JPH038611A - ウェーハ搬送装置 - Google Patents
ウェーハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH038611A JPH038611A JP1140598A JP14059889A JPH038611A JP H038611 A JPH038611 A JP H038611A JP 1140598 A JP1140598 A JP 1140598A JP 14059889 A JP14059889 A JP 14059889A JP H038611 A JPH038611 A JP H038611A
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- JP
- Japan
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- wafer
- clicks
- claws
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- pair
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- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 31
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 47
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Chain Conveyers (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェーハを搬送するウェーハ搬送装置に関する
。
。
従来、ウェーハ搬送装置には、用途によりウェーハをカ
セットに収納し、カセットごと搬送する方式とウェーハ
単体を搬送する方式がある。前者は主に製造装置間の搬
送に用いられ、後者は製造設備内に比較的多く用いられ
ている。
セットに収納し、カセットごと搬送する方式とウェーハ
単体を搬送する方式がある。前者は主に製造装置間の搬
送に用いられ、後者は製造設備内に比較的多く用いられ
ている。
ウェーハ単体で搬送するウェーハ搬送装置は、従来、ベ
ルト式搬送装置あるいはコロ面を搬送機構に用いたロー
ラ搬送装置を使用していた。
ルト式搬送装置あるいはコロ面を搬送機構に用いたロー
ラ搬送装置を使用していた。
しかしながら、従来のベルト式搬送装置あるいはローラ
搬送装置では、搬送面とウェーハ面が接触するので、ウ
ェーハの表面にごみが付着し易いという欠点がある。ま
た、ウェーハが搬送面よりすべり落ちるという欠点もあ
る。さらに、ウェーハの面に疵が発生する欠点がある。
搬送装置では、搬送面とウェーハ面が接触するので、ウ
ェーハの表面にごみが付着し易いという欠点がある。ま
た、ウェーハが搬送面よりすべり落ちるという欠点もあ
る。さらに、ウェーハの面に疵が発生する欠点がある。
本発明の目的は、かがる問題を解消するウェーハ搬送装
置を提供することである。
置を提供することである。
本発明のウェーハ搬送装置は、切欠きを互いに向き合せ
てウェーハの側面を挟んで保持する板状の爪片と、この
爪片の両側面に取り付けられるとともに爪を互いに引き
合わせるスプリングと、前記爪片の一端に取り付けられ
た突起部と前記爪片に隣接する前記切欠きの向きの異な
る爪片の一端に形成された案内溝とではめ合う手段を備
え構成され、このはめ合う手段により、多数個の前記爪
片を並べて継なげられるとともに前記爪片を前記爪片が
並らべる方向に開閉することを行なっている。
てウェーハの側面を挟んで保持する板状の爪片と、この
爪片の両側面に取り付けられるとともに爪を互いに引き
合わせるスプリングと、前記爪片の一端に取り付けられ
た突起部と前記爪片に隣接する前記切欠きの向きの異な
る爪片の一端に形成された案内溝とではめ合う手段を備
え構成され、このはめ合う手段により、多数個の前記爪
片を並べて継なげられるとともに前記爪片を前記爪片が
並らべる方向に開閉することを行なっている。
次に、本発明について図面を参照して説明する
第１図（ａ）及び（ｂ）は本発明による一実施例を示す
ウェーハ搬送装置の平面図及びＡＡ断面図である。この
ウェーハ搬送装置は、第１図（ａ）及び（ｂ）に示すよ
うに、Ｖ字状に切欠いた切欠きを互いに向き合せてウェ
ーハ２の側面を挟んで保持する板状の爪１ａ及び１ｂな
よる爪片と、この爪片の両側面に取り付けられるととも
に爪片を互いに引き合わせるローラ６で取付けられたス
プリング５と、爪片の一端に取り付けられた突起部であ
る抜は防止つきの段付きのビン３と、爪片に隣接する切
欠きの向きの異なる爪１ｃ及び１ｄによる爪片の一端に
形成された案内溝４とではめ合い機構を備え、このはめ
合い機構により多数個の爪片を並べて継なげられるとと
もに爪片を並らべる方向に爪片が開閉するように形成さ
れている。
ウェーハ搬送装置の平面図及びＡＡ断面図である。この
ウェーハ搬送装置は、第１図（ａ）及び（ｂ）に示すよ
うに、Ｖ字状に切欠いた切欠きを互いに向き合せてウェ
ーハ２の側面を挟んで保持する板状の爪１ａ及び１ｂな
よる爪片と、この爪片の両側面に取り付けられるととも
に爪片を互いに引き合わせるローラ６で取付けられたス
プリング５と、爪片の一端に取り付けられた突起部であ
る抜は防止つきの段付きのビン３と、爪片に隣接する切
欠きの向きの異なる爪１ｃ及び１ｄによる爪片の一端に
形成された案内溝４とではめ合い機構を備え、このはめ
合い機構により多数個の爪片を並べて継なげられるとと
もに爪片を並らべる方向に爪片が開閉するように形成さ
れている。
第２図及び第３図は第１図に示すウェーハ搬送装置のウ
ェーハを着脱する動作を説明するための部分斜視図であ
る０次に、このウェーハ搬送装置の動作を説明する。ま
ず、ウェーハを搭載し搬送するには、第２図に示すよう
に、ウェーハ搬送装置の爪片がウェーハ２を搭載すべき
位置に送られて停止する０次に、板カム８が矢印１０ａ
の方向に下降し、ローラ６に接触する。さらに下降する
ことにより爪片は二つのローラ６間が押し拡げられるに
つれて爪片も開く０次に、ニジエフタフに搭載されたウ
ェーハ２が、矢印９ａの方向で上昇し爪１ａと１ｂの間
に挿入されて停止する０次に、第３図に示すように、板
カム８が矢印１０ｂの方向に上昇するにつれて、スプリ
ング５の復元力でウェーハ２の側面を爪１ａ及び１ｂの
間が狭くなり、この爪１ａと爪１ｂでウェーハ２を挟み
保持する。
ェーハを着脱する動作を説明するための部分斜視図であ
る０次に、このウェーハ搬送装置の動作を説明する。ま
ず、ウェーハを搭載し搬送するには、第２図に示すよう
に、ウェーハ搬送装置の爪片がウェーハ２を搭載すべき
位置に送られて停止する０次に、板カム８が矢印１０ａ
の方向に下降し、ローラ６に接触する。さらに下降する
ことにより爪片は二つのローラ６間が押し拡げられるに
つれて爪片も開く０次に、ニジエフタフに搭載されたウ
ェーハ２が、矢印９ａの方向で上昇し爪１ａと１ｂの間
に挿入されて停止する０次に、第３図に示すように、板
カム８が矢印１０ｂの方向に上昇するにつれて、スプリ
ング５の復元力でウェーハ２の側面を爪１ａ及び１ｂの
間が狭くなり、この爪１ａと爪１ｂでウェーハ２を挟み
保持する。
次に、エジェクタ７が矢印９ｂの方向に下降するととも
に、次の爪片がニジエフタフの上に送られ停止する。エ
ジェクタ７は別のウェーハが移載される。次に、前述と
同様に爪片はウェーハを掴み保持する。このように、順
次ウェーハを掴み保持し、所定の場所に搬送する。
に、次の爪片がニジエフタフの上に送られ停止する。エ
ジェクタ７は別のウェーハが移載される。次に、前述と
同様に爪片はウェーハを掴み保持する。このように、順
次ウェーハを掴み保持し、所定の場所に搬送する。
次に、ウェーハ２をこのウェーハ搬送装置より離脱する
場合は、逆に、第３図に示すように、ウェーハ２を掴み
保持する爪片が位置決めすべき位置に搬送されてきたと
き、まず、第２図に示すように、エジェクタ７が上昇し
、ウェーハ２にその先端が接触する１次に、板カム８が
矢印１０ａの方向に下降し、ローラ６間を押し拡げ、ウ
ェーハ２を爪１ａ及び１ｂから開放する。次に、エジェ
クタ７は矢印９ｂの方向に下降する。このように順次送
られてくるウェーハ２を離脱させる。
場合は、逆に、第３図に示すように、ウェーハ２を掴み
保持する爪片が位置決めすべき位置に搬送されてきたと
き、まず、第２図に示すように、エジェクタ７が上昇し
、ウェーハ２にその先端が接触する１次に、板カム８が
矢印１０ａの方向に下降し、ローラ６間を押し拡げ、ウ
ェーハ２を爪１ａ及び１ｂから開放する。次に、エジェ
クタ７は矢印９ｂの方向に下降する。このように順次送
られてくるウェーハ２を離脱させる。
ここで、図面には示されていないが、この爪片が多数個
連・結されているチェーン状の送り機構は、例えば、チ
ェーンとスプロケットによる搬送機構を用いて直線的に
送れば良い、この実施例では、ウェーハを確実に掴み搬
送するので、従来のベルトあるいはローラによる機構を
もつ搬送装置に比し、よりウェーハの位置決め精度の高
いという利点がある。
連・結されているチェーン状の送り機構は、例えば、チ
ェーンとスプロケットによる搬送機構を用いて直線的に
送れば良い、この実施例では、ウェーハを確実に掴み搬
送するので、従来のベルトあるいはローラによる機構を
もつ搬送装置に比し、よりウェーハの位置決め精度の高
いという利点がある。
以上説明したように本発明は、ウェーハの側面を挟み確
実に保持して搬送することによって、ウェーハと搬送面
とのすべりによるウェーハ表面へのごみの付着や、疵の
発生及びウェーハの落下を起すことのないウェーハ搬送
装置が得られるという効果がある。
実に保持して搬送することによって、ウェーハと搬送面
とのすべりによるウェーハ表面へのごみの付着や、疵の
発生及びウェーハの落下を起すことのないウェーハ搬送
装置が得られるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）及び（ｂ）は本発明による一実施例を示す
ウェーハ搬送装置の平面図及びＡＡ凹断面第２図及び第
３図は第１図に示すウェーハ搬送装置のウェーハを着脱
する動作を説明するための部分斜視図である。 １ａ、１ｂ、１ｃ、ｌｄ・・・爪、２・・・ウェーハ、
３・・・ビン、４・・・案内溝、５・・・スプリング、
６・・・ローラ、７・・・エジェクタ、８・・・板カム
、９ａ、９ｂ、１０ａ、１０ ｂ−・・矢印。
ウェーハ搬送装置の平面図及びＡＡ凹断面第２図及び第
３図は第１図に示すウェーハ搬送装置のウェーハを着脱
する動作を説明するための部分斜視図である。 １ａ、１ｂ、１ｃ、ｌｄ・・・爪、２・・・ウェーハ、
３・・・ビン、４・・・案内溝、５・・・スプリング、
６・・・ローラ、７・・・エジェクタ、８・・・板カム
、９ａ、９ｂ、１０ａ、１０ ｂ−・・矢印。
Claims (1)
- 切欠きを互いに向き合せてウェーハの側面を挟んで保持
する板状の爪対と、この爪対の両側面に取り付けられる
とともに爪を互いに引き合わせるスプリングと、前記爪
対の一端に取り付けられた突起部と前記爪対に隣接する
前記切欠きの向きの異なる爪対の一端に形成された案内
溝とではめ合い多数個の前記爪対を並べて継なげるとと
もに前記爪対を前記突起物と案内溝により前記爪対が並
らべる方向に開閉することを特徴とするウェーハ搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1140598A JPH038611A (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | ウェーハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1140598A JPH038611A (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | ウェーハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH038611A true JPH038611A (ja) | 1991-01-16 |
Family
ID=15272426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1140598A Pending JPH038611A (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | ウェーハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH038611A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5484252A (en) * | 1993-02-22 | 1996-01-16 | Seiko Instruments Inc. | Sample holding apparatus |
| US6578893B2 (en) * | 2000-10-02 | 2003-06-17 | Ajs Automation, Inc. | Apparatus and methods for handling semiconductor wafers |
-
1989
- 1989-06-02 JP JP1140598A patent/JPH038611A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5484252A (en) * | 1993-02-22 | 1996-01-16 | Seiko Instruments Inc. | Sample holding apparatus |
| US6578893B2 (en) * | 2000-10-02 | 2003-06-17 | Ajs Automation, Inc. | Apparatus and methods for handling semiconductor wafers |
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