JPS6161428A

JPS6161428A - Ｘｙテ−ブル駆動方法

Info

Publication number: JPS6161428A
Application number: JP18276684A
Authority: JP
Inventors: Tatsu Nagai; 長井　達
Original assignee: Toshiba Seiki Co Ltd
Current assignee: Toshiba Mechatronics Co Ltd
Priority date: 1984-09-03
Filing date: 1984-09-03
Publication date: 1986-03-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は半導体製造装置に用いられて好適なＸＹテーブ
ル駆動方法に関する。

［従来の技術］リードフレームにペレットをマウントするペレットポン
ディング装置、リードフレームのリードポストとペレッ
トのパッド間を金線等のワイヤでポンディングするワイ
ヤポンディング装置等においては、ペレットを吸着保持
するコレットをリードフレームの所定マウント位置に位
置決めしたり、ワイヤを保持したキャピラリーをリード
フレームとペレット一対して予め定められた量だけ変位
させることによってワイヤをリードポストとパッドの所
定ポンディング位置に導くことを可能とするためのＸＹ
テーブルが用いられている。

ここで、ＸＹテーブルは、ペレットのマウント位置、ワ
イヤのポンディング位置等の作業データに応じて、予め
その移動先位置を設定され、該設定された単一または複
数の移動先位置に向けて駆動可能とされている。

他方、ＸＹテーブルは、その周囲に配置されているリー
ドフレーム送り装置等の周辺装置略干渉することのない
可動領域内で駆動されなければならない。

［発明が解決しようとする問題点］しかしながら、従来のＸＹテーブルは、その移動先位置
が果たして可動領域内にあるか否かを判別する機能を備
えていない、そのため、例えばワイヤポンディング装置
において、多数のポンディング位置にワイヤをポンディ
、ソゲする時、第ｎ回目のポンディング時におけるＸＹ
テーブルの移動先位置が可動領域を超えている場合には
、ＸＹテーブルの駆動が第ｎ回目のポンディング中にリ
ミットセンサの作動によって停止したり、ＸＹテーブル
がその慣性によって周辺機器との干渉領域にまで移動し
、装置を損する恐れがある。なお、ＸＹテーブルの駆動
がリミットセンサの作動によって第ｎ回目のポンディン
グ作業中に停止する場合には、製品が不良となったり、
装置の作動条件の再設定が必要となる等の不都合がある
。

本発明は、ＸＹテーブルを可動範囲内においてのみ、予
め要求されている移動先位置に自動的に駆動可能とする
ことを目的とする。

［問題点を解決するための手段］上記目的を達成するために、本発明は、ＸＹテーブルを
予め要求されている移動先位置に自動的に駆動するＸＹ
テーブル駆動方法において、ＸＹテーブルに許容される
可動領域を予め定め、ＸＹテーブルに要求される移動先
位置が上記可動領域の内外のいずれにあるかを判別し、
該移動先位置が可動領域内にある時、ＸＹテーブルを該
移動先位置に駆動し、該移動先位置が可動領域外にある
時、ＸＹテーブルの該移動先位置への駆動を予め中止す
るするようにしたものである。

［作用］したがって、本発明によれば、ＸＹテーブルに予め要求
されている移動先位置が可動領域の内外のいずれにある
かを判別し、ＸＹテーブルの駆動の可否を決定すること
となり、ＸＹテーブルを。

可動範囲内においてのみ、予め要求されている移動先位
置に自動的に駆動することが可能となる。

［実施例］第１図は本発明の実施に用いられる制御装置を示す制御
回路図、第２図は本発明が適用されるワイヤポンディン
グ装置の要部を模式的に示す平面図である。

第２図のワイヤポンディング装置は、ガイドレール１１
の上部の所定位置に、ペレッ）１２がマウントされたリ
ードフレーム１３を位置決めし、リードフレーム１３に
設けたリードボスト１４と、ペレット１２に設けたパッ
ド１５間を金線等のワイヤ１６でポンディング可能とし
ている。１７はＸＹテーブルであり、キャピラリー１８
を支持可能としている。キャピラリー１８は、ワイヤ１
６を保持した状態で、ＸＹテーブル１７の駆動により、
リードフレーム１３とペレット１２に対して予め定めら
れた量だけ相対的に変位し、ワイヤ１６をリードボスト
１４とパッド１５の所定ポンディング位置に導くことを
可能としている。なお、第２図のＺはＸＹテーブル１７
に許容される可動領域であり、リードボス）１４とパッ
ド１５のポンディング位置がこの範囲内にある時、ＸＹ
テーブル１７が周辺機器に干渉したり、リミットセンサ
を作動させることなく、キャピラリー１８を介してワイ
ヤ１６を確実にそれらのポンディング位置にポンディン
グ可能とする。

また、Ａ、Ｂはリードフレーム１３に設けられた２つの
位置ずれ検出マークであり、これらの位置ずれ検出マー
クＡ、Ｂの位置と、それらに対応して予め定められてい
る基準点ａ、ｂの基準位置とのＸ方向およびＹ方向のず
れを検出することにより、ガイドレールｌｌ上に位置決
めされているリードフレーム１３の正規位置に対するＸ
方向およびＹ方向ならびに回転方向のずれ（ΔＸ、ΔＹ
、Δ０）を検出可能としている。

然して、この実施例においては、ＸＹテーブル１７の基
準移動先位置として、リードフレーム１３の各リードボ
スト１４に設定されている各ポンディング位置（ｘ６１
、Ｙｏｌ　）　−（Ｘ６７Ｌ、　Ｙ（７７Ｌ−）が、基
準移動先位置設定器２１に設定される。他方、位置ずれ
検出器２２は、リードフレーム１３に設けられている位
置ずれ検出マークＡ、　１％の位置と、それらの基準点
ａ、ｂの基準位置との相対位置関係により、ガイドレー
ル１１上におけるリードフレーム１３の正規位置に対す
るずれ（ΔＸ、ΔＹ、Δ０）を検出する。

２３は実移動先位置設定器であり、基準移動先位置設定
器２１の設定結果と位置ずれ検出器２２の検出結果によ
りガイドレール１１上のリードフレーム１３に対するｘ
Ｙ、テーブル１７の実移動先位置が設定される。すなわ
ち、ガイドレールｌｌ上のリードフレーム１３が正規位
置に対してずれ（ΔＸ、ΔＹ、Δθ）を生じている場合
には。

実移動先位置設定器２３は、基準移動先位置設定器２１
に設定されているリードフレーム１３の各ポンディング
位置ＣＸｏｘ　、Ｔｏ−ｔ　）−ＣＸｏｙｔ−、Ｙｏｌ
Ｄ　と、位置ずれ検出器２２の検出結果（ΔＸ、ΔＹ、
Δθ）に基づき、ＸＹテーブル１７の実移動先位置とし
てのリードフレーム１３の正規の各ポンディング位置（
Ｘｌ、Ｙｉ　　）　−（Ｘ７Ｌ、　ＹＮ　）を、Ｘｉ　　＝　ｆ　　ＣＸＡＤ、　　Ｙ、ｊ、　、　　Δ
Ｘ、Δｙ、Δθ）・（１）Ｙｉ　　＝　ｇ　　ＣＸ１ｏ
、　　Ｙｂ０１ΔＸ、　Δｙ、Δθ）・　（２）によっ
て算出し、設定する。

２４は制御器であり、制御器２４は、実移動先位置設定
器２３の設定結果と、可動領域設定器２５に予め定めら
れているＸＹテーブル１７の可動領域Ｚとを比較する。

この比較結果により、実移動先位置ＣＸ０Ｌ、Ｙｏｌ　
）が可動領域Ｚ内にある時、ＸＹテーブル駆動部２６に
よってＸＹテーブル１７をその実移動先位置に駆動し、
他方、実移動先位置（Ｘ（＋７Ｌ、　ＹＯ？Ｌ）が可動
領域Ｚ外にある時、ＸＹテーブル１７のその実移動先位
置に対する駆動を予め中止し、譬報器２７によってこの
中止の決定をオペレーターに通報する。

なお、上記制御器２４による実移動先位置設定器２３の
設定結果と′可動領域設定器２５の設定結果との比較は
、リードフレーム１３とベレット１２の全ポンディング
位置に対するポンディングの開始時点で行ない、その時
点で全ポンディング位置に対するＸＹテーブル１７の駆
動の可否を判別してもよく、あるいは、上記比較をリー
ドフレーム１３とペレット１２の各ポンディング位置に
対するポンディングの直前毎に行ない、その直前毎に各
ポンディング位置に対するＸＹテーブル１７の駆動の可
否を判別するものとしてもよい。

以下、ＸＹテーブル１７の駆動が本発明によって中止さ
れるケースのうちの２つの例について説明する。

第１例は第２図に示すように検出マークＡ、　Ｂが基準
点ａ、ｂに対してずれがないのに、実移動先位置設定器
２３に設定されてなるポンディング点すなわち実移動先
位置（ｘ、Ｌ−１、Ｙｏｒｔ−１）、（Ｘ　ｏｙｔ、Ｙ
ｏｃ）が可動領域Ｚからはずれてしまっている場合であ
る。すなわち、この第１例は、基準移動先位置設定器２
１に設定する段階ですでに設定値が可動領域Ｚ外となっ
ていたことを意味しており、コノ設定値（Ｘｏｙｔ−１
，Ｙｏｆｔ−１）、ＣＸ０７Ｌ、Ｙｏｙｔ、）を可動領
域Ｚ内になるよう設定し直すか、或いは（Ｘｏｙｔ−１
，ＹＯａ−ｔ’）、（Ｘｏ７Ｌ、　Ｙ、、Ｌ）をポンデ
ィングする時に、自動運転から手動運転に切り換え、可
動領域Ｚ内の点［第２図における点（Ｘｔ）７＞−ｔ　
。

Ｙ、Ｘρ、（ｘ五、Ｙｏ’代）］　にギヤピラリ１８を
位置合わせして手動でポンディングする。

第２例は、第３図、第４図に示すように、検出マークＡ
、Ｂと基準点ａ、ｂとにずれがない場合には、実移動先
位置設定器２３に設定されるポンディング点すなわち実
移動先位置がすべて可動領域Ｚ内となるように、基準移
動先位置が設定されていたが（第３図）、リードフレー
ム１３が正規位置に対してずれ（ΔＸ、ΔＹ、Δθ）を
生じたために（第４図ではリードフレーム１３が正規位
置に対し右側にずれた状態を示している）、結果的に実
移動先位置−（Ｘ、２４、ＹｆＬ−ｔ　）、（ｘ、７Ｌ
　、Ｙ７Ｌ）が可動領域Ｚからはずれてしまった場合で
ある。すなわち、この第２例においては、基準移動先位
置設定器２１’には可動動領域Ｚ内の基準移動先位置が
設定ｅされているので、第３図に示すようにリードフレ
ーム１３の位置ずれ０の状態では、すべてのポンディン
グ点にワイヤをポンディングすることができる。しかし
ながら、リードフレーム１３に位置ずれがあることから
、このずれを考慮して算出された実際のポンディング点
すなわち実移動先位置（Ｘ、、Ｙｉ　）・・・（ｘ７Ｌ
−／、％−ｆ）　、　　（Ｘ７′Ｌ、　Ｙｚ　）　＋７
）中ノ（Ｘａ−ｔ、　Ｙ＊−ｒ）　ト（ｘＬ、Ｙ九）が
可動領域Ｚ外になってしまったものである。この場合は
自動運転から手動運転に切り換え、可動領域Ｚ内の点［
第・４図における点（Ｘｑ−ｒ、　ＹｆＬ−１）、（Ｘ
ｐ−、Ｙｙｌ　）　］　ニ＊　＋　ヒラ！Ｊ１８を位置
合わせして手動でポンディングする。

すなわち、上記実施例によれば、ＸＹテーブル１７を、
可動範囲Ｚ内においてのみ、予め要求されている移動先
位置に自動的に駆動することが可能となる。したがって
、ＸＹテーブル１７が周辺機器に干渉して装置を損じた
り、不良製品を生産したりすることがなく、また、ＸＹ
テーブル１７がリミットセンサの作動によって停止し、
装置の作動条件を再設定する等の不都合を生ずることが
ない。

なお、上記実施例において、リードフレーム１３のリー
ドボスト１４がペレット１２の全周を囲む位置の全てに
は存在しない場合には、ペレット１２の各パッド１５に
設定されている各ポンディング位置をもＸＹテーブル１
７の可動領域Ｚと比較すべき移動先位置として選定すべ
きは当然である。

また、上記実施例は本発明をワイヤポンディング装置に
適用する場合について説明したが１本発明はペレットポ
ンディング装置等の他の半導体製造装置に広く適用可能
である。

［発明の効果］以上のように、本発明は、ＸＹテーブルを予め要求され
ている移動先位置に自動的に駆動するＸＹテーブル駆動
方法において、ＸＹテーブルに許容される可動領域を予
め定め、ＸＹテーブルに要求される移動先位置が上記可
動領域の内外のいずれにあるかを判別し“、該移動先位
置が可動領域内にある時、ＸＹテーブルを該移動先位置
に駆動し、該移動先位置が可動領域外にある時、ＸＹテ
ーブルの該移動先位置への駆動を予め中止するようにし
たものである。したがって、ＸＹテーブルを、可動範囲
内においてのみ、予め要求されている移動先位置に自動
的に駆動することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施に用いられる制御装置を示す制御
回路図、第２図は本発明が適用されるワイヤポンディン
グ装置を模式的に示す平面図、第３図はＸＹテーブルの
基準移動先位置と可動領域との関係を示す♀口、第４図
はＸＹテーブルの実移動先位置と可動領域との関係を示
す平面図である。１７・・・ＸＹテーブル、２１・・・基準移動先位置設
定器、２３・・・実移動先位置設定器、２４・・・制御
器、２５・・・可動領域設定器、２６・・・ＸＹテーブ
ル駆動部、Ｚ・・・可動領域。代理人　　弁理士　　塩　川　修　冶第１図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ＸＹテーブルを予め要求されている移動先位置に
自動的に駆動するＸＹテーブル駆動方法において、ＸＹ
テーブルに許容される可動領域を予め定め、ＸＹテーブ
ルに要求される移動先位置が上記可動領域の内外のいず
れにあるかを判別し、該移動先位置が可動領域内にある
時、ＸＹテーブルを該移動先位置に駆動し、該移動先位
置が可動領域外にある時、ＸＹテーブルの該移動先位置
への駆動を予め中止することを特徴とするＸＹテーブル
駆動方法。