JPS59663A - 波形テスト方法 - Google Patents

波形テスト方法

Info

Publication number
JPS59663A
JPS59663A JP57111208A JP11120882A JPS59663A JP S59663 A JPS59663 A JP S59663A JP 57111208 A JP57111208 A JP 57111208A JP 11120882 A JP11120882 A JP 11120882A JP S59663 A JPS59663 A JP S59663A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
waveform
test method
nondefective
microcomputer
test
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57111208A
Other languages
English (en)
Inventor
Masumi Masuda
益田 益美
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP57111208A priority Critical patent/JPS59663A/ja
Publication of JPS59663A publication Critical patent/JPS59663A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2832Specific tests of electronic circuits not provided for elsewhere
    • G01R31/2836Fault-finding or characterising
    • G01R31/2846Fault-finding or characterising using hard- or software simulation or using knowledge-based systems, e.g. expert systems, artificial intelligence or interactive algorithms

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Artificial Intelligence (AREA)
  • Evolutionary Computation (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明はIC(集積回路)、トランジスタ。
ダイオードなどの半導体装置から得られる交流状の波形
(電圧、電流値が時間と共に変化)の良/否判定を行な
う場合などに好適する波形テスト方法に関する。
〔発明の技術的背景及びその問題点〕
この種の従来方法は、第1図に示す如く人間が、ブラウ
ン管に写ったAC波形(時間と共に電圧、電流値が連続
的に変化する波形・・・交流状の波形)を見て、その艮
/否を判断していた。
部ち作業者1により、IC供給箱2に入っているIC3
をICソケット箱4にセットし、テスト開始スイッチ5
をオン状態にする。するとテスト装置6により、ACテ
スト波形がブラウン管1にあられれる。作業者1は、そ
れを見工良/否を判断し、テス)ICを良品箱8または
不良品箱9へ選別するものである。
しかしながら$1図の方法では、テスト結果の艮/否の
判定が人間の判断であるため、テスト生産能力に限界が
あり、また判定ミスをおこすおそれがあった。
〔発明の目的〕
本発明は上記実情に鑑みてなされたもので。
波形テストを自動化すること)二より、生産能力を向上
し、信頼性の向上をはかり得る波形テスト方法を提供し
ようとするものである。
〔発明の概要〕
上記発明の目的を達成するため1人間の視覚によるAC
テスト波形の良/否の判断の代6月二、I’l”V(工
業用テレビジョン)、C0D(電萄結合素子)等の撮像
装置のカメラで、テスト装置のブラウン管から画一デー
タを取り込み、マイクロコンピュータ等(二よるパター
ン認識による判断(=置き換えたものである。
〔発明の実施例〕
以下図面を参照して本発明の一実施例を説明する。、第
2図に示される如<IC自動ローディング部11及び搬
送部12(二より、ICEがコンタクト部13に送られ
てくる。ここで例えばIC,9のビンとコンタクト部1
3の測定子とがコンタクトされたICEは、テスト装置
6(二よりACCススl形ブラウン管7に写し出す。
t(Difilカメラ(ITV’、ccI)等)14で
写し、インターフェース15によりマイクロコンピュー
タ16へ画像データを取り込み、そのデータのパターン
認識をマイコン16で行なう。
このマイコシ16内には、良品パターンとか良品の限界
値等のデータがいくつか収納されていることは勿論であ
る。そしてインターフェース15から取り込んだデータ
と、マイコン16内の良品パターン等との比較を行ない
、その結果得られた良/否の判定信号をインターフェー
ス17に送り、良/否選別部18を動作させ、IC3の
良/否を逸別するものである。
上述した実施例によれば、自動化できることにより生産
能力が少くとも2〜3倍は向上する。
また装置化することにより判断基準が明確になり、人間
がやるようなばらつきがなくなる。またカメラ11とパ
ターン認識を行なうマイコン16等を用意するだけでよ
く、従来のテスト装置のブラウン管から撮像装置14を
介して画像を取り込み、画像比較を行なうだけの構成だ
から信号の処理形態が非常に単純であり、従って実施が
極めて容易である。
〔発明の効塁、〕
以上説明した如く本発明によれば、自動化することC:
より生産能力が向上し、また機械化すること(二より信
頼性が向上し、また人間の代わりをする一般的な装置を
2〜3付加するだけで、従来のテスト用構成はいじらす
にそのま\使えるから、実施が極めて容易である。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の波形テスト方法を示す概略構成図、@2
図は本発明の一実施例を示す構成図である。 3・・・IC16・・・テスト装置、7・・・ブラウン
管。 13・・・コンタクト部、14 ・・・カメラ、15゜
17・・・インターフェース、16・・・マイコン。 18・・・IC選別部。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被測定物から得られる交流状の波形をブラウン管
    に写し、前記波形画像を撮像装置(二より取り込み、パ
    ターン認識により前記波形の良/否の判定を行なうこと
    を特徴とする波形テスト方法。
  2. (2)、前記パターン認識は、前記被測定物がら得られ
    る波形と基準の良品波形パターンとを比較するものであ
    ることを特徴とする特許請求の範囲!J1項1:記載の
    波形テスト方法。
  3. (3)前記被測定物は、集積回路、トランジスタ、ダイ
    オードなどの半導体装置であることを特徴とする特許請
    求の範囲第1項に記載の波形テスト方法。
  4. (4)前記撮像装置は、工業用テレビジョンまたはCO
    Dカメラであることを特徴とする特許請求の範囲第1項
    に記載の波形テスト方法。
  5. (5)前記交流状の波形は1時間と共檻二電圧。 電流値が連続的に変化するものであることを特徴とする
    特許請求の範囲第1項4二記載の波形テスト方法。
JP57111208A 1982-06-28 1982-06-28 波形テスト方法 Pending JPS59663A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57111208A JPS59663A (ja) 1982-06-28 1982-06-28 波形テスト方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57111208A JPS59663A (ja) 1982-06-28 1982-06-28 波形テスト方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59663A true JPS59663A (ja) 1984-01-05

Family

ID=14555257

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57111208A Pending JPS59663A (ja) 1982-06-28 1982-06-28 波形テスト方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59663A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6234081A (ja) * 1985-08-06 1987-02-14 Fujitsu Ten Ltd 電子機器の検査方法
JPS62213489A (ja) * 1986-03-14 1987-09-19 Tokyo Electric Co Ltd オツシロスコ−プ波形記録再生システム
JPS63121756A (ja) * 1986-10-31 1988-05-25 テクトロニックス・インコーポレイテッド 画像信号処理装置
JPS63142981A (ja) * 1986-11-28 1988-06-15 テクトロニックス・インコーポレイテッド ビデオカメラ装置
JPH04372876A (ja) * 1991-06-24 1992-12-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 波形判定装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6234081A (ja) * 1985-08-06 1987-02-14 Fujitsu Ten Ltd 電子機器の検査方法
JPS62213489A (ja) * 1986-03-14 1987-09-19 Tokyo Electric Co Ltd オツシロスコ−プ波形記録再生システム
JPS63121756A (ja) * 1986-10-31 1988-05-25 テクトロニックス・インコーポレイテッド 画像信号処理装置
JPS63142981A (ja) * 1986-11-28 1988-06-15 テクトロニックス・インコーポレイテッド ビデオカメラ装置
JPH04372876A (ja) * 1991-06-24 1992-12-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 波形判定装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI665443B (zh) 自動光學檢測系統及其操作方法
US7352890B2 (en) Method for analyzing circuit pattern defects and a system thereof
US6185511B1 (en) Method to accurately determine classification codes for defects during semiconductor manufacturing
JPS59663A (ja) 波形テスト方法
CN109827970B (zh) 半导体芯片测试系统和方法
JPH09129692A (ja) ウェハの検査方法
JP3105837B2 (ja) 外観検査機能付きicハンドラ
JP2885694B2 (ja) 半導体基板表面の自動外観検査装置
JP2747396B2 (ja) 電子部品の外観検査装置
JPH0574899A (ja) Icオートハンドラー
JP3040233B2 (ja) 半導体装置の検査方法
JP2000121495A (ja) 画面検査方法
JPH01100677A (ja) 外観検査装置
JPH10267627A (ja) リードフレームの検査方法及び装置
JPS6315823Y2 (ja)
JPH052634A (ja) 視覚認識装置
JPS6266174A (ja) ダイオ−ドの逆方向特性検査方法
JPS5935441A (ja) プロ−バ装置
JPH0413953A (ja) 電子部品用成形品の不良検査前処理装置
JPH0321881A (ja) Lsi診断装置
JPS6340841A (ja) パタ−ン欠陥検査方法
JPS5994006A (ja) 外観検査装置
JPH04152251A (ja) 表面状態検査装置
JPH0627772B2 (ja) 回路基板検査装置における基準データ作成方法
JPS5857705B2 (ja) ケイコウジフンタンシヨウホウ オヨビ ソノソウチ