JPS6049631U - 化成装置 - Google Patents
化成装置Info
- Publication number
- JPS6049631U JPS6049631U JP14128483U JP14128483U JPS6049631U JP S6049631 U JPS6049631 U JP S6049631U JP 14128483 U JP14128483 U JP 14128483U JP 14128483 U JP14128483 U JP 14128483U JP S6049631 U JPS6049631 U JP S6049631U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- chemical
- chemical conversion
- chemical liquid
- back side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の化成装置を説明するための化成装置の構
成図を示し、第２図は本考案の一実施例に用いた化成装
置の構成図を示す。 １・・・・・・半導体ウェハー、２・・・・・・真空チ
ャック、３・・・・・・真空ノズル、４・・・・・・化
成液吹出し口、５・・・・・・ポンプ、６・・・・・・
化成液回収槽、７ａ、７ｂ・・・・・・電極、８・・・
・・・リード線、９・・・・・・リード線、１ｏ・・・
・・・定電圧、定電流電源。
成図を示し、第２図は本考案の一実施例に用いた化成装
置の構成図を示す。 １・・・・・・半導体ウェハー、２・・・・・・真空チ
ャック、３・・・・・・真空ノズル、４・・・・・・化
成液吹出し口、５・・・・・・ポンプ、６・・・・・・
化成液回収槽、７ａ、７ｂ・・・・・・電極、８・・・
・・・リード線、９・・・・・・リード線、１ｏ・・・
・・・定電圧、定電流電源。
Claims (1)
- 半導体ウェハーの表面を下向きにした状態で、ウェハー
裏面からウェハーを支持するチャック部と、ウェハー表
面に近接し対向して設置されウェハーの直径と同じ広さ
か、それより広い口径を有する化成液吹出部と、化成液
がウェハー表面のみに吹きつけている状態で、ウェハー
裏面のチャック部と化成液を通してウェハー表面に電界
を加えなから化成を行なうための電源部とを有した半導
体装置製造用の化成装置において、薬液吹出し部の材質
に導電性物質を使用して、化成時における電流密度がほ
ぼ均一となるようにしたことを特徴とする化成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14128483U JPS6049631U (ja) | 1983-09-12 | 1983-09-12 | 化成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14128483U JPS6049631U (ja) | 1983-09-12 | 1983-09-12 | 化成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6049631U true JPS6049631U (ja) | 1985-04-08 |
Family
ID=30316039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14128483U Pending JPS6049631U (ja) | 1983-09-12 | 1983-09-12 | 化成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6049631U (ja) |
-
1983
- 1983-09-12 JP JP14128483U patent/JPS6049631U/ja active Pending
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