JPS59230138A - 有害ガス警報器 - Google Patents
有害ガス警報器Info
- Publication number
- JPS59230138A JPS59230138A JP10624483A JP10624483A JPS59230138A JP S59230138 A JPS59230138 A JP S59230138A JP 10624483 A JP10624483 A JP 10624483A JP 10624483 A JP10624483 A JP 10624483A JP S59230138 A JPS59230138 A JP S59230138A
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- JP
- Japan
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- harmful gas
- detector
- gas
- valve
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Links
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000001473 noxious effect Effects 0.000 description 1
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/26—Devices for withdrawing samples in the gaseous state with provision for intake from several spaces
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体工場や化学工場等において多数の製造
室等の監視領域での不応の事故による有害ガス発生を検
知するだめの有害ガス警報器に関する。
室等の監視領域での不応の事故による有害ガス発生を検
知するだめの有害ガス警報器に関する。
従来の上記警報器としては、監視領域大々に接続した通
気路に対し、各通気路ごとに有害ガス検知器を設けたも
のとか、あるいは、監視領域大々に接続した通気路夫々
を、有害ガス検知器を介在させた１本の探査用流路に接
続するとともに、通気路夫々に開閉弁を設け、それら開
閉弁を、例えば５分おき等、所定時間ずつ順に択一的に
開いていくものがあった。
気路に対し、各通気路ごとに有害ガス検知器を設けたも
のとか、あるいは、監視領域大々に接続した通気路夫々
を、有害ガス検知器を介在させた１本の探査用流路に接
続するとともに、通気路夫々に開閉弁を設け、それら開
閉弁を、例えば５分おき等、所定時間ずつ順に択一的に
開いていくものがあった。
ところが、前者の場合、監視領域が多くなるに連れ、備
えるべき検知器の個数か多くなり、晶価につく欠点があ
った。他方、後者の場合、開閉弁を開いてサンプリング
した後、次にサンプリングするまでに時間を要し、殊に
監視領域が多くなればなる程、非サンプリング時間が長
くなり、その途中で有害ガスが発生していてもそのこと
を検出できず、有害ガス発生の検知に遅れを生じ、安全
性に欠ける欠点があった。
えるべき検知器の個数か多くなり、晶価につく欠点があ
った。他方、後者の場合、開閉弁を開いてサンプリング
した後、次にサンプリングするまでに時間を要し、殊に
監視領域が多くなればなる程、非サンプリング時間が長
くなり、その途中で有害ガスが発生していてもそのこと
を検出できず、有害ガス発生の検知に遅れを生じ、安全
性に欠ける欠点があった。
本発明は、これらの実情に告口して、有害ガス発生の検
知を、１個の検知器により安価に、かつ、迅速に行える
ようにすることを目的とする。
知を、１個の検知器により安価に、かつ、迅速に行える
ようにすることを目的とする。
この目的達成のために、本発明の有害ガス警報器は、複
数の監視領域大々に接続した通気路夫々を、有害ガス検
知器を介在させた１本の検査用流路に接続するとともに
、前記通気路夫々に各別に常１）１型開門弁を設け、前
記検知器による有害ガス検出時に１１１１記開閉弁を選
択的に閉じ操作する選択操作機構を備えであることを特
徴とする。
数の監視領域大々に接続した通気路夫々を、有害ガス検
知器を介在させた１本の検査用流路に接続するとともに
、前記通気路夫々に各別に常１）１型開門弁を設け、前
記検知器による有害ガス検出時に１１１１記開閉弁を選
択的に閉じ操作する選択操作機構を備えであることを特
徴とする。
この特徴構成によれば、検知器を１個設けるだけであり
ながら、通常時において、すべての監視領域のガスを同
時に混合状励で検知器に流入させ、監視領域のいずれか
一箇所でも有害ガスが発生す、れば、そのことを検知器
で検知し、その後番こ、開閉弁を選択的に閉じ、有害ガ
スの発生してｌ、Ｎ６監視領域を検出できるのである。
ながら、通常時において、すべての監視領域のガスを同
時に混合状励で検知器に流入させ、監視領域のいずれか
一箇所でも有害ガスが発生す、れば、そのことを検知器
で検知し、その後番こ、開閉弁を選択的に閉じ、有害ガ
スの発生してｌ、Ｎ６監視領域を検出できるのである。
したかつて、複数の監視領域に対して有害ガスの発生箇
所を検知するものでありながらも、検知器を１個設ける
だけで安価に構成でき、しかも、監視領域のいずれかで
有害ガスが発生すれば、そのことを■：ｊちに検知でき
、その検知後の選択的な開閉弁の閉じ操作で有害ガスが
発生している監視領域を検出するから、設定時間ずつ開
閉弁を択一的に開き操作する従来のものに比べ、開閉弁
に対する操作時間が極めて短かくて済み、有害ガスが発
生している監視領域を迅速に検出できて安全性を向上で
きた。
所を検知するものでありながらも、検知器を１個設ける
だけで安価に構成でき、しかも、監視領域のいずれかで
有害ガスが発生すれば、そのことを■：ｊちに検知でき
、その検知後の選択的な開閉弁の閉じ操作で有害ガスが
発生している監視領域を検出するから、設定時間ずつ開
閉弁を択一的に開き操作する従来のものに比べ、開閉弁
に対する操作時間が極めて短かくて済み、有害ガスが発
生している監視領域を迅速に検出できて安全性を向上で
きた。
以下、本発明の實施例を図面を基にして説明する。
半導体工場、化学工場等における製造室等の監視領域［
１１＋１１ ｆｉｌ夫々に通気路（２）が接続されると
ともに、それら通気路（２）・・・のすべてが、有害ガ
ス検知器（３）を介在させた１本の探査用流路（４）に
接続され、かつ、前記通気路（２）・・・夫々に電磁式
の第１ないし第３常開型開閉弁（５ａ） 、 （５ｂ）
、 （５ｃ）が設けられるとともに、前記検知器（３
）に連係の選択操作機構（６）によって開閉弁（５）・
・・を選択的に閉じ操作するように構成され、有害ガス
の発生している監視領域ｆ１．Ｉ・・・を検知する有害
ガス警報器が構成されている。
１１＋１１ ｆｉｌ夫々に通気路（２）が接続されると
ともに、それら通気路（２）・・・のすべてが、有害ガ
ス検知器（３）を介在させた１本の探査用流路（４）に
接続され、かつ、前記通気路（２）・・・夫々に電磁式
の第１ないし第３常開型開閉弁（５ａ） 、 （５ｂ）
、 （５ｃ）が設けられるとともに、前記検知器（３
）に連係の選択操作機構（６）によって開閉弁（５）・
・・を選択的に閉じ操作するように構成され、有害ガス
の発生している監視領域ｆ１．Ｉ・・・を検知する有害
ガス警報器が構成されている。
前記通気路（２）・・・夫々に、吸引ポンプ（７１、流
量計（８）及び流量調整弁（９）が設けられ、監視領域
（１）・・・夫々から互いに必要量のガスを吸引して検
知器（３）に供給するように調整可能に構成されている
。
量計（８）及び流量調整弁（９）が設けられ、監視領域
（１）・・・夫々から互いに必要量のガスを吸引して検
知器（３）に供給するように調整可能に構成されている
。
前記選択操作機構（６）は、検知器（３）からの信号を
入力する制御回路００）と、その（ト１」御回路００１
からの指令信号により前記開閉弁（５ａ） 、 （５ｂ
） 、 （５ｃ）を閉じ操作する駆動回５！６Ｑ１）と
から構成され、検知器（３）による有害ガス発生の検知
に伴って開閉弁（５ａ） 。
入力する制御回路００）と、その（ト１」御回路００１
からの指令信号により前記開閉弁（５ａ） 、 （５ｂ
） 、 （５ｃ）を閉じ操作する駆動回５！６Ｑ１）と
から構成され、検知器（３）による有害ガス発生の検知
に伴って開閉弁（５ａ） 。
（５ｂ） 、 （５ｃ）を選択的に閉じ操作し、有害ガ
スの発生している監視領域（１）・・・を検出するよう
に構成されている。
スの発生している監視領域（１）・・・を検出するよう
に構成されている。
具体的には、前記制御回路Ｏａは、開閉弁（５ａ） 。
（５ｂ） 、 （５ｃ）を例えば次のように閉じ操作す
る。
る。
即ち、前記検知器（３）が有害ガスの発生を検知したと
き、 ■ 先ず第２及び第３開閉弁（５ｂ） 、 （５ｃ）を
閉じる。
き、 ■ 先ず第２及び第３開閉弁（５ｂ） 、 （５ｃ）を
閉じる。
０ 次に、第２開閉弁（５ｂ）を開くと共に、第１開閉
弁（５ａ）を閉じる。
弁（５ａ）を閉じる。
θ 最後に、第３開閉弁（５Ｃ）を開くと共に第２開閉
弁（５ｂ）を閉じる。
弁（５ｂ）を閉じる。
以上の操作をもって、どの監視領域（１）で有害ガスが
発生しているかを検知することができるのであり、勿論
、２箇所の監視領域で同時に有害ガスが発生していても
、その事態を検知できる。
発生しているかを検知することができるのであり、勿論
、２箇所の監視領域で同時に有害ガスが発生していても
、その事態を検知できる。
第２図は、監視領域（１）が多数の場合の実施例を示し
、監視領Ｍ、１１１・・・をグループ（Ｇｌ・−・分け
し、そのグループｆＧ）・・・ごとの中間流路（２）・
・・夫々を介して通気路（２１−が探査用流路（４）に
接続されると共に、中間流路（ハ）・−・夫々に電磁式
の常開型開閉弁α３が設けられ、選択操作機構（６）に
より、上述実施例におけると同様の手順で、先ず、有害
ガスを発生してむするグループ（Ｇ）を検出し、その後
、有害ガスが発生されているグループ（Ｇｌに対して上
述と同様の手順で第１ないし第３開閉弁（５ａ） 、
（５ｂ） 、 （５ｃ） を開閉操作して、最終的に
有害ガスの発生源である監視領域（１）を検出するよう
に構成されている。
、監視領Ｍ、１１１・・・をグループ（Ｇｌ・−・分け
し、そのグループｆＧ）・・・ごとの中間流路（２）・
・・夫々を介して通気路（２１−が探査用流路（４）に
接続されると共に、中間流路（ハ）・−・夫々に電磁式
の常開型開閉弁α３が設けられ、選択操作機構（６）に
より、上述実施例におけると同様の手順で、先ず、有害
ガスを発生してむするグループ（Ｇ）を検出し、その後
、有害ガスが発生されているグループ（Ｇｌに対して上
述と同様の手順で第１ないし第３開閉弁（５ａ） 、
（５ｂ） 、 （５ｃ） を開閉操作して、最終的に
有害ガスの発生源である監視領域（１）を検出するよう
に構成されている。
尚、通気路（２）の本数が多い場合には、マイコンより
前記選択操作機構（６）を構成するようにしても良い。
前記選択操作機構（６）を構成するようにしても良い。
また、前記吸引ポンプ（７）を探査用流路（４）の排出
側に設けても良い。
側に設けても良い。
図面は本発明の有害ガス警報器の実施例を示し、第１図
はフローシート、第２図は他の実施例を示すフローシー
トである。 （１）・・・監視領域、（２）・・・通気路、（３）・
・・検出器、（４）・・・探査用流路、（５）・・・常
開型開閉弁、（６）・・・選択操作機構。
はフローシート、第２図は他の実施例を示すフローシー
トである。 （１）・・・監視領域、（２）・・・通気路、（３）・
・・検出器、（４）・・・探査用流路、（５）・・・常
開型開閉弁、（６）・・・選択操作機構。
Claims (1)
- 複数の監視領域大々に接続した通気路夫々を、有害ガス
検知器を介在させた１本の探査用流路に接続するととも
に、前記・通気路夫々に各別に常開型開閉弁を設け、前
記検知器による有害ガス検出時に前記開閉弁を選択的に
閉じ操作する選択操作機構を備えであることを特徴とす
る有害ガス警報器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10624483A JPS59230138A (ja) | 1983-06-11 | 1983-06-11 | 有害ガス警報器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10624483A JPS59230138A (ja) | 1983-06-11 | 1983-06-11 | 有害ガス警報器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59230138A true JPS59230138A (ja) | 1984-12-24 |
| JPH0479407B2 JPH0479407B2 (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=14428696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10624483A Granted JPS59230138A (ja) | 1983-06-11 | 1983-06-11 | 有害ガス警報器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59230138A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63140630U (ja) * | 1987-03-05 | 1988-09-16 | ||
| JP2015094641A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-05-18 | 新コスモス電機株式会社 | 環境監視システム |
| JP2022075334A (ja) * | 2020-11-06 | 2022-05-18 | 三菱電機株式会社 | 環境調査装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103411802A (zh) * | 2013-08-14 | 2013-11-27 | 哈尔滨东方报警设备开发有限公司 | 带有声光报警和流量显示及调节功能的防爆抽气泵 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5441518A (en) * | 1977-09-09 | 1979-04-02 | Nippon Kokan Kk | Method of constructing reinforced concrete |
-
1983
- 1983-06-11 JP JP10624483A patent/JPS59230138A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5441518A (en) * | 1977-09-09 | 1979-04-02 | Nippon Kokan Kk | Method of constructing reinforced concrete |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63140630U (ja) * | 1987-03-05 | 1988-09-16 | ||
| JP2015094641A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-05-18 | 新コスモス電機株式会社 | 環境監視システム |
| JP2022075334A (ja) * | 2020-11-06 | 2022-05-18 | 三菱電機株式会社 | 環境調査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0479407B2 (ja) | 1992-12-15 |
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