JPS5952378B2 - シ−ト状物の欠点判別法 - Google Patents
シ−ト状物の欠点判別法Info
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- JPS5952378B2 JPS5952378B2 JP859876A JP859876A JPS5952378B2 JP S5952378 B2 JPS5952378 B2 JP S5952378B2 JP 859876 A JP859876 A JP 859876A JP 859876 A JP859876 A JP 859876A JP S5952378 B2 JPS5952378 B2 JP S5952378B2
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はシート状物に存在する欠点を検出、種類判別す
る方法に関する。
る方法に関する。
従来、シート状物すなわち鉄板、紙、フィルム、布など
に存在する欠点を判別する方法として(1)被検査面上
を光スポットで走査しその反射光あるいは透過光を光電
変換して得られた電気信号波形を解析して欠点判別する
方法。
に存在する欠点を判別する方法として(1)被検査面上
を光スポットで走査しその反射光あるいは透過光を光電
変換して得られた電気信号波形を解析して欠点判別する
方法。
(2)被検査面上からの透過光、あるいは反射光をフー
リエ変換用レンズを透過させマッチドフィルタ、コリメ
ーテイングレンズを介して欠点パターンの相関像を得、
その相関像により欠点判別をする方法(特開昭49−6
0782)などがある。
リエ変換用レンズを透過させマッチドフィルタ、コリメ
ーテイングレンズを介して欠点パターンの相関像を得、
その相関像により欠点判別をする方法(特開昭49−6
0782)などがある。
しかし(1)の方法においては得られる電気信号波形が
複雑であり特に被検査物が布などの場合布自体が完全な
格子状を成していないので(1)の方法で使われるよう
な光スポットではその布独自の不規則性が正常部分の電
気信号波形として取り出され欠点部分における信号のS
/N比が悪く、信号波形も複雑となるため信号波形を解
析して欠点判別を行うことは、判別寺間も長くかかり実
用上不可能である場合が多い。また(2)の方法では種
々の欠陥パターンのフーリエ変換像を表示したマッチド
フィルタを使用するため、平面上に各種欠点に対応した
多くの光電変換素子が必要であると同時にマッチドフィ
ルタの作製が非常に難しい。以上、上記の方法において
は実用化が極めて困難であるが、本発明では、このよう
な欠点を改良するとともに装置の複雑さをなくしかつ高
速でシート材の欠点を判別することを可能ならしめたも
のである。
複雑であり特に被検査物が布などの場合布自体が完全な
格子状を成していないので(1)の方法で使われるよう
な光スポットではその布独自の不規則性が正常部分の電
気信号波形として取り出され欠点部分における信号のS
/N比が悪く、信号波形も複雑となるため信号波形を解
析して欠点判別を行うことは、判別寺間も長くかかり実
用上不可能である場合が多い。また(2)の方法では種
々の欠陥パターンのフーリエ変換像を表示したマッチド
フィルタを使用するため、平面上に各種欠点に対応した
多くの光電変換素子が必要であると同時にマッチドフィ
ルタの作製が非常に難しい。以上、上記の方法において
は実用化が極めて困難であるが、本発明では、このよう
な欠点を改良するとともに装置の複雑さをなくしかつ高
速でシート材の欠点を判別することを可能ならしめたも
のである。
この目的を達成するための構成は被検査面にコヒーレン
ト光を照射して欠点部分の透過光あるいは反射光のフラ
ウンホーファ回折像を得て複数個の光電変換素子により
電気信号を得る検出手段と、得られた電気信号を二値コ
ードに変換しその二値コードパターンにより欠点の判別
を行なう判別手段とから成ることを特徴とする。以下に
本発明の透過法を用いた実施例を図面に基いて詳細に説
明する。第1図において1はコヒーレント光を照射する
ためのレーザ光源、2、2’はレーザ光束を大きくする
ためのコリメーテイングレンズでシート状物を検査する
走査光点を所定の大きさに設定する。
ト光を照射して欠点部分の透過光あるいは反射光のフラ
ウンホーファ回折像を得て複数個の光電変換素子により
電気信号を得る検出手段と、得られた電気信号を二値コ
ードに変換しその二値コードパターンにより欠点の判別
を行なう判別手段とから成ることを特徴とする。以下に
本発明の透過法を用いた実施例を図面に基いて詳細に説
明する。第1図において1はコヒーレント光を照射する
ためのレーザ光源、2、2’はレーザ光束を大きくする
ためのコリメーテイングレンズでシート状物を検査する
走査光点を所定の大きさに設定する。
3は被検査面を光走査するための回転ミラーで高速モー
タ(図示せず)によつて駆動せられる。
タ(図示せず)によつて駆動せられる。
4はシート状物で長手方向(矢印方向)に走行している
。
。
5はレーザ光源1から被検査面上に照射された走査光点
、6はフーリエ変換用レンズでその前側焦点面が被検査
面上にあり、後側焦点面が受光面7の位置になるよう配
置されている。
、6はフーリエ変換用レンズでその前側焦点面が被検査
面上にあり、後側焦点面が受光面7の位置になるよう配
置されている。
レーザ光源1から照射されたコヒーレント光は被検査面
を透過してフーリエ変換用レンズ6を透過しその後側焦
点面上の受光面7に被検査面のフラウンホーフア回折像
を形成する。第2図は被検査物を織物としたときのフラ
ウンホーフア回折像を示す模式図でありaは織物の正常
部分、bは欠点部分のフラウンホーフア回折像を示して
いる。フラウンホーフア回折の性質により被検査物の走
行移動に対して回折像の形状は変わらない。本発明は次
の特長を有する。即ち回折像は原点(0次回折点)に関
して点対称である。したがつて各種欠点による回折像変
化は回折像の1/2の像面だけ受光してやればよい。
を透過してフーリエ変換用レンズ6を透過しその後側焦
点面上の受光面7に被検査面のフラウンホーフア回折像
を形成する。第2図は被検査物を織物としたときのフラ
ウンホーフア回折像を示す模式図でありaは織物の正常
部分、bは欠点部分のフラウンホーフア回折像を示して
いる。フラウンホーフア回折の性質により被検査物の走
行移動に対して回折像の形状は変わらない。本発明は次
の特長を有する。即ち回折像は原点(0次回折点)に関
して点対称である。したがつて各種欠点による回折像変
化は回折像の1/2の像面だけ受光してやればよい。
これによつて受光のための光電変換素子は少なくて済み
非常に簡略化することができる。
非常に簡略化することができる。
第1図に示す受光面7は第2図A,bに示す全フラウン
ホーフア回折像8の破線枠内9で示す1/2の像を受光
するものであり、その受光面には、たとえば、第3図の
ように複数個の光電変換素子Dl,D−2,・・・・・
・D−nが配置されている。第4図にフラウンホーフア
回折像の受光面7からの電気信号を処理して欠点を判別
する手段のプロツク線図を示す。二値コード変換部では
前段の回折像検出部における複数の光電変換素子Dl,
D−2,・・・・・・D−nの出力を複数段階のレベル
値に分割し、各々のレベル値信号を二値コード(パルス
信号)に変換する。欠点判別部ではあらかじめ各種の判
別すべき各々の欠点について対応づけられている二値コ
ードパターンとの比較を行ない欠点の種類を判別する。
同時に欠点位置検出部は回転ミラー3からの同期信号を
とり出し欠点の位置を決定し、欠点種類とともに記憶部
に入力させ記録する。光電変換素子に入力された電気信
号を処理して欠点を判別する過程を第5図、第6図を使
つてさらに詳しく説明する。
ホーフア回折像8の破線枠内9で示す1/2の像を受光
するものであり、その受光面には、たとえば、第3図の
ように複数個の光電変換素子Dl,D−2,・・・・・
・D−nが配置されている。第4図にフラウンホーフア
回折像の受光面7からの電気信号を処理して欠点を判別
する手段のプロツク線図を示す。二値コード変換部では
前段の回折像検出部における複数の光電変換素子Dl,
D−2,・・・・・・D−nの出力を複数段階のレベル
値に分割し、各々のレベル値信号を二値コード(パルス
信号)に変換する。欠点判別部ではあらかじめ各種の判
別すべき各々の欠点について対応づけられている二値コ
ードパターンとの比較を行ない欠点の種類を判別する。
同時に欠点位置検出部は回転ミラー3からの同期信号を
とり出し欠点の位置を決定し、欠点種類とともに記憶部
に入力させ記録する。光電変換素子に入力された電気信
号を処理して欠点を判別する過程を第5図、第6図を使
つてさらに詳しく説明する。
すなわち第5図、第6図においてaは正常部bは欠点部
のそれぞれ一部分図でフラウンホーフア回折像をその受
光部の一例を示している。
のそれぞれ一部分図でフラウンホーフア回折像をその受
光部の一例を示している。
第5図aにおける各光電変換素子の出力を二値コード変
換部で第6図のような二値コード(1あるいは0)に変
換し第5図bにおける各光電変換素子の出力を第6図b
のような二値コードに変換する。
換部で第6図のような二値コード(1あるいは0)に変
換し第5図bにおける各光電変換素子の出力を第6図b
のような二値コードに変換する。
第6図A,bにおける上下段2つの二値コードLl,L
2は第7図に示すように各光電変換素子の出力をある適
当なレベル1 (L1)とそれよりも低いレベル2(L
2)とに分割した信号を表わす。
2は第7図に示すように各光電変換素子の出力をある適
当なレベル1 (L1)とそれよりも低いレベル2(L
2)とに分割した信号を表わす。
必要によつては3,4段の複数段階のレベル値に分割し
てもよい。
てもよい。
に分割次に欠点判別部において第6図aあるいは第6図
bにおける各光電変換素子の出力を論理回路により組み
合わせあらかじめわかつている各種欠点の組み合わせと
比較し欠点種類を決定する。
bにおける各光電変換素子の出力を論理回路により組み
合わせあらかじめわかつている各種欠点の組み合わせと
比較し欠点種類を決定する。
第5図、第6図においては光電変換素子を25個として
説明したが本発明ではこれに限定するものではない実施
例では欠点部のフラウンホーフア回折像検出に際しフラ
ウンホーフア回折像を直接光電変換素子で受光している
が、フラウンホーフア回折像から得られる空間周波数フ
イルタを受光面の直前に配置し正常部と重複するフラウ
ンホーフア回折光を取り除き欠点部によるフラウンホー
フア回折像の変化分のみを受光することも可能である。
説明したが本発明ではこれに限定するものではない実施
例では欠点部のフラウンホーフア回折像検出に際しフラ
ウンホーフア回折像を直接光電変換素子で受光している
が、フラウンホーフア回折像から得られる空間周波数フ
イルタを受光面の直前に配置し正常部と重複するフラウ
ンホーフア回折光を取り除き欠点部によるフラウンホー
フア回折像の変化分のみを受光することも可能である。
次に本発明の具体的実施例について述べる。(実施例)
シート状物として100cm幅のタフタ織物を使用し走
行速度を300m/Min、回転ミラー(六面鏡)の回
転数を2500min、5mwレーザーのスポツト径を
20mmとし、布面からの透過光のフラウンホーフア回
折像を取り出して織物の検反を行なつた。
シート状物として100cm幅のタフタ織物を使用し走
行速度を300m/Min、回転ミラー(六面鏡)の回
転数を2500min、5mwレーザーのスポツト径を
20mmとし、布面からの透過光のフラウンホーフア回
折像を取り出して織物の検反を行なつた。
目視検反と比較して非常に高速でかつ正確に欠点検出及
びその種類判別をすることができた。なお走行速度は3
00m/Min〜350m/Minが適当であり、厚地
織物の場合にはレーザー光の出力を若干上げることによ
つて同様の結果が得られる。以上詳述したように本発明
ではシート状物にコヒーレント光を照射して欠点部分の
透過光あるいは反射光のフラウンホーフア回折像を複数
個の光電変換素子で受光し、得られた電気信号を複数段
階のレベル値に分割して、各々のレベル値信号を二値コ
ードに変換しその二値コードパターンにより各種欠点を
判別する欠点判別法であるので従来の方法に比べ装置が
単純化低コストとなり高速でシート材の欠点を判別する
ことが可能で実用に供することが容易で゛ある。
びその種類判別をすることができた。なお走行速度は3
00m/Min〜350m/Minが適当であり、厚地
織物の場合にはレーザー光の出力を若干上げることによ
つて同様の結果が得られる。以上詳述したように本発明
ではシート状物にコヒーレント光を照射して欠点部分の
透過光あるいは反射光のフラウンホーフア回折像を複数
個の光電変換素子で受光し、得られた電気信号を複数段
階のレベル値に分割して、各々のレベル値信号を二値コ
ードに変換しその二値コードパターンにより各種欠点を
判別する欠点判別法であるので従来の方法に比べ装置が
単純化低コストとなり高速でシート材の欠点を判別する
ことが可能で実用に供することが容易で゛ある。
第]図は本発明による欠点判別法の一実施例を示すシー
ト状物の欠点検出装置の配置図、第2図A,bはそれぞ
れ正常部欠点部のフラウンホーフア回折像の模式図、第
3図は受光面における光電素子の配置例、第4図は信号
処理過程を示すプロツク線図、第5図A,bはそれぞれ
正常部、欠点部のフラウンホーフア回折像と光電変換素
子との関係を示す配置例、第6図A,bはそれぞれの各
光電変換素子出力の二値コードの変換出力を示す図、第
7図は二値コードに変換するための2分割レベルを示す
図で゛ある。
ト状物の欠点検出装置の配置図、第2図A,bはそれぞ
れ正常部欠点部のフラウンホーフア回折像の模式図、第
3図は受光面における光電素子の配置例、第4図は信号
処理過程を示すプロツク線図、第5図A,bはそれぞれ
正常部、欠点部のフラウンホーフア回折像と光電変換素
子との関係を示す配置例、第6図A,bはそれぞれの各
光電変換素子出力の二値コードの変換出力を示す図、第
7図は二値コードに変換するための2分割レベルを示す
図で゛ある。
Claims (1)
- 1 シート状物にコヒーレント光を照射して透過光ある
いは反射光を光学変換してフラウンホーファ回折像を得
、その回折像面に設けた複数個の光電変換素子により電
気信号を得る検出手段と、各光電変換素子から得られた
電気信号を複数段階のレベル値に分割し各々のレベル値
信号を二値コードに変換し、その二値コードパターンに
より各種欠点を判別する判別手段とからなることを特徴
とするシート状物の欠点判別法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP859876A JPS5952378B2 (ja) | 1976-01-28 | 1976-01-28 | シ−ト状物の欠点判別法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP859876A JPS5952378B2 (ja) | 1976-01-28 | 1976-01-28 | シ−ト状物の欠点判別法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5292579A JPS5292579A (en) | 1977-08-04 |
| JPS5952378B2 true JPS5952378B2 (ja) | 1984-12-19 |
Family
ID=11697394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP859876A Expired JPS5952378B2 (ja) | 1976-01-28 | 1976-01-28 | シ−ト状物の欠点判別法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5952378B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5474792A (en) * | 1977-11-28 | 1979-06-15 | Nippon Steel Corp | Surface defect inspection method of steel plates |
-
1976
- 1976-01-28 JP JP859876A patent/JPS5952378B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5292579A (en) | 1977-08-04 |
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