JPS5957567U - メカニカルマスキング式メツキ装置 - Google Patents
メカニカルマスキング式メツキ装置Info
- Publication number
- JPS5957567U JPS5957567U JP15332782U JP15332782U JPS5957567U JP S5957567 U JPS5957567 U JP S5957567U JP 15332782 U JP15332782 U JP 15332782U JP 15332782 U JP15332782 U JP 15332782U JP S5957567 U JPS5957567 U JP S5957567U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plated
- mask
- plating
- plating device
- plating solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims description 12
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 title claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はこの考案にかかる実施例装置の要部を示した模
式説明図、第2図はマスク開口部におけるメッキ液噴流
に生ずる電流束分布ならびにメッキ液濃度分布のそれぞ
れ状態を示す説明図である。 1・・・・・・チャンバー、3・・・・・・絶縁部材(
マスク)、4・・・・・・電極、5・・・・・・マスク
の開口部、6・・・・・・メッキ液供給管、15・・・
・・・メッキ液回収フィルタ、17・・・・・・排気管
路、C・・・・・・メッキ面(被メッキ材のメッキ対象
部分)、W・・・・・・被メッキ材。
式説明図、第2図はマスク開口部におけるメッキ液噴流
に生ずる電流束分布ならびにメッキ液濃度分布のそれぞ
れ状態を示す説明図である。 1・・・・・・チャンバー、3・・・・・・絶縁部材(
マスク)、4・・・・・・電極、5・・・・・・マスク
の開口部、6・・・・・・メッキ液供給管、15・・・
・・・メッキ液回収フィルタ、17・・・・・・排気管
路、C・・・・・・メッキ面(被メッキ材のメッキ対象
部分)、W・・・・・・被メッキ材。
Claims (1)
- チャンバーの天井面に開口部を備えた被メツキ材用マス
クによって構成し、被メッキ材をこのチャンバー外側か
ら前記マスクに密着させ、この被メッキ材に前記マスク
の開口部を介してメッキ液を噴射供給し、そのメッキ対
象部分にメッキをなし、メッキ作用を行った後のメッキ
液を回収するようにしたメッキ装置において、前記マス
クを絶縁部材にて形成し、そのチャンバー内開口部に前
記被メッキ材を一極としたときの対向極電極を配し、絶
縁部材に固定した機構を設けてなるメカニカルマスキン
グ式メッキ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15332782U JPS5957567U (ja) | 1982-10-09 | 1982-10-09 | メカニカルマスキング式メツキ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15332782U JPS5957567U (ja) | 1982-10-09 | 1982-10-09 | メカニカルマスキング式メツキ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5957567U true JPS5957567U (ja) | 1984-04-14 |
| JPS61359Y2 JPS61359Y2 (ja) | 1986-01-08 |
Family
ID=30339260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15332782U Granted JPS5957567U (ja) | 1982-10-09 | 1982-10-09 | メカニカルマスキング式メツキ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5957567U (ja) |
-
1982
- 1982-10-09 JP JP15332782U patent/JPS5957567U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61359Y2 (ja) | 1986-01-08 |
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