JPS5818966U - スパツタリング装置 - Google Patents
スパツタリング装置Info
- Publication number
- JPS5818966U JPS5818966U JP11125381U JP11125381U JPS5818966U JP S5818966 U JPS5818966 U JP S5818966U JP 11125381 U JP11125381 U JP 11125381U JP 11125381 U JP11125381 U JP 11125381U JP S5818966 U JPS5818966 U JP S5818966U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sputtering equipment
- target surface
- glow discharge
- sputtering
- magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のスパッタリング装置の構造を示す説明図
、第２図は本考案によるスパッタリング装置の構造を示
す説明図である。 尚１、図において、１・・・・・・チャンバー、２・・
間排気系、３・・・・・・スパッタリング電源、４・・
曲陰極、５・・・・・・ターゲット、６・・・・・・磁
石、７・・・・・・陽極、８・・・・・・基板ホルダー
、９・・・・・・基板、１ｏ・・曲ガス流量調節装置、
１１・・・・・・グロー放電検知手段、１２・・・・・
・トリガーガス導入装置である。
、第２図は本考案によるスパッタリング装置の構造を示
す説明図である。 尚１、図において、１・・・・・・チャンバー、２・・
間排気系、３・・・・・・スパッタリング電源、４・・
曲陰極、５・・・・・・ターゲット、６・・・・・・磁
石、７・・・・・・陽極、８・・・・・・基板ホルダー
、９・・・・・・基板、１ｏ・・曲ガス流量調節装置、
１１・・・・・・グロー放電検知手段、１２・・・・・
・トリガーガス導入装置である。
Claims (1)
- 磁界方向が電界方向と直交し、かつ陰極部分に磁石を設
けることにより電極空間においてターゲ゛ ット表面よ
りターゲット表面に磁力線を発生せしめるスパッタリン
グ装置において、グ冶−放電を開始させるためのトリガ
ーガス導入手段及びグ吊−放電が開始されたことを確認
するためのグロー放電検知手段とを具備したことを特徴
とするスパッタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11125381U JPS5818966U (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | スパツタリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11125381U JPS5818966U (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | スパツタリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5818966U true JPS5818966U (ja) | 1983-02-05 |
Family
ID=29905592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11125381U Pending JPS5818966U (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | スパツタリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5818966U (ja) |
-
1981
- 1981-07-27 JP JP11125381U patent/JPS5818966U/ja active Pending
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