JPS6067903A - マイクロカラ−フィルタ−着色樹脂膜の製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、カラー撮像装置用のマイクロカラーフィルタ
ー７１色樹脂膜の製法に関するものである。さらに訂し
くは本発明は、カラー撮像装置の受光部に付設される分
光透過特性（あるいは分光吸収特性）の優れたマイクロ
カラーフィルター６色樹脂膜の製法に関する−ものであ
る。

たとえば、ＶＴＲ用カメラなどにおいて、カラー画像に
対応するカラー信号を取り出すために、受光部にマイク
ロカラーフィルターを設けたカラー撮像管が従来より一
般的に用いられている。

すなわちカラー撮像管は、赤、緑および青からなる染料
系、あるいはシアン、マゼンタおよびイエローから−な
る染料系などの染料系から選ばれた染料により着色され
た微小のモザイク状あるいはストライプ状の着色樹脂膜
（色分解フィルター貧素）が複数層組み合わされてなる
ブイクロカラーフィルターが撮像管の受光部表面に旧設
された構成からなるものである。

一力、最近では撮像管に代るデバイスとして。

たどえば、ＣＣＤ、ＢＢＤ、ＭＯＳなどの各種の固体撮
像素子が開発されたため、１．記のＶ　Ｔ　ＲＩＩ＋カ
メラなどの小型化を主な目的として、固体撮像素子とマ
イクロカラーフィルターとをＮ１み合わせたカラー固体
撮像素子の実用化の検討が行なわれており、一部では既
に実用化されている。

カラー固体撮像素子は一般に、画素と呼ばれる九′屯変
換素子と、走査回路を集積化した平板状の撮像集積回路
（ＩＣ）とからなる受光部の表面に、カラー撮像管の場
合と同様にそれぞれの画素に対応する染料により着色さ
れた微小のモザイク状あるいはストライプ状の着色樹脂
１１り（色分解フィルター要素）が複数層組み合わされ
てなるマイクロカラーフィルターが付設された構成を有
する。

撮像管もしくは固体撮像素子のような、撮像装置にマイ
クロカラーフィルターを付設して上記のようなカラー撮
像装置とするには、一般に次のような方法が利用される
。

撮像′！Ａ置の受光部（たとえば、撮像管もしくは固体
撮像素子の受光部など）あるいは受光部に付設されるガ
ラスなどの透明支持体上に、重クロム酸ゼラチンなどの
光硬化性樹脂溶液を塗布して光硬化性樹脂膜を形成し、
その表面に露光用パターンを通過した光を照射して、樹
脂膜にモザイク状あるいはストライプ状の硬化部分を生
成させる。

次いで、この部分硬化樹脂膜を適当な溶媒で洗節するこ
とにより、未硬化部分を溶解除去して、モザイク状ある
いはストライプ状の硬化樹脂膜を？！）て、次に、この
硬化樹脂膜を赤、緑、古、シアン、マゼンタ、あるいは
イエローなどの内の一種の染料で染色して、着色樹脂膜
工を形成する。

次いで、このように形成した着色樹脂膜の１−に色汚染
防止膜（中間層）を形成するか、あるいは着色樹脂膜に
色汚染防止処理（混色防止処理）を施すかしたのち、更
にその上に同様にして光硬化性樹脂膜を形成し、その表
面に別の露光用パターンを通過した光を照射して、樹脂
膜に別のモザイク状あるいはストライプ状の硬化部分を
生成させる。そして、同様にして未硬化樹脂部分を除去
し、硬化樹脂膜を別の染料で染色して着色樹脂ＩＩり■
を形成する。

さらに、必要によりこのような着色ｖ！４脂＋１’２形
成の操作を繰り返して所望の複数層の着色樹脂膜を形成
させたのち、最後に表面被覆膜を旧設することによりマ
イクロカラーフィルターの形成を完了する・ なお１　」二足の各々の操作の間あるいはその前後には
、回路形成のために必要なポンディングパッド部の露出
化操作なども含まれることもあるが、これらの操作は本
発明とは直接関係がないため説明を省略する。

近年、カラー撮像装置の普及に伴いその使用目的も多岐
にわたるようになったことから、カラー撮像管あるいは
カラー固体撮像素子の改良、すなわち感度や解像度、そ
して色再現性などカラー撮像装置の性能の一層の向上が
要求されている。

これらのカラー撮像装置の性能を左右する要因の一つと
しては、カラー撮像装置を構成するマイクロカラーフィ
ルター着色樹脂膜の分光透過特性を挙げることができる
。この分光透過特性とは、着色樹脂膜の所定の波長領域
における入射光の透過性能を意味している。すなわち、
優れたカラー画像を再現するためには、それぞれの着色
樹脂膜が所定の波長領域において高い光透過性能を示す
ことが必要となる。

着色樹脂膜を形成するための染料へつｌ、）てｌま従来
より各種のものが検討されており、染ネ１自体としては
、所定の波長領域−におｌ、％て優れた分光透過特性を
示すものが得られている。しかしな力くら、染料の種類
によっては、樹脂膜に充分なり染着させるためには特別
の条件が必要であったり、あるいは樹脂膜に染着する工
程を経て着色樹脂Ｓを１杉成した場合において、所定の
分光透過４寺性を充う）に示さないものもあり、その問
題の解？央力ζ必要となる。

また、着色樹脂膜を複数層重ね合わせる際１こ１ｇ色防
止用の中間層を設けなｌ、％場合にｉｆ、それぞれの着
色樹脂膜の間の色汚染を防止するためにタンニン酸など
を用いる化学的な色汚染防止処Ｉ甲力ｔ１ｉなわれるが
、この処理によって着色樹脂ｌｌ桑の／ｉ）光透過特性
が変化することもあり、この点につり）ても解決が望ま
れる。

たとえば、シアン着色樹脂膜の形成にｌよシアン系酸性
染料が通常用いられるが、そのイ（表側として、波長６
００〜７００　ｎｍに強い吸収を有し、また向保存性も
優れているフタロシアニン系酸性染料を挙げることかで
きる。

１−記のフタロシアニン系酸性染料による樹脂膜の染色
は、通常はｐＨ３，０〜５．５程度の酸性浴において行
なわれる。しかしながら、そのような範囲のｐＨを有す
る酸性浴を利用して染色したンアン系酸性染料着１色樹
脂膜は、酸性浴から着色樹脂膜中に移行した耐性物質に
よりその着色樹脂１ｊＱ中の環境ｐＨが明らかに酸性と
なるために、そのシアン系酪性染おＩ自体が木来持って
いる所定波長領域における優れた分光透過特性が低下す
る傾向がある。これに対して、着色樹脂膜中におけるシ
アン系酸性染料の分光透過特性を向上させることを１Ａ
的として、染色浴のｐＨを中性側（たとえば、ｐＨ５，
５〜８，０）に移行させた場合には、今度は染料が樹脂
膜に染着しに〈〈なり、高濃度の染色が実現しないとの
問題が発生する。

またその代りの方法として、染色をｐＨ３，０〜５．５
程度の酸性浴で行ない、ついで染色された樹脂膜を、中
性付近のｐＨを有するリンス１夜を用いてリンスするこ
とにより、着色樹脂膜のＬＷ境ｐＨを中性側に寄せると
の手段が考えられる力く、この方法によっても、着色樹
脂膜に−１，含イ１されたシアン系酸性染料が、上記の
リンス液１１に容易に溶出する傾向があるため、その結
果書られる７′１色樹脂膜中の染料濃度が低下するとし
）う問題力くある。

着色樹脂膜の染料含有率を充分高くてきな６）ｊ場合に
は、その膜厚を大きくすることにより着色樹脂膜の単位
面積当りの染料含有量を高め、これによって分光透過特
性の向上を達成することは＋１能であるが、その場合に
は、今度は着色樹脂膜の１１２厚の増大に起因する着色
樹脂１１りの解像度の低−ドという問題が発生するため
、実用」二におし）て不利となる。

才だ、シアン系酸性染料を用いて着色した７Ｉ色樹脂膜
をタンニン酸などを用いて色汚染防１１ニ処ｊＩＰを施
した場合においては、この処理によりシアン着色樹脂膜
の吸収スペクトルが黄色側番と移動する現象、すなわち
、シアン着色樹脂膜の分光透過特性か所定の特性から変
化する現象が発生する傾向かあり、この点も実用上不利
となる。

本発明者は、硬化樹脂膜の染色より前もしくは染色と同
時に、アルミニウムイオンおよび／またはクロムイオン
を含有する処理液にて該硬化樹脂膜を処理することによ
り、染料の硬化樹脂膜への来着性の向上および、その後
に実施される色汚染防止処理による着色樹脂膜の分光透
過特性の変化の防止の双方が効果的に達成できることを
見い出し、本発明に到達した。

本発明は、支持体もしくはカラー撮像装置の受光部に付
設された硬化樹脂膜を染色浴に浸漬して着色樹脂膜とす
ることからなるマイクロカラーフィルター着色樹脂膜の
製法において、該硬化樹脂１１りの染色より前もしくは
染色と同時に、アルミニウムイオンおよび／またはクロ
ムイオンを含有する処理液にて該硬化樹脂膜を処理する
ことを特徴とするカラー撮像装置用のマイクロカラーフ
ィルター着色樹脂膜の製法からなるものである。

効であるが、特にフタロシアニン系酸性染料のように、
硬化樹脂膜への染着に適したｐＨｇＡ域と。

優れた分光透過特性の発現に適したｐＨ領域とが一致し
ない染料を用いてマイクロカラーフィルター着色樹脂膜
を製造する場合において有用性が高い。そして、本発明
を利用することにより優れた分光透過特性を有するマイ
クロカラーフィルター着色樹脂膜を得ることができる。

次に本発明の詳細な説明する。

本発明により製造されるマイクロカラーフィルター着色
樹脂膜が付設される撮像装置には、撮像管および固体撮
像素子などが含まれる。

撮像管は、その種類、構造などについて特に制限を受け
るものではなく、公知の各種の撮像管を使用することが
できる。

固体撮像素子も、その種類、構造などについて特に制限
を受けるものではなく、たとえば、公知のＣＣＤ、ＢＢ
Ｄ、ＭＯＳなどの各種の固体撮像素子を使用することが
できる。

本発明のマイクロカラーフィルター着色樹脂膜は、基本
的に、 Ｉ）光硬化性４＃ｌ脂膜を形成する工程：■）硬化樹脂
膜を形成する工程； ■）着色樹脂膜を形成する工程； からなる工程により製造される。

に記のカラーフィルター着色樹脂膜の製造方法は、たと
えば次のような方法により実施される。

まず、撮像管の受光部上、固体撮像素子の受光部の保護
膜−ト（保護膜上に平滑膜などの他の膜が存在している
場合には、その最上部の膜の上）１、または撮像管もし
くは固体撮像素子の受光部に付設する透明支持体（例、
ガラス）に、光硬化性樹脂溶液を塗布して光硬化性樹脂
膜を形成する。光硬化性樹脂としては、一般には、重ク
ロム酸ゼラチン、クロム酎ゼラチン、重クロム酸カゼイ
ン、小、クロム酪グルーなどのように重クロム酸もしく
はクロム酸を含む蛋白質性材料などが用いられるが、他
の種類の光硬化性の合成物質、たとえば、光硬化性が付
与されたポリビニルアルコールなどを用いることもでき
る。

次に光硬化性樹脂膜の表面に、モザイク状あるいはスト
ライプ状の露光用パターンを介して光を照射して、樹脂
膜にその露光用パターンに対応するモザイク状あるいは
ストライプ状の硬化部分を生成させる。そして、この部
分硬化樹脂膜を適当な溶媒、たとえば光硬化性樹脂とし
て重クロム酸ゼラチンを用いた場合には温湯などで洗節
する・ことにより、未硬化部分を溶解除去して、モザイ
ク状あるいはストライプ状の硬化樹脂膜を得る。

従来より一般的に行なわれているマイクロカラーフィル
ター着色樹脂膜の製造法では、に記のようにして、形成
された硬化樹脂膜を次に、赤、緑。

青、シアン、マゼンタ、あるいはイエローなどの内の一
種の染料で染色して、色分解フィルター要素として機能
する着色樹脂膜を得ている６本発明においては、染色工
程の前あるいは染色工程と同時に、アルミニウムイオン
および／またはクロムイオンを含有する処理液（以下、
Ａｎ／Ｃｒ含有処理液ともいう）にて硬化樹脂膜を処理
することを特徴としている。上記のＡ　ｌ　／　Ｃｒ含
有処理液による処理は、たとえば、硬化樹脂膜をＡ　ｌ
　／　Ｃｒ含有処理液に浸漬するなどの方法により処理
したのち通常の染色工程を実施する方法、あるいは、ア
ルミニウムイオンおよび／またはクロムイオンを共存さ
せた染色液にて硬化樹脂膜の染色を行なう方法などを利
用することができる。

嗜、１Ｆに好ましい方法は、Ａ　ｌ　／　Ｃｒ含有処理
液による処理と染色とをこの順に別々に行なう前者の方
〃、である。

」二足のＡ　ｆＬ　／　Ｃｒ含有処理液は、アルミニウ
ムイオンおよび／またはクロムイオンをｏ、ｏｏｉＭ−
１，０Ｍの濃度で含有するものであることが好ましく、
また、０．０１Ｍ〜０．２Ｍの濃度で含有するものであ
ることが特に好ましいｔ」−記のＡ　ｌ　／　Ｃｒ含有
処理液は、それぞれの金属の水溶性塩から選ばれたもの
を、水もしくは水性有機溶媒に溶解する方法により容易
に調製することができる。ただし、本発明で用いるアル
ミニウムイオンおよび／またはクロムイオンとしてはＭ
夏２　（ＳＯａ）ｇ　・Ｍ！、２　ＳＯａ　Ｉ＋２４Ｈ
２０（ただし、Ｍ”はＡＭまたはｃｒ、そしてＭ貫はに
、Ｎａ、またはＮＨ４を表わす） で表わされるミョウバンに由来するものであることが好
ましい。

なお、アルミニウムイオンおよび／またはクロムイオン
が由来する化合物は、その構成原子として、あるいは不
純物としてアルカリ金属を含まないものであることが好
ましい。アルカリ金属は。

固体撮像素子に混入した場合に固体撮像素子の機能を低
下させるため、固体撮像素子に付設されるマイクロカラ
ーフィルター着色樹脂膜は、その間に遮蔽層が存在する
としても、アルカリ金属を含有することは可能な限り避
けることが望ましい。

本発明で用いるＡ　ｌ　／　Ｃｒ含有処理液にアルカリ
金属が含まれていた場合には、そのアルカリ金属の一部
は当然その処理液中のＡＵおよび／またはＣｒと共に着
色樹脂膜に浸入する。従って、アルミニウムイオンおよ
び／またはクロムイオンの供給源として上記のようなミ
ョウバンを用いる場合には、アンモニウムミョウバンを
用いる。ことが特に好ましい。

本発明におけるＡ交／　Ｃｒ含有処理液による硬化樹脂
膜の処理は、　Ｆｉｉｊ述のように、硬化樹脂膜を該処
理液（アルミニウムイオンを含有する処理液、クロトイ
オンを含有する処理液、あるいはアルミニウムイオンと
クロムイオンの双方を含有する処理液）に浸漬する方法
により行なうことが望ましいが、その場合の浸漬時間は
、通常約１秒〜３０分間の範囲から選ばれる。

Ａ　ｌ　／　Ｃｒ含有処理液による処理を施された硬化
樹脂＋１９は次いで染色される。硬化樹脂膜の染色は通
常、硬化樹脂ｎりを染色浴に一定時間浸漬する方法によ
り実施されており、本発明における硬化樹脂膜の染色も
公知の方法により実施することができる。

硬化樹脂膜の染色に用いられる染料としては、既に各種
の酸性染料、塩基性染料、直接染料、お上ｌメ万威性塾
Ｕかｙが竹トｌで鉛番１　十砧岨に木いてもそれらの公
知のもの、あるいはそれと同等の性質を有する染料から
任意に選んだ染料を用いることができる。ただし前述の
ように、本発明のマイクロカラーフィルター着色樹脂膜
の製法は、フタロシアニン系酸性染料のように、硬化樹
脂膜への染色に適したＰＨ領領域、優れた分光透過特性
の発現に適したＰＨ領領域が一致しない染料を用いる場
合に特に有効である。

本発明に従ってＡ　ｌ　／　Ｃｒ含有処理液による処理
を施された硬化樹脂膜は、未処理の硬化樹脂膜に比較し
て染料、特にフタロシアニン系酸性染＊１などのシアン
系染料により容易に染色される。

すなわち、一般に７タロシアニン系酸性染料などのシア
ン系染料をＰＨが５．５以ｊ−の染色浴を用いて硬化樹
脂膜の染色を実施すると、染ネ゛１の染着量が不充分に
なりやすいが、本発明に従うＡｎ／Ｃｒ含宥処理含有よ
る処理を施された硬化樹脂膜には、そのような条件下で
も、染料が充分な早染着する。

また、硬化樹脂膜の染色により得られた染色済樹脂膜は
そのまま乾燥して着色樹脂膜としてもよいが、一般には
リンス液にて−Ｈリンス処理される。このリンス処理は
、染色された硬化樹脂膜をリンス浴などに短時間浸漬し
てリンス処理することにより、染色済樹脂膜に混入して
いた染色浴の染料以外の成分などを除去する工程である
。

ただし、」二足のフタロシアニン系酸性染料などのシア
ン系染料を含むＰＨが５．５より下（たとえば、ｐＨ４
、Ｑ〜５．ｏ）の染色浴を用いて硬化樹脂膜の染色を実
施した場合には、前記の理由により染色済樹脂膜中の環
境ｐＨを５．５以上とすることが好ましいので、ＰＨ５
，５以上、特にｐＨ５，５〜７，０のリンス液を用いて
染色済樹脂膜のリンスを行なうことが望ましい。この目
的のリンス処理においても、本発明に従ってＡｎ／Ｃｒ
含有処理液による処理を施され次いで染色された樹脂膜
からの染料の溶出は高度に抑制されるため、得られる着
色樹脂膜の染料濃度は余り低下させることがなく、かつ
その着色樹脂膜の分光透過特性は所望のものとなるため
、得られるマイクロカラーフィルター着色樹脂膜は実用
」二非當にイｊ利となる。

なお上記においては、−硬化樹脂膜に先ずＡ文／Ｃｒ含
有処理液による処理を施したのち、次いで染色を行なう
方法を中心に記述したが、前述のように、本発明に従う
Ａ　Ｕ　／　Ｃｒ含有処理液による処理は染色と同時に
行なうことも可能であり、その場合の具体的操作は上記
の操作に準じてた方〃、により実施することができる。

また１本発明に従うＡ　ｌ　／　Ｃｒ含有処理液による
処理は、染色工程の前のみではなく、更に染色工程の後
にも実施することができる。すなわち。

Ａ　ｌ　／　Ｃｒ含有処理液による処理が施された硬化
樹脂膜を染色したのち、再度、Ａ　ｌ　／　Ｃｒ含イ５
処理液による処理を施し、これをリンス処理する方法な
どを利用した場合には、リンス液中への染ネｌの溶出は
更に効果的に抑制することができる。

染色された樹脂膜、あるいは染色後さらにリンス処理さ
れた樹脂膜は次いで、公知の方法により乾燥されて目的
の着色樹脂膜が得られる。

」−記のようにして形成した着色樹脂膜の上に更に他の
着色樹脂膜を形成する場合には前述のように７７を色防
止のための混色防止処理を行なってもよい。

混色防止処理の代表例としては、タンニン酸含有耐性水
溶液と酒石耐アンチモニルアルカリ金属塩水溶液を順次
用いる処理が知られており、本発明に従って製造したマ
イクロカラーフィルター着色樹脂膜についても、このよ
うな公知の混色防止処理を施すことができる。ただし、
この混色防止処理においても、着色樹脂膜にアルカリ金
属を混入させることは々Ｉましくないため、上記の酒石
酸アンチモこルアルカリ金属塩の代りに、酒石酸アンチ
モニルと有機塩基との塩を用いることが好ましい。

従来の方法で製造された着色樹脂膜に上記のような混色
防止処理を施した場合には、着色樹脂膜が所定の吸収ス
ペクトルを示さなくなるような変化が発生することがあ
り、またさらに、着色樹脂膜の表面にレチキュレーショ
ンと呼ばれる好ましくない現象が発生する傾向がある。

これに対して本発明に従ってアルミニウムイオンおよび
／またはクロムイオンを含有する処理液により処理され
た着色樹脂膜は、上記の吸収スペクトルの変化あるいは
レシキュレーションの発生などの好ましくない現象の発
生が抑制されるとの利点もある。

以上に述べたような処理工程を経て製造された着色樹脂
膜は、必要により色汚染防止用の中間膜をイ＋１設した
のち、光硬化性樹脂溶液を塗布して光硬化性樹脂膜を形
成する工程から始まる同様な着色樹脂膜形成および、色
汚染防止処理あるいは中間膜の付設を、必要に応じて繰
り返し実施し、次いで、表面保護膜を設けることにより
マイクロカラーフィルターが形成される。

次に、本発明の実施例および比較例を示す。

［実施例１］ 透明なガラス基板」−に重クロム酎ゼラチンを４布して
、膜厚が０．５ｐ、ｋｎ、０．７５１Ｌｍ、ｌ　。

Ｏｐｍ、１．２５μｍ、１．５μｍおよび２．５ｐｍの
６種類の光硬化性樹脂膜を別々に設け、それらの上にモ
ザイク模様からなるマスク（露光）（ターン）を置いて
密着露光を行なった。次いで、露光した樹脂膜を温湯で
洗浄して、樹脂膜の未硬化部分を溶出除去し、モザイク
状の凸部からなる硬化樹脂ｎり（レリーフパターン）を
形成した。

次に、これらの硬化樹ＷＪｌｌ’ｊ！を、ｐＨ４，０に
調整した４２ｍＭ１酸クロムｌ）アンモニウム水溶液に
１０分間浸漬してクロム処理したのち、純水で５分間洗
浄した。

これらのクロム処理された硬化樹脂膜を、シアン系酸性
染料（カヤノール・ミーリング争タークオイズ３Ｇ二日
本化薬輛製）を含有する染色浴（ｐＨ６，０）で染色し
、乾燥して着色樹脂膜を調製した。

上記の６種類の着色樹脂膜について、シアン染色濃度を
６３０ｎｍにおける光学濃度として測定した結果を、第
１図にＡとして示す。

し比較例１］ 硬化樹脂膜について、クロム処理を行なわなかったこと
以外は、実施例１と同様にして６種類のこの６種類の着
色樹脂膜のシアン染色濃度を実施例１と同様に測定した
ー結果を、第１図にＢとして示す。

第１図に示された実施例１と比較例１のそれぞれのシア
ン染色濃度を比較すれば、染色前にクロム処理を行なう
ことにより着色樹脂膜へのシアン系染料の染着量が著し
く高められていることが明らかである。

［実施例２］ 実施例１と同様にして、膜厚が０．７５ｇｍ、ｔ、ｏＪ
Ｌｍおよび１．２５ｇｍの３種類の硬化樹脂膜を得た。

アンモニアと酢酸でＰＨを５．０〜６．０に調整した４
０ｍＭ硫酸アルミニウム（ＩＮ）アンモニウム水溶液を
調製し、この水溶液に上記硬化樹脂膜を室温にて２分間
浸漬することによりアルミニウム処理を行ない、次いで
純水で１分間洗ｎ−することにより、アルミニウム処理
された硬化樹脂＋１’ｉ’を得た。

Ｉ―記のアルミニウム処理された硬化樹脂膜をフタロシ
アニン系酸性染料： Ｃｕ−［Ｐｃ−（ＳＯ３−Ｐ３”）　４］（ただし、Ｐ
ｃはフタロシアニン骨格を表わし、Ｐｙ“はピリジニウ
ムイオンを表わす）を含有する染色浴（ｐＨ６，０）を
用いて染色を行ない、膜厚の異なる３種類の着色樹脂膜
を調製した。

」−２の３種類の着色樹脂膜についてシアン染色濃度を
実施例１と同様に測定した結果を、第２図にＣとして示
す。

［比較例２］ 硬化樹脂膜について、アルミニウム処理を行なわなかっ
たこと以外は、実施例２と同様にしてフタロシアニン系
酸性染料で染色して３種類の着色樹脂膜を調製した。

３種類の着色樹脂膜のシアン染色濃度を実施例１と同様
に測定した結果を、第２図にＤとして示す。

第２図に示された１施４Ｈ２）−隆虻伽９小工柄１れの
シアン染色濃度を比較すれば、染色前にフルミニラム処
理を行なうことにより着色樹脂膜へのフタロシアニン系
染料の染着量が著しく高められていることが明らかであ
る。

［実施例３］ 実施例１と同様にして、膜厚が１．０ｐｍの硬化樹脂膜
を得た。

次に、この硬化樹脂膜を、ｐＨ４，０に調整した４２ｍ
Ｍ硫酸クロム（ｌｌＦ）アンモニウム水溶液に１０分間
浸漬してクロム処理したのち、純水で１分間洗浄した。

このクロム処理を施した硬化樹脂膜を、実施例２に示し
たフタロシアニン系酸性染料を含有する染色浴（ｐＨ６
，０）に浸漬して染色し、乾燥１゜て着色樹脂膜を調製
した。

この着色樹脂膜の波長領域４００〜７００ｎｍにおける
透過スペクトルを測定した。ｔｉｔられた透過スペクト
ルを第３図にＥとして示す。

次に、この着色樹！ｌ１４ｍについて、下記のタンニン
酸処理と酒石酸アンチモニルカリウム処理の二１程から
なる混色防止処理を行なった。

第１工程：氷１Ｍにタンニン酸２ｇと酢酸１０ｍ文とを
溶解した水溶液に着色樹脂膜を４０℃にて３分間浸漬し
た後、着色樹脂膜を１分間水で洗ン争する。

第２工程；水ＩＱに酒石酸７ンチモニルカリウム５ｇと
酢酸２，５ｍ見とを溶解した水溶液に。

タンニン酸処理された着色樹脂膜を４０℃にて３分１１
Ｘ１浸漬した後、着色樹脂膜を１分間水で洗浄する。

この混色防止処理が施された着色樹脂膜の波長領域４０
０〜７００ｎｍにおける透過スペクトルを実施例３と同
様に測定した。得られた透過スペクトルを第３図にＦと
して示す。

第３図のＥとＦの各スペクトルを比較すると、クロム処
理を施した着色樹脂膜の透過スペクトルは、混色防止処
理の後では、青色領域において透過−（シが全体として
若干低下するが、測定波長領域全体にわたってスペクト
ルの形に大きな変化はみられないことがわかる。

［比較例３］ 硬化樹脂膜の膜厚を１．５１１．ｍに変え、硬化樹脂膜
について、クロム処理を行なわなかった以外は、実施例
３と同様にして着色樹脂膜を調製し。

この着色樹脂膜の波長領域４００〜７００ｎｍにおける
透過スペクトルを測定した。得られた透過スペクトルを
第４図にＧとして示す。

上記の着色樹脂膜について実施例３と同様な混色防止処
理を行なった後、この混色防止処理を施した着色樹脂膜
の波長領域４００〜７００ｎｍにおける透過スペクトル
を測定した。得られた透過スペクトルを第４図にＨとし
て示す。

第３図のＥと第４図のＧの各透過スペクトルを比較する
と、前者（クロム処理を施したもの）と後者（クロム処
理を施していないもの）では、７Ｉ色樹脂膜の膜厚が１
．Ｏ用ｍ（前者）とｔ、５井ｍ（後者）と大きく相違す
るにもかかわらず、透過スペクトルがほぼ一致している
。すなわち、この比較によってもクロム処理を施した樹
脂膜への染料の染着量が大きいことがわかる。

また、第４図のＧとＨの各透過スペクトルを比較すると
、クロム処理を施していない着色樹脂膜は、混色防止処
理の後に、青色領域（４００〜５００ｎｍ）において透
過率は若干低下し、透過率５０％を示す波長が長波長側
に移行し、波長領域６００〜６３０ｎｍにおける透過率
が上昇し、測定波長領域全体にわたって、スペクトルの
形に大きな変化が見られることから、クロム処理が施さ
れていない着色樹脂膜は、上記のような混色防止処理に
より分光透過特性が明らか変動することがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、着色樹脂膜のシアン染色濃度を６３０ｎｍに
おける光学濃度として測定した結果を示す図であり、Ａ
はクロム処理を施した着色樹脂膜の光学濃度、モしてＢ
はクロム処理を施していない着色樹脂膜の光学濃度を示
す。 第２図は、着色樹脂膜のシアン染色濃度を６３０ｎｍに
おける光学濃度として測定した結果を示すｌ’Ｗ−ｒ３
ｒ−−４１ｍｌ−トチ１Ｉパーｒ％）、ｂｎ：ＪＩ？ｌ
−ヒ−４ｋｌ＆」−一町ＪＪ。 樹脂膜の光学法度、モしてＤはアルミニウム処理を施し
ていない着色樹脂膜の光学濃度を示す。 第３図は、クロム処理を施した着色樹脂膜の透過スペク
トル（Ｅ）およびクロム処理を施した着色樹脂膜を混色
防止処理したのち測定した透過スペクトル（Ｆ）を示す
。 第４図は、クロム処理を施していない着色樹脂膜の透過
スペクトル（Ｇ）およびクロム処理を施していない着色
樹脂膜を混色防止処理したのち測定した透過スペクトル
（ｆ（）を示す。 特許出願人　富士写真フィルム株式会社代理人　弁理士
　柳川泰男

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｌ。支持体もしくはカラー撮像装置の受光部に旧設され
   た硬化樹脂膜を染色浴に浸漬して着色樹脂膜とすること
   からなるマイクロカラーフィルター着色樹脂膜の製法に
   おいて、該硬化樹脂膜の染色より前もしくは染色と同時
   に、アルミニウムイオンおよび／またはクロムイオンを
   含有する処理液にて該硬化樹脂１１ジを処理することを
   特徴とするカラー撮像装置用のマイクロカラーフィルタ
   ー着色樹脂膜の製法。 ２゜」二記のアルミニウムイオンおよび／またはクロム
   イオンを含有する処理液が、アルミニウムイオンおよび
   ／またはクロムイオンを０．００１Ｍ〜１．０Ｍの濃度
   で含有することを特徴とする４、ν詐請求の範囲第１項
   記載のマイクロカラーフィルター着色樹脂膜の製法。 ３、上記のアルミニウムイオンおよび／またはクロムイ
   オンが、一般式： ％式％ （ただし　ＭｌｌｌはＡＭまたはＣｒ、そしてＭ！はに
   、Ｎａ、またはＮ）（４を表わす） で表わされるミョウバンに由来するものであることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項もしくは第２項記載のマ
   イクロカラーフィルター清色樹脂Ｉりの製法。 ４゜染色に用いられる染料が酸性染料であることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項もしくは第２項記載のマイ
   クロカラーフィルター着色樹ＩＩＩ　Ｉ＋！、！の製法
   。 ５゜上記酸性染料がシアン系酸性染料であることを特徴
   とする特許請求の範囲第４項記載のマイクロカラーフィ
   ルター着色樹脂膜の製法。 ６゜上記シアン系酸性染料がフタロシアニン誘導体系酸
   性染料であることを特徴とする特許請求の範囲第５項記
   載のマイクロカラーフィルター着色樹脂膜の製法。 ７、アルミ子つムイオンおよび／またはクロムイオンを
   含イ１する処理液による該硬化樹脂膜の処理を染色の前
   に行なうことを特徴とする特許請求の範囲第６項記載の
   マイクロカラーフィルター着色樹脂ＩＩ！Ａ！の製法。 ８゜硬化樹脂Ｉｌり染色用の染色浴のｐＨが３．０〜５
   ．５であり、かつ染色した硬化樹脂膜をＰＨ５，５〜８
   ．０のリンス液で処理する工程が含まれていることを特
   徴とする特許請求の範囲第７項記載のマイクロカラーフ
   ィルター着色樹脂膜の製Ｖ、。 ９゜硬化樹脂膜染色用の染色浴のｐＨが４．０〜５．０
   であり、かつ染色した硬化樹脂膜をｐＨ５，５〜７．０
   のリンス液で処理する工程が含まれていることを４．シ
   徴とする特許請求の範囲第８項記載のマイクロカラーフ
   ィルター着色樹脂膜の製〃、。