JPS5948770A - 電子写真用感光体 - Google Patents
電子写真用感光体Info
- Publication number
- JPS5948770A JPS5948770A JP15930482A JP15930482A JPS5948770A JP S5948770 A JPS5948770 A JP S5948770A JP 15930482 A JP15930482 A JP 15930482A JP 15930482 A JP15930482 A JP 15930482A JP S5948770 A JPS5948770 A JP S5948770A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- drum
- glass
- electrophotographic receptor
- coated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording-members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat or to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/10—Bases for charge-receiving or other layers
- G03G5/102—Bases for charge-receiving or other layers consisting of or comprising metals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発ψ」σ〕技１ｆｆ３）野〕
本発明は、アモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）膜を感光
体層とする電子写真用感光体にｒｂ−＋る。
体層とする電子写真用感光体にｒｂ−＋る。
〔発明の技９トエ的背泉とそのｌｊＪ ｊ趣点〕これま
で電子写貝用Ｑ）感）Ｓｔ体として＆′：１．．Ｓｅ。
で電子写貝用Ｑ）感）Ｓｔ体として＆′：１．．Ｓｅ。
ＺｎＳ等が広く使用さオ］でき友か、これらは毒性がづ
虫＜、イ便曳が低く陽つき易い等の問題があっｆｃｏそ
こで、Ｍ近、ａ−Ｓｉをｍ子方共感光体として用いよう
とする（ｉα！が盛り土かり小実大用化が始まろうとし
ている。
虫＜、イ便曳が低く陽つき易い等の問題があっｆｃｏそ
こで、Ｍ近、ａ−Ｓｉをｍ子方共感光体として用いよう
とする（ｉα！が盛り土かり小実大用化が始まろうとし
ている。
ａ−Ｓｉ を電子写真用感光体に用いる際の最も大きな
技１１１上の問題は次σ〕点である。月１ｊち、クロー
数箱、５ｆ解法により光分なるブし感曳をイ」するａ−
Ｓｉ を形成すルｖｃは２００’Ｃ−３００’Ｃまで基
板の温良を上げねはなＩｌ：）ない。ところが（／Ｅ米
より基板として用い【）れてきたＡＩ！ ドラムはＶ
化点が１５０°Ｃｎ：１ ｔｌとｍ、 イｆｃ メ、２
００−ＣＪａ上マチ上けるとドラム自身がひとく変形し
たり、又、ＳｉとＡＪとの膨張係結が一桁程違うために
、１か１′」−α〕艮いａ−８１をＡＩ！ドラムグ）上
に形ｂ’ｔするとほとんど（７）場合ａｉｓ＋にクラン
クがはいり、ひどい場合には剥にｆ Ｌでし才５ことが
ある。従って埃狂の技術ではＡ、Ｊ トラムの上１／（
ａ−Ｓｉをノヒ成する隙Ｖ（はクラックを生じさせない
ために基板を温良を下けているか、このためｅこ充分な
る光感曳かイζ）にくくまたル４の材性を思うようにあ
けることができない。
技１１１上の問題は次σ〕点である。月１ｊち、クロー
数箱、５ｆ解法により光分なるブし感曳をイ」するａ−
Ｓｉ を形成すルｖｃは２００’Ｃ−３００’Ｃまで基
板の温良を上げねはなＩｌ：）ない。ところが（／Ｅ米
より基板として用い【）れてきたＡＩ！ ドラムはＶ
化点が１５０°Ｃｎ：１ ｔｌとｍ、 イｆｃ メ、２
００−ＣＪａ上マチ上けるとドラム自身がひとく変形し
たり、又、ＳｉとＡＪとの膨張係結が一桁程違うために
、１か１′」−α〕艮いａ−８１をＡＩ！ドラムグ）上
に形ｂ’ｔするとほとんど（７）場合ａｉｓ＋にクラン
クがはいり、ひどい場合には剥にｆ Ｌでし才５ことが
ある。従って埃狂の技術ではＡ、Ｊ トラムの上１／（
ａ−Ｓｉをノヒ成する隙Ｖ（はクラックを生じさせない
ために基板を温良を下けているか、このためｅこ充分な
る光感曳かイζ）にくくまたル４の材性を思うようにあ
けることができない。
本発明は上記問題を克服すべくなされたもので、膜特性
が良く、充分なる光感度を有するａ−８ｒ電子写真用感
プ゛じ体を提供１−ることを目的とする。− 〔発明の概要〕 本発明は、従来のＡＪドラムに代って、熱に強くかつ熱
膨張係数がＳｔに近いガラスもしくはセラミックスのド
ラム！！ＸＱを用い、その表面にａ−Ｓｉ膜を堆積して
感光体層′とじたことを！トヶ徴とする。
が良く、充分なる光感度を有するａ−８ｒ電子写真用感
プ゛じ体を提供１−ることを目的とする。− 〔発明の概要〕 本発明は、従来のＡＪドラムに代って、熱に強くかつ熱
膨張係数がＳｔに近いガラスもしくはセラミックスのド
ラム！！ＸＱを用い、その表面にａ−Ｓｉ膜を堆積して
感光体層′とじたことを！トヶ徴とする。
本発明によれば、基板がガラスないしはセラミックスで
あるので、ａ−Ｓｉｇ堆積の除に基板温度を２００〜３
００°ＣＫ上げても基数自身がほとんど熱液ルセす、し
かも膨張係数がＳｉとほば同じで金ＦＡＫ比べて一桁程
小さいのでａ−８ｉを形成してもａ−８ｉ膜にクランク
が生じることは全くなく、最適の栄件でａ−８ｉ膜を形
成できるので、非常、、、ｒ高性能のａ−８ｉ電電子負
負用感光を実現することが出来る。
あるので、ａ−Ｓｉｇ堆積の除に基板温度を２００〜３
００°ＣＫ上げても基数自身がほとんど熱液ルセす、し
かも膨張係数がＳｉとほば同じで金ＦＡＫ比べて一桁程
小さいのでａ−８ｉを形成してもａ−８ｉ膜にクランク
が生じることは全くなく、最適の栄件でａ−８ｉ膜を形
成できるので、非常、、、ｒ高性能のａ−８ｉ電電子負
負用感光を実現することが出来る。
以下に本発明の実施例を図を用いてハｉ乙す」する。
ドラム状基板として夕Ｙ径１３０ ｕｍ％長さ３００Ｒ
Ｉｌ＋ 、肉厚３ ｖ＋ｍのパイレックスガラスドラノ
、ｌの表面にＡＩ！膜２を約２μｍ７１コーフイング１
〜ｆｃものを用いた。ｌ’、１Ｍ２を表面にコーティン
グするの目、電子写真のプロセスで１Ｌ極として必公な
ためである。この基板上にグロー放電法により５ｉｌｌ
、と０２ の７１Ｌ合ガスをプラズマで分解して厚さ
１５μｍの酸素添加ａ−８ｉ（止しく ＆：ｔ、 ａ−
Ｓｉ ：Ｈ：０）膜３を茫仮温ｍ２５０°Ｃで形成しｔ
ｏこの時通常のＡ７ドラムを用いた場合ｖｃ ｃ−ｔ、
シ（伍の降温を非兄にゆっくりやらないとａ−８ｉ膜に
クランクがはいってしまうが、ガラスドラムを用いた本
夾施例では、水素ガスで強ｆｕｌｌ的罠出却してもクラ
ンクは生じず、できた感ブ０体層も電子写真用として光
分な性能を有していた。
Ｉｌ＋ 、肉厚３ ｖ＋ｍのパイレックスガラスドラノ
、ｌの表面にＡＩ！膜２を約２μｍ７１コーフイング１
〜ｆｃものを用いた。ｌ’、１Ｍ２を表面にコーティン
グするの目、電子写真のプロセスで１Ｌ極として必公な
ためである。この基板上にグロー放電法により５ｉｌｌ
、と０２ の７１Ｌ合ガスをプラズマで分解して厚さ
１５μｍの酸素添加ａ−８ｉ（止しく ＆：ｔ、 ａ−
Ｓｉ ：Ｈ：０）膜３を茫仮温ｍ２５０°Ｃで形成しｔ
ｏこの時通常のＡ７ドラムを用いた場合ｖｃ ｃ−ｔ、
シ（伍の降温を非兄にゆっくりやらないとａ−８ｉ膜に
クランクがはいってしまうが、ガラスドラムを用いた本
夾施例では、水素ガスで強ｆｕｌｌ的罠出却してもクラ
ンクは生じず、できた感ブ０体層も電子写真用として光
分な性能を有していた。
この様にガラスドラムを用いれは、最も望しい・条Ｖ−
１，でａ−８ｉ膜を形成できるのでｑ′ケ性Ｑ）良好な
ａ−Ｓｉ １（ｆ、子写負用ドラムを歩留良く製作１−
ろことができる。
１，でａ−８ｉ膜を形成できるのでｑ′ケ性Ｑ）良好な
ａ−Ｓｉ １（ｆ、子写負用ドラムを歩留良く製作１−
ろことができる。
なお実ｈｉｆ例では基板としてガラスドラムを用いたが
、セラミックスドラムでももちろん良い。
、セラミックスドラムでももちろん良い。
又、実′ＩＪｉｎ例ではＡｅをコーティングしたドラム
を用いたが、Ａｒ 以外の導１江性薄ｊ漠でもよいと
とはもち））んである。
を用いたが、Ａｒ 以外の導１江性薄ｊ漠でもよいと
とはもち））んである。
図は本発明の一夾施例の１Ｌ子写真用ドラムを示す図で
ある。 ！・・・パイレックスガラスドラム、２・・・ＡＩ！＃
。 ３・・・ａｓｒ膜。
ある。 ！・・・パイレックスガラスドラム、２・・・ＡＩ！＃
。 ３・・・ａｓｒ膜。
Claims (3)
- （１） ガラスもしくはセラミックスからなるドラム
状基扱の１にアモルファスシリコン膜を形成して感光体
ノ曽とした電子写真用感光体。 - （２） 前記アモルファスノリロン膜は腋索硝加アモ
ルファスシリコン膜である待ま［δｎ水の範囲第１項配
戦の電子写真用感光体。 - （３） 前日にドラム状恭板は秒楓膜かコーティングさ
れたものである慣ｉｉ”ｌ’ｆｊば氷の範囲第１項ｈ（
１戦の電子力具用／ｉへ光１４・。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15930482A JPS5948770A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 電子写真用感光体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15930482A JPS5948770A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 電子写真用感光体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5948770A true JPS5948770A (ja) | 1984-03-21 |
Family
ID=15690871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15930482A Pending JPS5948770A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 電子写真用感光体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5948770A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61191436U (ja) * | 1985-05-21 | 1986-11-28 | ||
| US4735883A (en) * | 1985-04-06 | 1988-04-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Surface treated metal member, preparation method thereof and photoconductive member by use thereof |
-
1982
- 1982-09-13 JP JP15930482A patent/JPS5948770A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4735883A (en) * | 1985-04-06 | 1988-04-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Surface treated metal member, preparation method thereof and photoconductive member by use thereof |
| JPS61191436U (ja) * | 1985-05-21 | 1986-11-28 |
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