JPS5938443Y2 - イオンプレ−ティング装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、イオンブレーティング装置に関し、特に、蒸
発物の付着力及びイオンブレーティングの効率を改良し
てなるイオンブレーティング装置に関するものである。

アルミ金属等の蒸発物をポリプロピレンやポリエチレン
等の高分子フィルムにイオンブレーティングする場合、
種々の方法があるが、蒸発物の付着力が弱いために剥離
し易くかつ均一な厚さに付着され難い欠点がある。

また、蒸発物は一旦イオン化されるが、被着物には付着
する１でに不純物と供給して中性となるものがあり、イ
オンブレーティングの効率を低下させる原因となってい
た。

本考案は、以上の欠点を改良し、蒸発物の被着物への付
着力を増大しかつイオンブレーティングの効率を向上し
うるイオンブレーティング装置の提供を目的とするもの
である。

本考案は、上記の目的を達成するために、イオンブレー
ティング装置にむいて、イオン化された蒸着物質および
被蒸着物に紫外線又は遠紫外線を照射しうる機構を有す
ることを特徴とするイオンブレーティング装置を提供す
るものである。

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。

図において、１は円筒状のチャンバーである。

２はチャンバー１に内蔵されたアルミ金属等の蒸発物で
あり、チャンバー１外に配設された蒸発用電源３により
加熱されて蒸発するものである。

４は蒸発用電源３により加熱蒸発された蒸発物２をイオ
ン化するためのコイルであり、チャンバー１外の高周波
発生電源５に接続されている。

チャンバー１内には、さらに、ポリプロピレン等の被着
物６が供給ローラー７に巻かれており、ガイドローラ８
及び９を介して巻取ローラー１０に巻かれる。

そして被着物６に蒸発物２が付着するように電極１１が
被着物６の被着面と対向する位置に配置されている。

電極１１には直流電源１２が接続され所定の電圧が印加
される。

さらに、コイル４を通りイオン化された蒸発物１３と、
この蒸発物１３が付着する被着物６との両方に紫外線又
は遠紫外線を照射しうる水銀灯等の照射機構１４がチャ
ンバー１内に配置されている。

また、チャンバー１内を任意の真空度に保持するための
真空ポンプ１５がチャンバー１に取り付けられている。

すなわち、真空ポンプ１５の動作によりチャンバー１内
が任意の真空度に保持された後、蒸発用電源３により蒸
発物２を蒸発する。

蒸発物２は蒸発後、高周波の印加されているコイル４を
通るためにイオン化された蒸発物１３となる。

この蒸発物１３はイオン化されており、従来の場合には
被着物６に到達するまでに不純物と結合してイオン化を
保持している蒸発物１３の量がかなり減少するが、本考
案によれば、照射機構１４により紫外線等が照射される
ため、イオン化の保持量が増加し、被着物６への付着速
度が早くなる。

また、紫外線等は同時に被着物６へも照射されるが、そ
のために蒸発物１３が被着物６に強く付着し、剥離し難
くなる。

以上の通り、本考案によれば、製造が早くなりしかも蒸
発物の付着強度が上昇するので均一な層が形成され取り
扱いが容易な金属積層フィルムを製造できるイオンブレ
ーティング装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

図は本考案の実施例の機構図を示す。 １・・・チャンバー、２・・・蒸発物、３・・・蒸発用
電源、４・・・コイル、５・・・高周波発生電源、６・
・・被着物、７・・・供給ローラー ８，９・・・ガイ
トローラ−１１０・・・巻取ローラー、１１・・・電
極、１２・・・直流電源、１３・・・イオン化された蒸
発物、１４・・・照射機構、１５・・・真空ポンプ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. イオンブレーティング装置に釦いて、イオン化された蒸
   発物および被着物に紫外線又は遠紫外線を照射しうる機
   構を有することを特徴とするイオンブレーティング装置
   。