JPS594441Y2 - 電子顕微鏡用試料加熱装置 - Google Patents
電子顕微鏡用試料加熱装置Info
- Publication number
- JPS594441Y2 JPS594441Y2 JP8324179U JP8324179U JPS594441Y2 JP S594441 Y2 JPS594441 Y2 JP S594441Y2 JP 8324179 U JP8324179 U JP 8324179U JP 8324179 U JP8324179 U JP 8324179U JP S594441 Y2 JPS594441 Y2 JP S594441Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- heating furnace
- heating device
- electron microscope
- rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子顕微鏡に用いられる試料加熱装置に関する
。
。
試料を光軸方向から挿入するトップエントリータイプに
おける試料加熱装置としては次の様な事が要求される。
おける試料加熱装置としては次の様な事が要求される。
（１）試料が対物レンズの磁極片内部におかれるため、
加熱装置はできるだけ小型にすること。
加熱装置はできるだけ小型にすること。
（２）加熱装置から試料筒にへの熱の伝達が少いこと。
（３）加熱装置の保守９点検が容易で、試料の交換が簡
単であること。
単であること。
（４）試料の加熱時に試料のドリフトが発生しないこと
。
。
しかして従来においては試料筒の下端の内側に数個のル
ビー球を介して加熱炉を取り付け、この加熱炉の内部に
試料を着脱可能に装填するようになした構造のものが使
用されている。
ビー球を介して加熱炉を取り付け、この加熱炉の内部に
試料を着脱可能に装填するようになした構造のものが使
用されている。
しかし乍ら斯様な構成においては前述した（１）項と（
２）項の要求を満足することはできるが、（３）項及び
（４）項の要求を満足することができない。
２）項の要求を満足することはできるが、（３）項及び
（４）項の要求を満足することができない。
つまりルビー球の試料筒への取り付けに際し、試料筒の
下端に数個のルビー球の径よりも大きなネジ穴を形成し
、この各ネジ穴内にルビー球を夫々挿入した状態で、こ
のルビー球を押しネジにより押圧することにより数個の
ルビー球によって加熱炉を挟持するように構成しなけれ
ばならないため、加熱炉の分解５組立てが厄介であり、
従って加熱炉の保守９点検が困難となり、且つ、試料の
加熱炉内への挿脱が厄介になる。
下端に数個のルビー球の径よりも大きなネジ穴を形成し
、この各ネジ穴内にルビー球を夫々挿入した状態で、こ
のルビー球を押しネジにより押圧することにより数個の
ルビー球によって加熱炉を挟持するように構成しなけれ
ばならないため、加熱炉の分解５組立てが厄介であり、
従って加熱炉の保守９点検が困難となり、且つ、試料の
加熱炉内への挿脱が厄介になる。
又加熱炉をルビー球で挾持させる際、加熱炉の中心を光
軸に合致させることは非常に困難であるため、試料の加
熱時に試料のドリフトが生じ、高分解能の像を得ること
ができなくなる。
軸に合致させることは非常に困難であるため、試料の加
熱時に試料のドリフトが生じ、高分解能の像を得ること
ができなくなる。
本考案は斯かる不都合を解決することを目的とするもの
で、以下図面に基づき詳述する。
で、以下図面に基づき詳述する。
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ断面図であり、１は試料筒である。
１図のＡ−Ａ断面図であり、１は試料筒である。
該試料筒１の上部はテーパー状に加工され、該テーパ一
部が図示外の対物レンズ上に移動可能に載置された試料
移動台２の受部３に挿入、保持される。
部が図示外の対物レンズ上に移動可能に載置された試料
移動台２の受部３に挿入、保持される。
又該試料筒１の下端には第２図に示すように３個のＶ字
状溝（以下単に■溝と称す）４ ａ 、４ｂ、４Ｃが放
射状に設けである。
状溝（以下単に■溝と称す）４ ａ 、４ｂ、４Ｃが放
射状に設けである。
該各Ｖ溝の軸心の延長線は試料筒１の軸心（光軸Ｚ）上
で交叉し、しかも各■溝は略等間隔に形成されている。
で交叉し、しかも各■溝は略等間隔に形成されている。
５は前記試料筒１の下部の中央部分におかれる環状の加
熱炉で、該加熱炉には加熱ヒーター６が組み込まれてお
り、又該加熱炉５の下端の中央部分にはスナップリング
７等により試料８が取り外し可能に装填される。
熱炉で、該加熱炉には加熱ヒーター６が組み込まれてお
り、又該加熱炉５の下端の中央部分にはスナップリング
７等により試料８が取り外し可能に装填される。
更に該加熱炉５の外周部には前記■溝４ ａ 、４ ｂ
、４ Ｃ内に夫々嵌合するルビー等の如き熱絶縁体製
の棒体９ａ、９ｂ、９Ｃが植設してある。
、４ Ｃ内に夫々嵌合するルビー等の如き熱絶縁体製
の棒体９ａ、９ｂ、９Ｃが植設してある。
該各棒体の軸心の延長線は加熱炉５の軸心（光軸Ｚ）上
で交叉する。
で交叉する。
１０は該各棒体９ ａ 、９ ｂ 、９ Ｃを各Ｖ溝４
ａ、４ｂ、４Ｃに下側から押し付は畝溝より外れるのを
防止するための皿バネで、該皿バネは前記試料筒１の下
端に螺着されたキャップ１１内に保持される。
ａ、４ｂ、４Ｃに下側から押し付は畝溝より外れるのを
防止するための皿バネで、該皿バネは前記試料筒１の下
端に螺着されたキャップ１１内に保持される。
１２は試料筒１に固定された反射板である。
以上の如く本考案においては加熱炉の側面に試料筒に設
けた■溝に係合する棒体を植設する構造であるため、加
熱炉の小型化をはかることができ、且つ加熱炉と試料筒
との間を熱的に遮断することができる。
けた■溝に係合する棒体を植設する構造であるため、加
熱炉の小型化をはかることができ、且つ加熱炉と試料筒
との間を熱的に遮断することができる。
又キャップをはずすだけで、加熱炉を試料筒から取り外
すことができるため、加熱炉の保守９点検を容易に行う
ことができ、又試料の交換が簡単に行える。
すことができるため、加熱炉の保守９点検を容易に行う
ことができ、又試料の交換が簡単に行える。
更に該加熱炉が熱膨張しても各棒体９ａ、９ｂ、９Ｃは
光軸Ｚを中心にして放射状におかれた■溝４ ａ 、４
ｂ 、４ Ｃに沿って移動するため、加熱炉の軸心が
光軸からずれることはない。
光軸Ｚを中心にして放射状におかれた■溝４ ａ 、４
ｂ 、４ Ｃに沿って移動するため、加熱炉の軸心が
光軸からずれることはない。
従って試料のドリフトを防止することができるため、試
料の加熱状態を高分解能で写真撮影することが可能とな
る等、実用性大なる効果を有する。
料の加熱状態を高分解能で写真撮影することが可能とな
る等、実用性大なる効果を有する。
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ断面図である。 １：試料筒、２：試料移動台、３：受部、４ａ乃至４Ｃ
：■字状溝、５：加熱炉、６：加熱ヒーター、７：スナ
ップリング、８：試料、９ａ乃至９Ｃ：棒体、１０：皿
バネ、１１：キャップ、１２：反射板。
１図のＡ−Ａ断面図である。 １：試料筒、２：試料移動台、３：受部、４ａ乃至４Ｃ
：■字状溝、５：加熱炉、６：加熱ヒーター、７：スナ
ップリング、８：試料、９ａ乃至９Ｃ：棒体、１０：皿
バネ、１１：キャップ、１２：反射板。
Claims (1)
- 試料筒の内側に試料を保持した加熱炉を熱的に遮断した
状態で取り付けるようになした試料加熱装置において、
前記試料筒の下面に光軸を中心にして放射状に延びる少
なくとも３個の溝を形成し、該谷溝内に嵌合され且つ軸
心が試料筒軸心と直交するようにおかれた棒体を前記加
熱炉の外周に取り付け、該棒体を前記溝に下側から押し
つける手段を設けてなる電子顕微鏡用試料加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8324179U JPS594441Y2 (ja) | 1979-06-18 | 1979-06-18 | 電子顕微鏡用試料加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8324179U JPS594441Y2 (ja) | 1979-06-18 | 1979-06-18 | 電子顕微鏡用試料加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS561360U JPS561360U (ja) | 1981-01-08 |
| JPS594441Y2 true JPS594441Y2 (ja) | 1984-02-08 |
Family
ID=29316450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8324179U Expired JPS594441Y2 (ja) | 1979-06-18 | 1979-06-18 | 電子顕微鏡用試料加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS594441Y2 (ja) |
-
1979
- 1979-06-18 JP JP8324179U patent/JPS594441Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS561360U (ja) | 1981-01-08 |
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