JPS5946609A - 多色光学フイルタ−の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は多色光学フィルターの製」１覧方法に関する。

１１７に本発明はカラー撮像管やカラー固体撮像素子″
τに用いらλしる多色光学フィルターの製造方ン′ムに
ト１］する。

カラー撮像管、あるいはカラー電荷結合素子（ＣＯＤ）
、カシ−１（、イ；パ」注入！く子（ＣＩＤ　）で代表
されるカン−固体ｆａｔ　ｉ’ｌ　：（−子Ａ９にはモ
ザイク状やストライプ状の多色光学ノイルターが用いら
れている。

通常、多色光学フィルターを１赤、緑、庁あるいはシア
ン、グＩＪ−ン、イエｊ、Ｉ　−、ホワイトカ規則的に
ストライプ状！；）るいは・Ｔ：ザイク状に配列したも
のであるが、色４’ｉ゛・１成はこれらに１！ｌ（られ
ず、２色のものや４色、１１）る℃・はそれ以上のもの
もある。

多色光学フィルクーを有するカラー固体撮像素子を製造
するには一般に貼り七せ法とオンウエノ・ｉ４ｊ、とが
知らＡ１ている。ｆ３ｆＪ者はガラス等の透明支持体上
に固体撮（ｙ、　、；Ｍ、Ｈ子の各画Ｊモに対応（７て
・３色光学ノーイルターを形成１−１これを固ｆ月・“
ｔ＞　（”ｊ檄：＜子基板にｐ石ノン′ＴＪ≦またるこ
とによって？ｊ　、１ンれろ。一方、ｒＪ巧者を］１、
同体撮１１ζ素子卑、：ｉｙ；Ｅ　、上に直接多色光学
フィルターな形成することにＪ、って行われる。

いづれのＩＡ）行にあっても、これらの基板にで！−邑
光学フイルターを形成させる方ｌしの一つどし２て、基
板上に感光性ン１″、゛リマ一層を設け、これをマスク
路光とウオ／ユオフ処理（現像）によって固体１’、Ｉ
（３（、’４＋　（＜子の画７−（３に対応したモザイ
ク状又はストライプ状のレリーフを形成し、これを各！
１テ定σノ染５゛（１で１イア色する工程をくり琶１力
法が行わ４Ｉている。この方法は操作が比較的ｆ７ｆ）
弔で有利な方ｌ′ムであるが、次のような欠点がある。

ずブよ１）［）、この方ｌ、ｋにおいては上記上程をく
り返えし行う、ｊ４．３　合に、処理中に、前の上値で
・（ン色されたレリーフから染料がｉＹＪ出して第２の
レリーフを染色しＣ次の染色工程で混色の原因となった
り、＞ｉ’＞　２の染色時に栄利力稿）２のレリーフの
みならずｊ）ＩＪの染色されたレリーフをも染色し混色
を生−）°ろ等の問題があった。

これを防止するために、５１３色レリーフを形成した後
レリーフ上に中間層をｉｆ！Ｅ　＆、Ｉ’たり、？１（
シ処理したりする方γ、Ｊ９が知られてオ６す、更に染
色レリーフを形成した鏝にタンニンＣ・１でと酢酸の水
溶液と酒石酸アンデモニルカリウム水〆−ｉｄｋで処理
する方法（特開昭５５−２５０６７号公報が提案されて
いる。

これらの方法のうも後者の方法は中間層を設ける方法に
比して簡単な方法であるが、２つの浴で順次処理する必
要があるので処理エイソが複雑で、コントロールもう・
１ｌｌＬで点がある。

本発明者はこれに代る防ｉｉに処理についてイ・１々検
討を行なった結果、防染剤として芳香族スルフォン酸の
縮合高分子化合物の酸性水溶液を用いることにより、−
回の処理で効果的に防≦（１８処理を行うことができる
ことを見い出し、本発明を完成させブこ。

防染効果を有しているが、場合によっては防染処理後、
レリーフ面にレチキレーションあるいは１／　ＩＪ−フ
のナイト゛エツチングのような現象が生ずイ）ことがあ
るが、この現象は、防え（２処理を行う前に、レリーフ
を１５０Ｃ〜１８０ｔ、’に３０分以上加熱ずろことに
よって完全に防止ずイ）ことかできｌこ。

従って本発明の第１の態（・道は基板上に月？リマーレ
リーフをモザイク状又はストライプ状に形成した後、こ
れをＪツ１定の分光１１￥性をイｊする染１１で染色す
る工程を少なくとも２回繰返すことからなる多色光学フ
ィルターの製造方法において、前の工（°シで東急され
たポリマーレリーフを芳Ｒ）ｊ３；スルホン１１シの縮
合高分子化合物の酸性水溶液で処理することを′１！Ｉ
−徴と１−る多色光学フィルタの製造方法て゛あり、第
２の態様は基板上にポリマーレリーフをモザイク状又Ｑ
上ストライプ状に形成した後、これを所定の分光！１′
ｒ性を有する染料で染色する工程を少なくとも２回繰返
すことからなる多色光学フィルターの製造方法において
、前の工程で染色されたポリマーレリーフを１５０Ｕ〜
１８０Ｃで６０分以上加熱した後、芳香族スルホン酸の
縮合高分子（ＩＺ合物の酸↑Ｌ水４′す液で処理するこ
とを特１°シ“（とする多色光学フィルタの製造方法で
、（７る。

以下、本発明を添伺図面に示す１ｊ沈１＝１について説
明する。

第１図（ａ）〜（ｇ）は本発明により多色光学フィルタ
ーを製造する工程を示す説明であって、第１図（０）に
示すように、透明ガラス又はシリコンウエノ・−の如き
基板１に［＜’ｌえば重クロム闇ゼラチンの如きフォト
レジストよりなる感光性樹脂膜２を厚さ約２０００Ｘ〜
１５，０ＯＯＡにｉ【るように設ける。。

この樹脂１］（＼を所定のモザイク状又はストライプ状
パターンを有するマスク（図示せず）を・白して紫外＋
ｉ４露光ろし、：！Ｊ）、　ｆ’＃　（ウオシオ７）す
ることによって第１図（１））に示す如きモザイク状又
はストライプ状のレリーフ４を形成させる。次にｆｌＪ
えばイエローの染ネ・［を含む溶液で処理し、ｆ′ｆロ
１ネＩ　（ｃ）に示す如くレリーフ５をイエロー染料で
染色する。

次いで、本発明に従い、例えばバイエル社が商品名１＆
５ｉｔｏｌ　ＮＢＳ　１ｉｑｕｉｄとして販売している
芳香族スルホン酸の縮合高分子化合物の酸性水溶液゛へ
（“１色ごねたレリーフ５を処理し、；ｆ己１１２１（
ｃ］）に示３−（・１１２！混色防止処理の力ｉ１ｉさ
れ）、−染色レリーフ６を１゛ｉイ）。このＪ：′Ｊ合
の酸性水溶液としこはｐ）ｌ　５，５以下、Ｑ！］ニ／
４．５以下（７）酢酸水ｉ’ｉ’ｉ　’ｌ＋Ｖ、　ト］
’　７．＋　コとがＩ：ｊ４しい。４［た、前記したよ
うに、」１．）合（１（−よつ”Ｃは、防染処理後レリ
ーフ面にレチギレーションがあるいはツーイト゛エッヂ
現象が生ずることがあるので、防染処理な１ｊう前に、
染色レリーフを１５［）Ｃ〜１１３［ＪＣでろ０分以上
加熱処理することが好ましい。このようにＪ−ることに
よつ゛〔レチキレーション声）るいはザイドエツブーの
発生を防ぐことができる。

次いで上記工Ｒｊ　イど以下のようにくりｄスえず。ず
／、ｃわり、　ｉ、ｔｙ色さＡし且つ混色防止さ」した
レリーフ６を１１ずろ基板１上に第１図（（Ｎ）に示す
如く爪クロノ、１“ｒｊＺゼラチンの如き感光１’＋−
，１４’　＋Ｊ″マ一層７を設け、第２の一］−リ゛イ
ク状又はストライプ状パターンを有するマスクを通して
紫外１ｊｉｊ　＋：・ン（光し、現像することによ−Ｔ
）　−７−；ｊ日商（ｒ）にンにす如く染色レリーフ乙
に隣接して第２のしｌルーフ８を形成さぜる。上ＭＬの
現像処理は温水又は弱酸１コ１．０温水中で行うが、上
１．［；の如き防染処理が１ｉｆＪさ」１ていないと、
−「１染色されたレリーフから一部の染１１が・“ＩＬ
　［ｌｌ液中に溶出してＩ；ン色効果を低下させろばｈ
・りで）Ｉ：＜、このｌｊ４　’Ｉ’ｌが新たに形成さ
れたレリ　フ４・染色ｔ２、次ｏ）］ニ稈で他の桑科で
γｊ−色する１４．１．合に混色を生ずることにｌ、ｃ
ろ。し、かしながら、１−記θ）ｌ１１区防叶ご処理を
行った、鳴合には」二記の如く！・【ご４ｉが溶出する
ことが防止されろ。

上記の如くｌ〜で形成さねたレリーフ８を次いで他の染
料、イ′すえばシアン７／ＩＪ旧に、１、って染色【−
１；１５１図（ｇ）に示す／！Ｉ＋　＜シアンに（（−
・色されたレリーフ９をイする。上記の！（！色番よ、
シアン染料の水溶液中で行わＪｔろが、イエｒ１−に染
色されたレリーフな防染処理しない場合（Ｉｔｌ　Ｆ、
ｌ’、、シアン染料がイエローに染色さ」げ、ニレリー
フをも？（ｌ、色し、混色を生じたり、この」局舎にも
イエロー染、（′（が（Ｆｒ出してシアン・（ｆ料で染
色ずべきレリーフにニ（゛ト着Ｉ−て混色を生ずること
になるが、上記の如き防ｒ（！４″１理を行うことによ
りこのような混色の発生を防止することができるつ次い
で、上記工程（ｇ）で得られたレリーフ９にも混色防止
処理を行うため、」二記レリーフ９について−Ｊｌ　ｆ
ｔｌ：ど同様な防染処理を行い、次の染色工程（ｆａｌ
ｌえばマゼンタ）を行うこともできる。この場合レリー
フ６を１■■度防染処理されろ１、最終的の染色レリー
フも、次俊の処理での染色の安定性のために防染処理イ
ぐしておくことが１．’ｆ庄■７い。

第２図を、１、本゛Ｉ６明により形成されるレリーフパ
ターンのｆｌｌ＋のｆＱＩ３４Ｊを示すもので、例えば
上記の如くにしてイエローに染色され、防染処理さＪｌ
だレリーフ１２を形成した後、シアンレ１月−フ１３を
その一部１４が重なるように形成させ、２回の染色」二
１′ｔでイエロー、シアン　ｌ　１７−ン（中すつｊこ
部分）を形成すて）ことができる。又、この鳴合、レリ
ーフの仔在しない部分１５を作れば白色に相当する部分
を形成することができる。この」７↓ｈ合にも、ＡｉＴ
　２回目で形成したシアン染色レリーフを上記σ゛）如
く防ｉｉＱ処理を行い、次の染色工程（例えばマゼンタ
）を行うこともできる。

本発明で用いる基鈑としては透明ガラスであっても、す
でに画素が形成されたシリコンウニ・・−等の固体撮像
素子ウェハーであってもよい。

本発明で用いられる感光性、１’、’　ＩＪママ−して
はゼラチン、カゼイン、魚肥、ン１？リビニルアルコー
ル等に重クロム１賀塩やクロム酸塩を添加したものが用
いられる。このような感光性ポリマ一層は例えばスピン
コーディング等により塗布することができる。

木イ１）明において、上記感光性、Ｉ？　＋）マーより
形成されたレリーフパターンを染色するのに用いられる
染料としては、酸性ｇ４ｖ　＄−）、直接染料、反応性
染料等がある。具体的には、例えば、ｒｆ’？性染料と
してはカヤノール・イエローＮ　Ｇ　Ｓ　（Ｃ，１，Ａ
ｃ１ｄｙｅ１．１ｏｔｖ　１１０ｒ　　日本化ピ１古（
株１）、ｉｊｉ、′７　）、スミノール・７　／−ス１
−−イｘ　ローＧ　（Ｇ　、Ｉ　Ｊｃｌ＜３　ｙｅｌｌ
、ｏｗ　６１゜住友化学工業（抹）製）、スミノール・
ファースト・レツ１．゛ｅ　（Ｃ，Ｉ　、Ａｃ１（ｉ　
Ｒａ（ｌ　ｌ　１８．住友化学工業（株）製）、カヤノ
ール・ミーリング・レッドＲ０Ｓ（Ｇ、Ｉ、Ａｃ１ｄ　
Ｒｅｄ、１１４．日本化塾（株）製）、ダイアジッド・
ファースト・レッド３ＢＬ（Ｃ０Ｉ。

Ａｃｊ、ｄ　ＲＯ＋］　ｉ　５８．　　三菱化成工業（
抹）製）、／　’）プリン・グリーン（Ｃ０Ｉ　、Ａｃ
１ｄ　Ｇｒｅｅｎ　９．東京化成上、漬（佳）ψソ）、
ブリリアント・・インド・ブルー５　Ｇ　（ＧＪ　、Ａ
ｃ１ｄ　Ｂｌｕｅ　１０５＋　ヘキストｔＬ？ニー’り
、カヤノール・ザイアニン６　Ｂ　（Ｃ０Ｉ　、Ａｃ１
（１１３］、ｕｅ　８３゜［１木化、Ｉ、ｊ５　（株）
製）、アシッド゛・ンアニン７８　Ｆ　Ｈ（ＣＪ、Ａｃ
」、ｒＴ　Ｌ３．Ｌｕｅ　１００ｒ　　床土ケ谷化イイ
上工業（抹）（Ｎ　）、等が、直接染料としてはグイレ
フト・ファースト・イエＬｌ　−Ｃｒ　Ｎ　（Ｇ、Ｉ　
、Ｄｉｒｔ＞ｃｔ、　Ｙｅｌ、１ｏｗ　８５゜１１本化
り；〜（株）製）、スミライトレツｌ−゛４　Ｂ　（Ｃ
。

１　、Ｄｊ　ｒｅｒ　ｔ、　１１ｐ、＋３８１．住友化
学工業（株）製）、力Ｙラス・スプン・ブルー　ＢＷＬ
　（Ｃ０１，Ｄｉｒｅｃｔ、　Ｂｌｕｅ２５７、Ｆ１本
化２ｊ、；ご（１′（、）製）、アイゼン・グリーンＧ
　Ｘ　（Ｃ，１，Ｄｉ、ｒａｃｌ；　Ｇｒｐｅｎ　８＋
　　４Ｊ”、友化学土バ（ＩＩＯ製）　、３；；；が、
又反応性染イ′−１どしては、プロジン・ブリリアント
・レット”ＣＤ　（Ｃ，１，ｉｉ（、ｙａ、ｃｔ−ｊ、
ｖｏｌ、（ｅｃｌ、　６ろ。

二菱ｆヒ成土業（株）製）、ミカン〕ン・グリーン２Ｂ
　Ｓ　（Ｃ，ｊＩ（ｅａｃｔｉｖｅ　Ｇｒｅｅｎ　７．
日本化薬（株）製）、スミフィックス・ネービーブルー
Ｒ（Ｕ、Ｉ。

Ｒｒａｃｔｉｖｅ　Ｂｌｕｅ　２０．　　住友化学工業
（佳）製）、／、Ｃどがある。これらは７］Ｘ独で用い
ても二１申以上の組合Ｖで用いてもよい。

本゛・Ｉ−明におい゛（用いられる１（υ中剤は、芳−
？Ｊｔへこスルホン酸の縮合高分子化合′１４７の酸性
水（ｉ￥液でｔ）るが、）？古族スルホ７１’２はＩｆ
　：Ｆ　Ｌ、−（＆；’ｔ、　分子−内に１〜４個のス
ルホン、−７３基を有し７、どくに−Ｆ、：：合によつ
Ｃはｌｉ、７．換基を有ずイ）ベンゼンニドノ、−はナ
フタレンから、：ｂ導されるものが好ｒトしい。好まし
い芳？？族スルホン酸の縮合高分子化合′＋’＝Ｉは次
の一般式％式％） 式中Ｒはベンゼンニドたはナフタレン系の基を、らられ
し、Ｘは水［１叱、ｌ、ｌ、；　；ハロゲン、＋、ｂ　
；　ｃ　１〜Ｃのアルギル；（じＯＯＨ；Ｃ，〜Ｃ４の
アルコキシ；Ｃ１〜Ｃ４のアルキル若しくはハロゲンで
置換されてい−Ｃも１′先いフェノキシ；Ｃ１〜Ｃ４の
アルキル若しくむよ・・ロゲンで１１゛イ換されていて
も良いトリアジニルアミノ（このトリアジニル基はモノ
若しくはジー０１〜Ｃ６のアルキルアミノ、モノ若しく
はジー上１−８０キシエチルアミノ、フェニルアミノま
たはスルフオニルアミノなどで１赴に置１〔・すされて
いＣも良い）； Ｙ　　　　　　　　　　　　　Ｙ １ （ＭＯ３Ｓ）ｒ、−１１−ＳＯ２−；　　！　メこ＋：
Ｉ　　（１・ＡＯ３Ｓ　）　、、−Ｒ−−−Ｃ１ｌ−Ｇ
ｌｌ−を表わしくここでＹは水；：・八〇）Ｉ、二トロ
オノ、−（よＣ１〜Ｃ４のアルキル′）゛ミノを表１）
ず）、 Ｍは水−４・ち、アルカリ金１・ａ、・ＦＩＣナトリウ
ノ・、カリウノ、）・トたはアンモニウムｉ、フイｑ　
Ｊ、　シ、ｍは［〕、１４：た（」、２を表−１）シ（
川が２の１パ１合ＸＧ、１回し−でも、（７＋、　７．
っていてもＪ：Ｌい）、１１ば１〜／ｌを；、］：４　
Ｊ）−ｊ−１゛ひ啓わ３＼れイ）化合物の少ン、ｃ　＜
ども１つと低級脂肪族アルデヒド゛のＡ・１（ＩＦ’Ｆ
生成物または、ト記一般式の化合物の少なくとべ、１つ
、上記−管式−Ｑ　ｎなＯど１、たと３゛シの化合ｑ；
）σ）少庁くとも１つ（イσ１えばＩｎが２　テ、、　
ｘ　）一方がＯ）］、　Ｘ　（１）ｌｊｌ　（＋）一方
がＹ−Ｆ（−８Ｏ２−を１．（をわ−ｔ、Ｉ−う／（場
合、具体的には４．４’−ジヒト゛ロユ）−シジ：フェ
ニルスルホンなど）及び低級１ｊｉ肋族アノ１−７ヒト
゛の縮合生成物である。

低級脂（Ｊ）ｊ　眉アルデヒビとしてはホルムアルデヒ
ドが′１ヶにグｆよしい。

スルホン６１２成分の１℃′りとしては、ナフタレン−
１゜４−ジスルホンｆｉ’：　、ナフタレン−１，５−
ジスルホンｒＩ９．．ナフタレン−１，６−ジスルホン
酸、ナフタレン−２，６−ジスルホン「１ヤ、ナフタレ
ン−１，３，６−１リスルホンｔ、’２．２−ノ・イビ
ロキシーナフクレン−６−スルホン１“３’？、’）−
ノ・−ｆ　ｌ゛ロキンナフタレン６．８−ジスルホンＩ
Ｙ’ｓ、２−ノ・イト８０キシナフタレン−Ａ、６−ジ
スルホン酸、／Ｉ−クロロ−２−トルエンスルホン／’
ｉｔ、”；’−アミノー４−スルフオ安息青酸、ジノエ
ニルエーテルスルホンｆ’ｉ’！！、シｔ・ルイルエー
テルスルポンｌ′ｌ’（、ノエノールスルホンｒｉ：ｙ
−、ナフタレンスルホンｌｆ’２．２．４−）スルホベ
ンツアルデヒ）’、４．４’−シニ）　Ｌｌスアルペン
−２，２’−ジスルホン酸、４．４’−）メチルアミノ
スチルベン−２，２’−ジスルホン酸、ビス−トリアジ
ニルアミノ−メチルＲンージスルホン酸などがある。

好ましい縮合高分子化合物はジフェニルエーテル−スル
ホン １波．７１ノールスルホン「ｉｂ　ｉたはナフタレンス
ルホン酸とポルムアルデヒドの（さらに、＋、Ｌ，　ｉ
＋，；ｉ合オイｒ　／．（　１’ハこＪ］，に加えるに
４，４′−シバイトゞロキシージンエニルースルポンと
の）縮合生成゛ｉ・′り合しく（、１・εのＩ’ｊ４で
あイ）。とくに適切な４ｉ’６合高分子化ｆ１′向はｌ
’イツ国公開時ｈ′「第１，９　６　０，６　１　６号
に１１１２・ｉ，＋５されていイ４）ようノＩ、４．４
′−シバイト９０キシジノ工ニルースルポン１モル、ナ
フタレンスルホンｊ’ｔ２　ｉ　’ｒ．＝（よフェノー
ルスルポン酸０．　２〜０．７モルおよびポルノ、アル
プヒド０７〜１．１モルの縮合生成物若しくはそのＪ４
　（　！Ｉ’ｒＫ　／Ｉ　−　７　エノールスルホン（
＋１．　０．２　５〜［Ｊ．　５−１’＝ルの縮合生成
物）、米国’ｌ　’Ｉ’　ｉγ（：　ｐｊ−ろ、２９０
，１１１弓に１１己さ才しているよう）、Ｃ４．４’−
ジヒ１，ＳｒＪギシージフェニルースルボンのスルボン
酸１七ルとホルノＮアルデヒビ０．５〜１モルの縮合生
成’Ｉ′！／Ｉ肖しく（主その塩を順次ル嘗］ることか
できる。

これＣ）の化合物のイγ在目公知であり、−ｉ’．ｌ（
は市（す９品としく入手できる。

’ｌ！１′に本−Ｑ’ｖ明に世ける芳香族スルホン酸の
縮合高分子化合物どしては例えばバイエル社からＮＢＳ
なる部品名で販売されている１，′Ｊ，．，５１戊スル
ポン酸の縮合高分子化合物を用いろことがで，）イ）。

１Ｊｋ施例１。

厚さ０．　５　ｒｑｒｓのパイレックス基板上に、厚さ
０．７μのＴ１りロム酸ービラブーンＩＨＪ＼）゛Ｃ，
八゛へを設け、この」二にＪｈ′）ｊのホトマスクを用
いて紫夕（線露光を行なった代、温水により現像し、未
シ“イ先部を溶出除去し、工・に先部に被染色性のレリ
ーフを・形成した。これを黄色シ；に料（スミノールミ
リングイエローＭＲ：住友化学工業（株）鯛）で染色し
て黄色の、レリーフを形ノｊＬｃＬだ。

次に、これを商品名：　Ｍｅｓｉｔ，ｏｌ　ＮＢＳ　　
ｌｉｑｕｉｄ（　ｔ３ａｙａｒ社製）を温湯で４０倍に
希釈し、酢酸でｐ）（４に調整したのち、４０′ｃに加
温した防染外の中で４分間性した後水洗し、し−かろ後
１５０Ｕのオーブンで３０分間乾ｌ・￥１した。

このようにして防染処理した黄色のレリーフの上に更に
黄色レリーフの形成方法と同様な方法によりシアンレリ
ーフを形成した。ここで、シアンに染色するための染料
としては、カヤノールミリングターカーズブルー６Ｇ（
日本化；ｌｉｄ；　（佳）製）をＪ目い／、二。

以上のようにして形成された色分）・１７カジーフイル
ターＧ↑１、シアン、イエロー、クリーン（シアンとイ
エローの重ｌ、「り部）、ホワイト（非レリーフ部）　
カッＪｒ、則正り、　（Ｊｌｉｊ’ｉ次配列されたイ）
のと／り′っている。名色の分光！１１ｒ件をマルチυ
１り光ν；１微４）μ・冒＼４　Ｓ　１）（ンＪリンノ
ξス（株）　製）　テ３　ｐ　ｍ　ヒームスンＩ？ツｌ
−で１ｌｊｌｌ　′）、ｉｌした１を古来、シアン、イ
エローのｉｌ、’＋色は全くｊｔｉαめＶ）れなかった
。

比較量１ 実ノ崩例１に記載した防染処理を除いた以外は実／１ｉ
ｌｉｆメｌｌ　１に従つ°Ｃ色分解カラーフィルターを
形成し、分光′１ν性を測定した結果、シアンとイエロ
ーが互いに明らかに混色を生じていた。

このことから本兄明の防染処理を行なうことにより、第
２色目のファン染色中に、第１色月の黄色レリーフにシ
アン中手−１が染まらないこと（防染１牛）及び第１色
目の黄色染不・Ｉが（容出し／、（いこと（固ｒ；ｉ′
＋　＞の効果を有することが判った。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）　〜０□）は木、Ｃ’；　ｉ、ｌｌ　ｌの
一実；ｒｆＱ　旧のプロセスを示す断面に〈１、デＩ′
！２図は本’！ｔ、’すＩｔ’）ｆｌ口の実ｔ１′１１
１夕１］を示す断１１■１図で、−る６゜ １５（１におし・て、１，１１は）、（２板、２，７は
／ｉ’ｇ　）Ｙ；性ｆ”Ｊ　＋ｉ’ｌ’ｌｊ　ｊ・：）
、４，８はレリーフ、５．６．９．１２．１３は染色レ
リーフ。 代理人　弁理士（８１０７）Ｖｉ々木　清　隆（ほか６
名） 第　　１　　図 ＠２図 手続補市書 Ｉｔ”ｆｉ４１５７　’１１［月／３１１９寺、ｉ’１
１ｊｌ−４’Ｉハ　　〕で１＋−Ａン　　相　　大　殿
（’ｌ’１１１１１１”ｉｌ’？　１能１１１・−、−
！、（ｕ）Ｙ；学フィルターの製造方θ、３、　　ｒ＋
１Ｍ　　イしｊ　’Ｊ”　’−Ｊ　、°ｊ中１’ｌと（
用ソｌ　Ｉ、ｉ郵’１．ｉ’、、目１冒１［１人１’ｌ
“ＩＪ・（ｒｉ２Ｕ）畠士ｆｆｊ真フィルム株式会社１
１、代理人 〒１１１０ １１　１’ｌｉ　　巾！＋４：ｆｌｉ’−ｒ代ｌｌ１区
ｉｆノか門３　’Ｊ’ｌ　ｌ　２ｉｆ；　５弓　ｊ、１
ノがＬ’＋’ｊ　ヒル３２１”１ｒ）・Ｉが門ｌニル内
ＩＩＬＩｌｌｊＪｊＩ−ｉ　　’ｔＩＡ１’：”ＩＮ’
Ｔ！４９１．＋７、補ｉ［の父、］ＣＳと 明イ、ｌＩ１；の１発明の評に１；１な睨明」の４Ｍｆ
ｉ８、袖山の内容 １）明ＩＹ（ｌｌｆｔ第６貞８有目の「・公報が」勿「
・・・公ル＋１）か」と細土する。 ２）明細い１第６内１２行口の［・・・“１・ｌ’、　
Ｌ−＋１点かある１、」を「・・・知しい点がある。」
とｈ　、ｉｌ−ノー４）３．３）　１ＪＬＩ’１ｌｌｊ
ｌｌ　８　Ｄｉ　１０　行目ノｒ　２ｔ）Ｄｏλ−ｉｓ
、ｏｏｏＸＪを″［２００Ｕ　１−Ｉ５　ＯＵ　Ｏ０人
」と７＋ｉ目１−Ｊね。 ４）明＋Ｆｌｌ目！ｉ−；：ＩをＰ４１６７−１１」の
１・・・くりＩ４えず。」を「・・・くりガ＄ず。」と
Ｆ１１１屯−Ｊ　２．。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）ノ＋’、＝板上に１１？リマーレリーフをモザイ
   ク状又はストライプ状に形成した後、これを所定の分光
   特性を有する染料で染色する工程を少なくとも２回Ｆ′
   ｖ−返ずことからなる多色光学フィルターの製；：’ｉ
   方〆ムにおいて、前の工程で染色されたポリマーレリー
   フを芳香族スルホン酸の縮合高分子化合物の酸性水溶７
   Ｔ（で処理することを７ｔ、；ｉ、徴とする多色光学フ
   ィルターの製造方法。
2. （２）基板」二にｙｌ？ｌマリレリーフをモザイク状又
   はストライブ状に形成した後、これを所定の分）Ｃ３）
   ｔ７性を有する染料で染色する工程を少なくとも２回イ
   ・“を返すことからなる多色光学フィルターの製造−Ｊ
   ｊ法において、前の工程で染色さ」Ｌだポリマーレリー
   フを１５０Ｃ〜１８０ＣでろＯ分以上加、情した後、芳
   香族スルホン酸の縮合高分子化合物の酸性水溶液で処理
   することを特徴とする多色光学フィルタの製造方法。
3. （３）芳斤族スルホン酸の１１１１合高分子化合物のｒ
   ｌり性水溶液がｐＨ５，５以下のｒＲ性水溶１１にであ
   ることを特徴とする！１、旨′「請求の範囲８１’！：
   （１１項または第（２１，ＩＬＴ！：Ｌ：　Ｉ：１．’
   ｌの多色光学フィルターの製’ｉ：’ｉ方法。
4. （４）芳香族スルホン酸の縮合高分子化合物が、次の一
   般式 ％式％） 式中Ｈはベンゼンまたはナフタレン系の基をあられし、
   Ｘは水ｒｌ？２基：ノ・ロゲン；Ｃ１〜Ｃ４のアルキル
   ；　ｃｏｏｒｔ　；　ｃｉｉｏ　；　ｃ１〜Ｃ４のアル
   コキシ；ＣＬ、＜４のアルキル若しくはハロゲンで１ｉ
   ’ｉ４ｊ”％されていても良いフェノへ′シ；Ｃ１〜Ｃ
   ４のアルキル若しくはハロゲンで置換されＣいても良い
   トリアジニルアミノ（このトリアジニル基はモノ行しく
   ＋、ＬジーＣ１〜Ｃ６のアルギルアミノ、モノ若しくは
   ジーヒｌ’ロキシエチルアミノ、フェニルアミノまたは
   スルフォニルアミノなどで更にｆ：ｒ；、換されていて
   も良い）；ｙ　　　　　　　　　　　　　　　Ｙ ■ （）、１０　ａ　Ｓ）　ＩＪ−ト５ｏ２−；または（Ｍ
   Ｏ３Ｓ）ｒ］−Ｂ−Ｃ１（＝ＣＨ−を表わしくここでＹ
   は水二Ｈ１−０１１、二）　ロス１＝、　０１〜Ｃ４の
   アルキルアミノを表わす）、Ｍは水素、アルカリ金ス・
   ４５したはアンモニウノ・をう゛（わし、ｍは０．１ま
   たは２を表わしく　丁ｎが２の（謁／、Ｘは１司じでも
   ＩＩ′量−なっていても１′ｊ−い）、１１は１〜４を
   表わす、 で表わされる化合物の少なくとも１つと低級脂肪族アル
   ノ３ヒトのｔｉｒ＋　す生成物または、上ｉｉ＋２一般
   式σ）化Ｃ１物の少なくとも１つ、上記一般式でＩＪを
   Ｏとしたときの、化合物の少なくとも１つ及び低級脂肪
   族アルデヒドの縮合生成物であることをｌ（を特徴とす
   る特；〆［請求の範１’ｌｌｌ’Ｓ　１項記載の多（△
   光学フィルターの製造方法。
5. （５）芳斤族スルホン酸の縮か高分子化合物が４゜４仙
   シバ・イドロキシジフェニルスルホンのスルホン酸とホ
   ルムアルデヒド体Ｓの縮合生成物若しくはその塩または
   フェノールスルホ／酸もしくはナフタレンスルホンｒｉ
   ２と４．４’−Ｉノ１イト９０キシジフェニルスルホン
   およびホルムアルデヒドの縮合生成物若しくはその塩て
   、！しろことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項ま
   たは第（２）項記載の多色光学フィルターの製造方法。