JPS5935442A - 信号方式 - Google Patents
信号方式Info
- Publication number
- JPS5935442A JPS5935442A JP57146385A JP14638582A JPS5935442A JP S5935442 A JPS5935442 A JP S5935442A JP 57146385 A JP57146385 A JP 57146385A JP 14638582 A JP14638582 A JP 14638582A JP S5935442 A JPS5935442 A JP S5935442A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- measurement
- circuit devices
- wafer
- prober
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はウェハ上に形成された集積回路装置の測定方
式に関する。
式に関する。
多数個の集積回路装置がウニノ・上に形成されている各
集積回路装置の検査においてはプローブカード下面には
１個の集積回路装置に相当するプローブが設けられてお
シ、このプローブと集積回路装置の電極との接触とり測
定を行なっている。
集積回路装置の検査においてはプローブカード下面には
１個の集積回路装置に相当するプローブが設けられてお
シ、このプローブと集積回路装置の電極との接触とり測
定を行なっている。
このウェハは、ウェハの水平面への平行移動。
回転および垂直面への平行移動が可能な試料台に載せら
れ、多数の集積回路装置より形成されたパターンの直交
軸と、この試料台の水平面への直交移動の描く軸が一致
するように試料台を回転させておき、この試料台を水平
面の直交方向およびｉ直面へ移動させることによりプロ
ーブカードのプローブとウェハ上の全集積回路装置との
接触をとり測定を行なっている。
れ、多数の集積回路装置より形成されたパターンの直交
軸と、この試料台の水平面への直交移動の描く軸が一致
するように試料台を回転させておき、この試料台を水平
面の直交方向およびｉ直面へ移動させることによりプロ
ーブカードのプローブとウェハ上の全集積回路装置との
接触をとり測定を行なっている。
このプローブはプローブカードを介して、テスタと呼称
されている検査装置のテスト測定部へ配線されている。
されている検査装置のテスト測定部へ配線されている。
このプローブカードの固定、ウェハとの接触をとるため
の移動機構はプローバと呼称されている検査機で行なわ
れている。
の移動機構はプローバと呼称されている検査機で行なわ
れている。
このテスタは複数個のテスト測定部を設けておシ、これ
らのテスト測定部は個々にプローバヘ接続されている。
らのテスト測定部は個々にプローバヘ接続されている。
一般に、この測定検査は複数個のテスト測定部を時分割
で切り換えて１個ずつ行なっている。
で切り換えて１個ずつ行なっている。
この発明の目的は、プローブカードの下面に複数個の集
積回路装置に相当するプローブを設け、かつプローブカ
ードに接続されているテスト測定部を複数台設けて、こ
の１つのプローブカードにより接触をとられた複数個の
集積回路装置と複数台のテスト測定部の槓の個数の集積
回路装置を同時に並列測定することを新たに提供するこ
とによシ従来におけるテスト測定時間を短縮することに
ある。
積回路装置に相当するプローブを設け、かつプローブカ
ードに接続されているテスト測定部を複数台設けて、こ
の１つのプローブカードにより接触をとられた複数個の
集積回路装置と複数台のテスト測定部の槓の個数の集積
回路装置を同時に並列測定することを新たに提供するこ
とによシ従来におけるテスト測定時間を短縮することに
ある。
次にこの発明の実施例について説明する。
この発明の一実施例はプローブカード下面に２個の集積
回路装置ｖｃ相当するプローブを設け、かつテスタも２
個のテスト測定部を設けている。よって最大４個の：＠
積回路装置を同時に並列測定を行なうことができる。
回路装置ｖｃ相当するプローブを設け、かつテスタも２
個のテスト測定部を設けている。よって最大４個の：＠
積回路装置を同時に並列測定を行なうことができる。
図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
この測定を行なう場合に、プローバＡ４・プローバＢ５
はフェノ・の直交軸の目合せを終了してプローブカード
のプローブとフェノ１上に形成された集積回路装置との
接触をとり行なうことができる状態におるかを表わす信
号８．１３Ｃ以下ブ四−ピング信号と呼ぶ）をテスタ１
へ転送し、テスタ１はテスト測定部Ａ２・テスト測定部
Ｂ３に接続されたブローバＡ４．プローパＢ５が測定可
能状態にあるか判定している。
はフェノ・の直交軸の目合せを終了してプローブカード
のプローブとフェノ１上に形成された集積回路装置との
接触をとり行なうことができる状態におるかを表わす信
号８．１３Ｃ以下ブ四−ピング信号と呼ぶ）をテスタ１
へ転送し、テスタ１はテスト測定部Ａ２・テスト測定部
Ｂ３に接続されたブローバＡ４．プローパＢ５が測定可
能状態にあるか判定している。
サラにプローバＡ４．プ四−バＢ５は各々プローブカー
ド下面に設けられた２個の集積回路装置に相当するプロ
ーブが各４個の集積回路装置と接触している状態にある
かを表わす信号９，１０゜１４．１５（以下オン・フェ
ノ１信号と呼ぶ）をテスタ１へ転送し、テスタ１は４個
の集積回路装置各々が接触しているか判定している。
ド下面に設けられた２個の集積回路装置に相当するプロ
ーブが各４個の集積回路装置と接触している状態にある
かを表わす信号９，１０゜１４．１５（以下オン・フェ
ノ１信号と呼ぶ）をテスタ１へ転送し、テスタ１は４個
の集積回路装置各々が接触しているか判定している。
テスタ１はこのブロービング信号８．１３とオン・ウェ
ハ信号９，１０，１４．１５によシいずれのテスト測定
部のいずれの集積回路装置が測定可能な状態にあるかを
判定して測定を行なっている。
ハ信号９，１０，１４．１５によシいずれのテスト測定
部のいずれの集積回路装置が測定可能な状態にあるかを
判定して測定を行なっている。
例えばプローバＡ４が測定否でグローブ＜Ｂ５が測定否
のとき測定はプローバＡ４側のみが有効となり、かつオ
ン・フェノ１信号９，１０のいずれもがオン・ウェハ状
態にあればグローブ（Ａ４の集積回路装置は２個目時に
測定され、いずれかのときはオン・フェノ・状態側のみ
が測定される。勿論プローバＡ４が測定否でグローブ＜
Ｂ５が測定否のときは上記の状態と逆とな）、両プロー
ノ（が測定否のときは両プローバともが有効となるのは
いうまでもない。
のとき測定はプローバＡ４側のみが有効となり、かつオ
ン・フェノ１信号９，１０のいずれもがオン・ウェハ状
態にあればグローブ（Ａ４の集積回路装置は２個目時に
測定され、いずれかのときはオン・フェノ・状態側のみ
が測定される。勿論プローバＡ４が測定否でグローブ＜
Ｂ５が測定否のときは上記の状態と逆とな）、両プロー
ノ（が測定否のときは両プローバともが有効となるのは
いうまでもない。
従来の並列測定方式で両ブローノく同時に測定する場合
、一方のプロー）くより測定開始信号が送られてからあ
る設定された待ち時間内に他方のプローパから測定開始
信号が送られない場合は一方のプローパ側のみ測定を行
ない、一方何が測定中に他方から測定開始信号が送られ
たときは一方側の測定終了を待ちその測定終了よハ前記
の待ち時間内にこの一方の測定開始信号空送られない場
合は他方側のみ測定を行なう方式であった為、前を己の
待ち時間の設定値が、同一フェノ・上における次の被測
定集積回路への移動時間より短かい場合は両プローバが
同時に測定されず、また前記の移動時間より長い場合は
前記の待ち時間が不必要に浪費され測定に寄与しない欠
点があった。
、一方のプロー）くより測定開始信号が送られてからあ
る設定された待ち時間内に他方のプローパから測定開始
信号が送られない場合は一方のプローパ側のみ測定を行
ない、一方何が測定中に他方から測定開始信号が送られ
たときは一方側の測定終了を待ちその測定終了よハ前記
の待ち時間内にこの一方の測定開始信号空送られない場
合は他方側のみ測定を行なう方式であった為、前を己の
待ち時間の設定値が、同一フェノ・上における次の被測
定集積回路への移動時間より短かい場合は両プローバが
同時に測定されず、また前記の移動時間より長い場合は
前記の待ち時間が不必要に浪費され測定に寄与しない欠
点があった。
本発明全適用すると、両プローバ４，５のブロービング
信号８，１３、オンフェノ１信号９，１０゜１４．１５
により、測定の可否を判定し、両プローバの同時測定を
実現させかつ前記の待ち時間の浪費？なくする効果があ
る。すなわち第２図に示 、すように、集積回路装置Ａ
２０およびＢ２１はプ四−プカード１６の開口穴１７よ
少突出せるグローブ１８および１９によりてそれぞれ測
定出来る。
信号８，１３、オンフェノ１信号９，１０゜１４．１５
により、測定の可否を判定し、両プローバの同時測定を
実現させかつ前記の待ち時間の浪費？なくする効果があ
る。すなわち第２図に示 、すように、集積回路装置Ａ
２０およびＢ２１はプ四−プカード１６の開口穴１７よ
少突出せるグローブ１８および１９によりてそれぞれ測
定出来る。
第１図は本発明の一実施例の概略を示す構成図である。
この図において、
１・・・・・・テスタ、２・・・・・・テスト測定部Ａ
、 ３・・・・・・テスト測定部Ｂ、４・・・・・・グ
ローブくＡ１５・・・・・・プローバＢ１６・・・・・
・テスト測定部Ａとグローブ＜ＡＭの制御信号％ ７・
・・・・・テスト測定ｆｆ１ｌＡとブロービングの測定
ケーブル、８・・・・・・テスト測定部ＡとプローバＡ
間のブロービング信号、９・・・・・・テスト測定部Ａ
とプローバＡ間の集積回路装置１のオンウェハ信号、１
０・・・・・・テスト測定部ＡとプローバＡ間の集績回
路装Ｎｔ２のオンウェハ信号、１１・・・・・・テスト
測定部Ｂとプロー２８間の制御信号、１２・・・・・・
テスト測定部Ｂとブロー７８間の測定ケーブル、１３・
・・・・・テスト測定部Ｂとプロー２８間のプロービン
グ信号、１４・・・・・・テスト測定部Ｂとプロー２８
間の集積回路装置１のオンウェハ信号、１５・・・・・
・テスト測定部Ｂとブロー７８間の集積回路装置２のオ
ンウェハ信号、である。 第２図は本発明の一実施例に使用されたプローブカード
と集積回路装置の概略を示す図である。 この図において、 １６・・・・・・プローブカード、１７・・・・・・プ
ローブカード中央に設けられ念開口穴、１８・・・・・
・集積回路装置ｌ＆と接触をとるプローブの８本中の１
本、１９・・・・・・集積回路装置Ｂと接触をとるプロ
ーブの８本中の１本、２０・・・・・・集積回路装置Ａ
、２１・・・・・・集４責回路装置Ｂ１である。 プローブカード１６は２個の集積回路装置２０゜２１に
相当するプローブを設けており、プローバＡ４．プロー
バＢ５は各々プローブカードが１枚ずつ設けられている
。
、 ３・・・・・・テスト測定部Ｂ、４・・・・・・グ
ローブくＡ１５・・・・・・プローバＢ１６・・・・・
・テスト測定部Ａとグローブ＜ＡＭの制御信号％ ７・
・・・・・テスト測定ｆｆ１ｌＡとブロービングの測定
ケーブル、８・・・・・・テスト測定部ＡとプローバＡ
間のブロービング信号、９・・・・・・テスト測定部Ａ
とプローバＡ間の集積回路装置１のオンウェハ信号、１
０・・・・・・テスト測定部ＡとプローバＡ間の集績回
路装Ｎｔ２のオンウェハ信号、１１・・・・・・テスト
測定部Ｂとプロー２８間の制御信号、１２・・・・・・
テスト測定部Ｂとブロー７８間の測定ケーブル、１３・
・・・・・テスト測定部Ｂとプロー２８間のプロービン
グ信号、１４・・・・・・テスト測定部Ｂとプロー２８
間の集積回路装置１のオンウェハ信号、１５・・・・・
・テスト測定部Ｂとブロー７８間の集積回路装置２のオ
ンウェハ信号、である。 第２図は本発明の一実施例に使用されたプローブカード
と集積回路装置の概略を示す図である。 この図において、 １６・・・・・・プローブカード、１７・・・・・・プ
ローブカード中央に設けられ念開口穴、１８・・・・・
・集積回路装置ｌ＆と接触をとるプローブの８本中の１
本、１９・・・・・・集積回路装置Ｂと接触をとるプロ
ーブの８本中の１本、２０・・・・・・集積回路装置Ａ
、２１・・・・・・集４責回路装置Ｂ１である。 プローブカード１６は２個の集積回路装置２０゜２１に
相当するプローブを設けており、プローバＡ４．プロー
バＢ５は各々プローブカードが１枚ずつ設けられている
。
Claims (1)
- ウェハ上に形成された集積回路装置の検査において、電
気的信号を送受する集積回路装置に対応するプローブの
設けられたプ目−プカードにより複数個の前記集積回路
装置との接触をとり、かつ前記プローブの前記各集積回
路装置への接触がウェハ測定範囲の内外かを識別する信
号およびプローバの測定可否状態を識別する信号を前記
プローバに設はテスタに送信し複数個の前記集積回路装
置の並列測定を可能にする信号方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57146385A JPS5935442A (ja) | 1982-08-24 | 1982-08-24 | 信号方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57146385A JPS5935442A (ja) | 1982-08-24 | 1982-08-24 | 信号方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5935442A true JPS5935442A (ja) | 1984-02-27 |
Family
ID=15406500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57146385A Pending JPS5935442A (ja) | 1982-08-24 | 1982-08-24 | 信号方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5935442A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63234720A (ja) * | 1987-03-24 | 1988-09-30 | Nippon Denso Co Ltd | リセツト回路 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5318972A (en) * | 1976-08-05 | 1978-02-21 | Nec Corp | Monitoring method of wafer positioning state by probes |
| JPS54112174A (en) * | 1978-02-22 | 1979-09-01 | Nec Corp | Testing method for semiconductor device |
-
1982
- 1982-08-24 JP JP57146385A patent/JPS5935442A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5318972A (en) * | 1976-08-05 | 1978-02-21 | Nec Corp | Monitoring method of wafer positioning state by probes |
| JPS54112174A (en) * | 1978-02-22 | 1979-09-01 | Nec Corp | Testing method for semiconductor device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS63234720A (ja) * | 1987-03-24 | 1988-09-30 | Nippon Denso Co Ltd | リセツト回路 |
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