JPH06309829A - 光ディスクの表面欠陥検査装置 - Google Patents
光ディスクの表面欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH06309829A JPH06309829A JP9953693A JP9953693A JPH06309829A JP H06309829 A JPH06309829 A JP H06309829A JP 9953693 A JP9953693 A JP 9953693A JP 9953693 A JP9953693 A JP 9953693A JP H06309829 A JPH06309829 A JP H06309829A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- optical disk
- optical disc
- circuit
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ディスクの信号面(記録膜)全面および内
周,外周の鏡面部分の表面欠陥も検出すること。 【構成】 照射位置検出回路12が光ディスクの鏡面付
近(内周,外周の鏡面に隣あった信号面部分を含む)を
検出したときは整形回路11からの出力信号をローパス
フィルタ13を介して取り出し、それ以外の位置を検出
したときは整形回路11からの出力信号を直接取り出す
ようにスイッチSWを制御する。したがって、ローパス
フィルタ13から取り出した信号は他の部分、すなわち
光ディスクの信号面部分と同じように平坦になり、これ
らがスイッチSWを通して判定信号作成回路14に入力
され判定信号が作成され、判定回路15によって、スイ
ッチSWを通して得られたビデオ信号と比較される。
周,外周の鏡面部分の表面欠陥も検出すること。 【構成】 照射位置検出回路12が光ディスクの鏡面付
近(内周,外周の鏡面に隣あった信号面部分を含む)を
検出したときは整形回路11からの出力信号をローパス
フィルタ13を介して取り出し、それ以外の位置を検出
したときは整形回路11からの出力信号を直接取り出す
ようにスイッチSWを制御する。したがって、ローパス
フィルタ13から取り出した信号は他の部分、すなわち
光ディスクの信号面部分と同じように平坦になり、これ
らがスイッチSWを通して判定信号作成回路14に入力
され判定信号が作成され、判定回路15によって、スイ
ッチSWを通して得られたビデオ信号と比較される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は情報を記録する光ディス
クの表面欠陥検査装置に関する。
クの表面欠陥検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図3は光ディスクの外観検査機の構造を
示す。図3に示すように、光源1で発生した光は、照射
用光学系2を通過した後、光ディスク3に照射される。
光ディスク3は、検査中回転している。光ディスク3か
ら反射された光は、受光用光学系4によってCCD5に
受光される。
示す。図3に示すように、光源1で発生した光は、照射
用光学系2を通過した後、光ディスク3に照射される。
光ディスク3は、検査中回転している。光ディスク3か
ら反射された光は、受光用光学系4によってCCD5に
受光される。
【0003】光ディスク3上に外観欠陥がある場合、図
4に従来例によるビデオ信号の例で示すようにCCD5
からの信号6は、光ディスク3の外周から内周までの範
囲に応答して発生し、光ディスク3上に外観欠陥がある
と、欠陥により生じる信号8を判定信号7と比較するこ
とによって検出する。
4に従来例によるビデオ信号の例で示すようにCCD5
からの信号6は、光ディスク3の外周から内周までの範
囲に応答して発生し、光ディスク3上に外観欠陥がある
と、欠陥により生じる信号8を判定信号7と比較するこ
とによって検出する。
【0004】この判定信号7は、正常な面に応答する信
号のレベルにある乗数をかけて作られる。
号のレベルにある乗数をかけて作られる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように、従来の検査方法では、光ディスク3の内周,外
周の鏡面に隣あった信号面部分および鏡面については大
きな信号9,10が発生するため、信号6のレベルが不
安定もしくは欠陥があるにもかかわらず、正確に検査で
きなかった。
ように、従来の検査方法では、光ディスク3の内周,外
周の鏡面に隣あった信号面部分および鏡面については大
きな信号9,10が発生するため、信号6のレベルが不
安定もしくは欠陥があるにもかかわらず、正確に検査で
きなかった。
【0006】そこで本発明の目的は以上のような問題を
解消した光ディスクの表面欠陥検査装置を提供すること
にある。
解消した光ディスクの表面欠陥検査装置を提供すること
にある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は光ディスクの表面に光を照射する手段と、前記
光ディスクの表面からの反射光を受光して光電変換する
受光手段と、該受光手段からの信号と判定用信号とを比
較して前記光ディスクの表面欠陥を検出する欠陥検出手
段と、前記光ディスクへの前記光の照射位置を検出する
位置検出手段と、該位置検出手段の検出結果に基づいて
前記光ディスクの所定位置からの反射光に関する前記受
光手段からの信号をローパスフィルタを通してから前記
欠陥検出手段に供給する手段とを具えたことを特徴とす
る。
本発明は光ディスクの表面に光を照射する手段と、前記
光ディスクの表面からの反射光を受光して光電変換する
受光手段と、該受光手段からの信号と判定用信号とを比
較して前記光ディスクの表面欠陥を検出する欠陥検出手
段と、前記光ディスクへの前記光の照射位置を検出する
位置検出手段と、該位置検出手段の検出結果に基づいて
前記光ディスクの所定位置からの反射光に関する前記受
光手段からの信号をローパスフィルタを通してから前記
欠陥検出手段に供給する手段とを具えたことを特徴とす
る。
【0008】
【作用】本発明によれば、光ディスクの所定位置からの
反射光に応答する受光手段からの信号をローパスフィル
タを通して判定することによって、光ディスクの内周,
外周の鏡面に隣あった信号面および鏡面についても正確
な検査が行えるようになる。
反射光に応答する受光手段からの信号をローパスフィル
タを通して判定することによって、光ディスクの内周,
外周の鏡面に隣あった信号面および鏡面についても正確
な検査が行えるようになる。
【0009】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【0010】図1は本発明を適用した検出回路のブロッ
ク図である。本検出回路は、図3に示した外観検査機の
CCD5からの信号を入力する。CCD5からのビデオ
信号は整形回路11を通して整形する。12は照射位置
検出回路であって、図3に示した外観検査機における光
源1の走査手段等からの信号に基づいて光ディスクへの
光源1の照射位置を検出し、その検出位置に応じてスイ
ッチSWを切替える。すなわち、光ディスクの鏡面付近
(内周,外周の鏡面に隣あった信号面部分を含む)を検
出したときは整形回路11からの出力信号をローパスフ
ィルタ13を介して取り出し、それ以外の位置を検出し
たときは整形回路11からの出力信号を直接取り出すよ
うにスイッチSWを制御する。したがって、ローパスフ
ィルタ13から取り出した信号は他の部分、すなわち光
ディスクの信号面部分と同じように平坦になり、これら
がスイッチSWを通して判定信号作成回路14に入力さ
れ判定信号が作成され、判定回路15によって、スイッ
チSWを通して得られたビデオ信号と比較される。判定
回路15ではこのビデオ信号が判定信号のレベルまで低
下したところが欠陥として判定され、判定信号が出力さ
れる。
ク図である。本検出回路は、図3に示した外観検査機の
CCD5からの信号を入力する。CCD5からのビデオ
信号は整形回路11を通して整形する。12は照射位置
検出回路であって、図3に示した外観検査機における光
源1の走査手段等からの信号に基づいて光ディスクへの
光源1の照射位置を検出し、その検出位置に応じてスイ
ッチSWを切替える。すなわち、光ディスクの鏡面付近
(内周,外周の鏡面に隣あった信号面部分を含む)を検
出したときは整形回路11からの出力信号をローパスフ
ィルタ13を介して取り出し、それ以外の位置を検出し
たときは整形回路11からの出力信号を直接取り出すよ
うにスイッチSWを制御する。したがって、ローパスフ
ィルタ13から取り出した信号は他の部分、すなわち光
ディスクの信号面部分と同じように平坦になり、これら
がスイッチSWを通して判定信号作成回路14に入力さ
れ判定信号が作成され、判定回路15によって、スイッ
チSWを通して得られたビデオ信号と比較される。判定
回路15ではこのビデオ信号が判定信号のレベルまで低
下したところが欠陥として判定され、判定信号が出力さ
れる。
【0011】このように、図2に本発明実施例における
ビデオ信号の例で示すごとく光ディスクの内周,外周付
近のビデオ信号であっても、その信号面のそれと同等の
レベルとなり、判定信号を作成して比較することができ
るので、これら内周,外周付近の欠陥も正確に検出する
ことができる。
ビデオ信号の例で示すごとく光ディスクの内周,外周付
近のビデオ信号であっても、その信号面のそれと同等の
レベルとなり、判定信号を作成して比較することができ
るので、これら内周,外周付近の欠陥も正確に検出する
ことができる。
【0012】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
ディスクの信号面(記録膜)全面および内周,外周の鏡
面部分の表面欠陥も検出することができる。
ディスクの信号面(記録膜)全面および内周,外周の鏡
面部分の表面欠陥も検出することができる。
【図1】本発明の実施例のブロック図である。
【図2】同実施例におけるビデオ信号の一例を示す図で
ある。
ある。
【図3】外観検査機の構造を示す図である。
【図4】従来例によるビデオ信号の一例を示す図であ
る。
る。
【符号の説明】 1 光源 2 照射用光学系 3 光ディスク 4 受光用光学系 5 CCD 11 整形回路 12 照射位置検出回路 13 ローパスフィルタ 14 判定信号作成回路 15 判定回路
Claims (1)
- 【請求項1】 光ディスクの表面に光を照射する手段
と、前記光ディスクの表面からの反射光を受光して光電
変換する受光手段と、該受光手段からの信号と判定用信
号とを比較して前記光ディスクの表面欠陥を検出する欠
陥検出手段と、前記光ディスクへの前記光の照射位置を
検出する位置検出手段と、該位置検出手段の検出結果に
基づいて前記光ディスクの所定位置からの反射光に関す
る前記受光手段からの信号をローパスフィルタを通して
から前記欠陥検出手段に供給する手段とを具えたことを
特徴とする光ディスクの表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9953693A JPH06309829A (ja) | 1993-04-26 | 1993-04-26 | 光ディスクの表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9953693A JPH06309829A (ja) | 1993-04-26 | 1993-04-26 | 光ディスクの表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06309829A true JPH06309829A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14249931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9953693A Pending JPH06309829A (ja) | 1993-04-26 | 1993-04-26 | 光ディスクの表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06309829A (ja) |
-
1993
- 1993-04-26 JP JP9953693A patent/JPH06309829A/ja active Pending
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