10-24

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JP2011129441A (ja) * 2009-12-21 2011-06-30 Hitachi High-Technologies Corp 冷却試料ホールダ及び試料の冷却加工方法

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