JPS5958834A - ワイヤボンダ−用クランパ - Google Patents

ワイヤボンダ−用クランパ

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Publication number
JPS5958834A
JPS5958834A JP57169393A JP16939382A JPS5958834A JP S5958834 A JPS5958834 A JP S5958834A JP 57169393 A JP57169393 A JP 57169393A JP 16939382 A JP16939382 A JP 16939382A JP S5958834 A JPS5958834 A JP S5958834A
Authority
JP
Japan
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wire
mat
air
housing
clamper
Prior art date
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Granted
Application number
JP57169393A
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English (en)
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JPH0141024B2 (ja
Inventor
Hiroshi Ushiki
博 丑木
Motoaki Kadosawa
門沢　元昭
Takamichi Aoto
青砥　孝道
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinkawa Ltd
Original Assignee
Shinkawa Ltd
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Publication date
Application filed by Shinkawa Ltd filed Critical Shinkawa Ltd
Priority to JP57169393A priority Critical patent/JPS5958834A/ja
Publication of JPS5958834A publication Critical patent/JPS5958834A/ja
Publication of JPH0141024B2 publication Critical patent/JPH0141024B2/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071—Connecting or disconnecting
    • H10W72/0711—Apparatus therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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    • H10W72/0711—Apparatus therefor
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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    • H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
    • H10W72/07502—Connecting or disconnecting of bond wires using an auxiliary member

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  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はワイヤボンダー用ワイヤクランパに関する。
ワイヤボンダーには、ワイヤが巻回されたスプール側に
ワイヤを引き出す時に生じるワイヤ自体の慣性により必
要以上のワイヤが引き出されることを防止するために、
ワイヤを軽くクランプするワイヤクランパが設けられて
いる。
従来のワイヤクランパは第１図に示すような構造よりな
る。即ち、ワイヤ１は２個のワイヤ押え板２．３によっ
て挾持される。一方のワイヤ押え板２はフレーム４に固
定されている。他方のワイヤ押え板３はフレーム４に固
定された第１の板ばね５に固定されており、この第１の
板ばね５にフレーム４に固定された第２の板ばね６が当
接している。そして、フレーム４に螺合された荷重調整
ねじ７で第２の板ばね６のばね力を調整し、ワイヤ１の
クランプ力を調整するようになっている。
なお、８は荷重調整ねじ７を固定するためのナツトであ
る。
しかしながら、かかるワイヤクランパは、ワイヤが接続
される第１ボンド点から第２ボンド点にキャピラリが移
動する時にワイヤボンダに生じる振動と慣性力により、
板はね５．６が変形するため、クランプ力が変化する。
また２１固のワイヤ押え板２．３でワイヤ１をクランプ
するため、ワイヤ押え板２．３のワイヤクランプ面は鏡
面仕上げ、　　をしなければならなく、コスト高になる
。更にワイヤ押え板２．３のワイヤクランプ面の平行度
は、ワイヤ１を平均的にクランプさせるために、かなり
の精度が要求される。特に２０〜４０ｔｔｍの極細ワイ
ヤはこの傾向か著しい。この平行度の調整は板ばね５を
曲げて行わなければならないので、多大の調整時間がか
かり、更に長時間使用している内に板ばね５が変形して
平行度がくるってし韮う等の欠点があった。
本発明は上記従来技術の欠点を除去したワイヤボンダー
用ワイヤクランパを提供することを目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第２図は本発明の一実施例を示し、（ａ）は縦断面図、
（ｂ）は（ａ）の左側面図である。ハウジング１ｏは、
一端が開口したマット収納部１１を有し、開口部１２側
の端面にはワイヤ１をガイドするためのガイド＄１３が
形成されている。才たハウジング１ｏは開口部１２と反
対側に空気吸込穴１４を有し、この空気吸込穴１４は図
示しない配管チューブを介して真空発生装置に接続され
ている。前記マット収納部１１には、空気を良く通すこ
とができるマット２０が収納されており、ワイヤ１をガ
イド溝１３に通した後に空気をあまり通さない又は全く
通さない押え板３０が配設されている。前記マット２０
としては、例えば空気を良く通すポリウレタンフォーム
等のスポンジ類、フェルト類等を使用する。前記押え板
３０としては、例えば空気を通しにくい上質紙、フェル
ト類を使用する。
そこで、空気吸込穴１４から矢印方向に空気が吸込され
ると、押え板３０はマット２０を通してマット２０側に
吸込される。これにより、ワイヤ１はマット２０と押え
板３０とでクランプされる。
このクランプ力の調整は真空圧を調整することにより行
える。
このように、押え板３０をマット２０側に真空吸着する
ことによりワイヤ１をクランプするので、ワイヤボンダ
ーの振動や慣性力によってクランプ力が変化することが
ない。才だ押え板３０とマット２０との平行度を調整す
る必要がなく、また長時間の使用によって平行度が劣化
することもない。
荻た真空圧によってクランプ力を調整するので、その調
整が容易で、小さなりランプ力でワイヤ１をクランプす
ることができる。
以上の説明から明らかな如く、本発明によれば、クラン
プ力が変化することもなく、またクランプ力の調整が容
易で小さなりランプ力にすることもできる。また平行度
の調整が不要で、平行度が劣化することもない等の効果
を有する。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の平面図、第２図は本発明の一実施例を
示し、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は左側面図である。 １・・・ワイヤ、　　　　　　　　ＩＯ・・・ハタジン
グ、１１・・・マット収納部、　　　　１２・・・開口
部、１３・・・ワイヤガイド溝、　　　１４・・・空気
吸込穴、２０・・・マット、　　　　　　　３０・・・
押え板。 第１図 第２図 （ｂ）　　　　　（０）

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 一端が開口し他端に空気吸込穴が形成されたマット収納
    部を有し、前記開口部の端部にワイヤをガイドするため
    のガイド溝が形成されたハウジングと、前記マット収納
    部に収納され空気を十分通すことができるマットと、前
    記ガイド溝に挿通されたワイヤを介して前記マットに接
    するように前記マット収納部に配設され空気をあまり通
    さないまたは空気を全く通さない押え板とからなり、前
    記空気吸込穴から空気を吸込んで前記マットを通して前
    記押え板を吸着し、前記ワイヤをクランプすることを特
    徴とするワイヤボンダー用クランパ。
JP57169393A 1982-09-28 1982-09-28 ワイヤボンダ−用クランパ Granted JPS5958834A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57169393A JPS5958834A (ja) 1982-09-28 1982-09-28 ワイヤボンダ−用クランパ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57169393A JPS5958834A (ja) 1982-09-28 1982-09-28 ワイヤボンダ−用クランパ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5958834A true JPS5958834A (ja) 1984-04-04
JPH0141024B2 JPH0141024B2 (ja) 1989-09-01

Family

ID=15885763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57169393A Granted JPS5958834A (ja) 1982-09-28 1982-09-28 ワイヤボンダ−用クランパ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5958834A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6112235U (ja) * 1984-06-25 1986-01-24 株式会社 新川 ワイヤボンデイング装置
JPH04214644A (ja) * 1990-12-12 1992-08-05 Nec Kyushu Ltd ワイヤーボンディング装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6112235U (ja) * 1984-06-25 1986-01-24 株式会社 新川 ワイヤボンデイング装置
JPH04214644A (ja) * 1990-12-12 1992-08-05 Nec Kyushu Ltd ワイヤーボンディング装置

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Publication number Publication date
JPH0141024B2 (ja) 1989-09-01

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