JPS5961001A - 抵抗体 - Google Patents
抵抗体Info
- Publication number
- JPS5961001A JPS5961001A JP57170371A JP17037182A JPS5961001A JP S5961001 A JPS5961001 A JP S5961001A JP 57170371 A JP57170371 A JP 57170371A JP 17037182 A JP17037182 A JP 17037182A JP S5961001 A JPS5961001 A JP S5961001A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- film
- adjustment
- electrodes
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、抵抗値を高精度に調整可能とした抵抗体に
関する。
関する。
膜状抵抗体は薄膜抵抗体と厚膜抵抗体とに大別される。
これらのうち、薄膜抵抗体は比抵抗のレンジが狭＜１ｌ
《Ω以下であるのに対し、厚膜抵抗体は比抵抗のレンジ
は１Ω程度から１ ０ｍΩ。
《Ω以下であるのに対し、厚膜抵抗体は比抵抗のレンジ
は１Ω程度から１ ０ｍΩ。
１００ｍΩ稈度寸でと広い利点がある。しかしながら、
これらの抵抗体、特に厚膜抵抗体は仕上り精度が悪いた
め、トリミングをしないと抵抗値を±１０％程度の公差
におさめることは困難であった。このようにトリミング
した抵抗体は、トリミング時のマイクロクラッｆ７等に
起因する雑音が発生し易く、高精度の微小電流増幅回路
等の用途には適さない。
これらの抵抗体、特に厚膜抵抗体は仕上り精度が悪いた
め、トリミングをしないと抵抗値を±１０％程度の公差
におさめることは困難であった。このようにトリミング
した抵抗体は、トリミング時のマイクロクラッｆ７等に
起因する雑音が発生し易く、高精度の微小電流増幅回路
等の用途には適さない。
この発明の目的は、抵抗体膜にクラック等の悪影響を及
ぼすとと々く抵抗値を調整できる抵抗体を桿供すること
である。
ぼすとと々く抵抗値を調整できる抵抗体を桿供すること
である。
この発明に係る抵抗体は、対向したーヌ・［の主電極間
に複数の線状の調整用電極を配列形成す主電極と調整用
電極との間または調整用朗、罹間を適宜短絡することＫ
よって行なうようにしたものである。
に複数の線状の調整用電極を配列形成す主電極と調整用
電極との間または調整用朗、罹間を適宜短絡することＫ
よって行なうようにしたものである。
この発明によれば電極の短絡により抵抗値を調整する際
、トリミングの場合のように抵抗膜にマイクロフラッグ
の如も機械的な悪影響と及ぼすおそれが全くなくなるの
で、高精度でしかも低雑音特性の抵抗体を得ることが可
能となる。
、トリミングの場合のように抵抗膜にマイクロフラッグ
の如も機械的な悪影響と及ぼすおそれが全くなくなるの
で、高精度でしかも低雑音特性の抵抗体を得ることが可
能となる。
第１図はこの発明の一実施例に係る抵抗体の平面図であ
る。１はアルミナセラミック等の耐熱性絶縁材料からな
る基板でおり、この基板１上に一定距離隔てて対向する
一対の主電極２ａ。
る。１はアルミナセラミック等の耐熱性絶縁材料からな
る基板でおり、この基板１上に一定距離隔てて対向する
一対の主電極２ａ。
２ｂが形成され、さらにこれらの主電極２１Ｌ。
２ｂ間に複数の線状の調整用電極３が平行に配列形成さ
れている。そして、これらのｆｉｔ 極２ａ 。
れている。そして、これらのｆｉｔ 極２ａ 。
２ｂ、３に接して抵抗膜４が形成さｈでいる。
抵抗膜４は、前述したように比抵抗のレンジの点から厚
膜抵抗体が好ましい。厚膜抵抗体は通常がラス″１ｑが
上面に形成され、この上に電極ケ被着するのは困難であ
るので、図のように電１ｉＥ ２ ａ ｉ ２ ｂ 、
３を先に形成し、その上に抵抗膜４Ｉを形成している。
膜抵抗体が好ましい。厚膜抵抗体は通常がラス″１ｑが
上面に形成され、この上に電極ケ被着するのは困難であ
るので、図のように電１ｉＥ ２ ａ ｉ ２ ｂ 、
３を先に形成し、その上に抵抗膜４Ｉを形成している。
一方、抵抗膜４が厚膜抵抗体の場合、焼成の工程を必要
とするため、電極２ｇ、２ｂ、’３としても焼成可能な
薄膜であることが要求される。
とするため、電極２ｇ、２ｂ、’３としても焼成可能な
薄膜であることが要求される。
焼成可能な薄電性薄膜としては、例えばＴ ｌ ／’Ｎ
ｉ ／Ａｕ膜あるいはＣｒ／Ａｕ膜等の積Ｎ膜を挙げ
ることができる。このような薄膜を用いれば、調整用電
極３を線幅、ピッチ共３０ Ｉｔ程度といった微細な形
状にすることは容易である。
ｉ ／Ａｕ膜あるいはＣｒ／Ａｕ膜等の積Ｎ膜を挙げ
ることができる。このような薄膜を用いれば、調整用電
極３を線幅、ピッチ共３０ Ｉｔ程度といった微細な形
状にすることは容易である。
このように構成される抵抗体の抵抗値、っ１り主事１ヴ
２ｎ、２ｂ間の抵抗値をｈｊ、”、′整するには、コＴ
、１１°（、極２ａ、２ｂとそＪしに＋４１＞ｘする調
整用電体３との間、または調整用Ｔｌｊ ４；メ３（・
）相方間を、ワイヤボンディジグ捷たは導ｒ木ベー、ス
トのイ寸名により短絡してゆく。短絡数が多くなれば、
その分だけ↓Ｉ（ｌ龜ｆ１１４は減少してゆくので、’
ｌ’：ｌ ｉ票抵抗値に’？ｒ したところで短絡作
業を止めｈ：ｉ：、１１−′に・、にに：１ｔ４’度な
抵抗体を得ることができる。酸１１整用？ｉ〒せ、３の
糾３幅、ピッチを３０μ程度とすｈＪｆ、、この抵抗１
１＾を１１０％の公差におさめることは容易となる。
２ｎ、２ｂ間の抵抗値をｈｊ、”、′整するには、コＴ
、１１°（、極２ａ、２ｂとそＪしに＋４１＞ｘする調
整用電体３との間、または調整用Ｔｌｊ ４；メ３（・
）相方間を、ワイヤボンディジグ捷たは導ｒ木ベー、ス
トのイ寸名により短絡してゆく。短絡数が多くなれば、
その分だけ↓Ｉ（ｌ龜ｆ１１４は減少してゆくので、’
ｌ’：ｌ ｉ票抵抗値に’？ｒ したところで短絡作
業を止めｈ：ｉ：、１１−′に・、にに：１ｔ４’度な
抵抗体を得ることができる。酸１１整用？ｉ〒せ、３の
糾３幅、ピッチを３０μ程度とすｈＪｆ、、この抵抗１
１＾を１１０％の公差におさめることは容易となる。
しかも、このようにして調整さ）１九祇抗体は、抵抗膜
４の部分にクラ、りのよう々欠１’ｌ？ｌが生じないた
め、低雑音となり、増幅回り等に最適である。
４の部分にクラ、りのよう々欠１’ｌ？ｌが生じないた
め、低雑音となり、増幅回り等に最適である。
第２図はこの発明の他の実施例を示すもので、調整用電
極３の各々を３８．３ｂの如く２分別した点が先の実施
例と異なっている。このようにすると、抵抗値の調整を
先の実施例の１／２のピッチ、つ′まり２倍の精度で行
なうことが可能となる。
極３の各々を３８．３ｂの如く２分別した点が先の実施
例と異なっている。このようにすると、抵抗値の調整を
先の実施例の１／２のピッチ、つ′まり２倍の精度で行
なうことが可能となる。
第１図はこの発明の一実ノ孔例を示す平面図、身１２し
１は他の実施例を示す平面図である。 １・・・基板、２ ａ 、 ２ ｂ ＝−主’ｔ”；：
ｌ、 僕、３ ＋ ３１ ＋３ｂ・・・調整用％ ＠
、 ４−抵抗膜。
１は他の実施例を示す平面図である。 １・・・基板、２ ａ 、 ２ ｂ ＝−主’ｔ”；：
ｌ、 僕、３ ＋ ３１ ＋３ｂ・・・調整用％ ＠
、 ４−抵抗膜。
Claims (4)
- （１）対向した一対の主電極間に複数の線状の調整用電
極を配列形成すると共に、こｉｚら主電極および調整用
電極に接して抵抗膜を形成し、前記主電極と調整用電極
との間または調整用電椿間を適宜短絡せしめて前記抵抗
膜の主′？ホ極間の抵抗値を調整して々ることを特徴と
する抵抗体。 - （２）抵抗膜は厚膜抵抗体により形成されたものである
ことを特徴とする請求 項記載の抵抗体〇 - （３） 調整用電極はＴ ＋ ７’ＦＪ ｌ／Ａ ｕ
膜、Ｃ ｒ／Ａ ｕ膜等の焼成可能な薄膜によ多形成さ
れたものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の抵抗体。 - （４）調整用電極は各々分割形成されていることを特徴
とする特許請求の範囲第１項または第３項記載の抵抗体
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57170371A JPS5961001A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 抵抗体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57170371A JPS5961001A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 抵抗体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961001A true JPS5961001A (ja) | 1984-04-07 |
Family
ID=15903690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57170371A Pending JPS5961001A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 抵抗体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961001A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63198302A (ja) * | 1987-02-13 | 1988-08-17 | 大省工業株式会社 | チツプ型半固定抵抗器 |
| JPH0563001U (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-20 | 安藤電気株式会社 | 高周波用可変抵抗器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS517625B2 (ja) * | 1972-09-02 | 1976-03-09 |
-
1982
- 1982-09-29 JP JP57170371A patent/JPS5961001A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS517625B2 (ja) * | 1972-09-02 | 1976-03-09 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63198302A (ja) * | 1987-02-13 | 1988-08-17 | 大省工業株式会社 | チツプ型半固定抵抗器 |
| JPH0563001U (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-20 | 安藤電気株式会社 | 高周波用可変抵抗器 |
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