JPS5994006A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
- Publication number
- JPS5994006A JPS5994006A JP19900083A JP19900083A JPS5994006A JP S5994006 A JPS5994006 A JP S5994006A JP 19900083 A JP19900083 A JP 19900083A JP 19900083 A JP19900083 A JP 19900083A JP S5994006 A JPS5994006 A JP S5994006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- area
- circuit
- pattern
- comparator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/022—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、被検査物体の傷、汚れ等の外観を検査する装
置に関するものである。
置に関するものである。
従来、被検査物体めパターン判定には、映像情報から特
徴抽出を行ない位置合わせ後、標準パターンと一致させ
て判定するのが一般的である。しかしこの方法は、装置
として複雑になり且慇理時間が多くかかる欠点があった
。
徴抽出を行ない位置合わせ後、標準パターンと一致させ
て判定するのが一般的である。しかしこの方法は、装置
として複雑になり且慇理時間が多くかかる欠点があった
。
〔発明のｌ０９〕
本発明は、上記欠点を解決し、童子化誤差にえいきよう
されることなく、簡単な構成にて欠陥を検査できるよう
にした外観検査装置を提供するにある。
されることなく、簡単な構成にて欠陥を検査できるよう
にした外観検査装置を提供するにある。
ＪＩｌ：ｌち本発明は、２次元形状を有する被検査物体
の映像を定直しながら撮像する撮像装置と、該撮像装置
から得られる映像信号を所定のしきい値で２値化すると
共に所定の周期でサンプリングして絵素化する２値絵累
化回路と、μ２値＃累化回鮎より出力される２値絵紫化
信号の一方のレベルを計数して被検査物体の明部あるい
は暗部にて囲すれた部分の面′＆を測定する第１の手段
と、上記２ ｆＭ絵紫化回路より出力される２値絵累化
信号にもとづいて被検査物体の明部あるいは暗部にて囲
まれた部分の輪郭を測定する第２の手段と、上記第１の
手段から得られる面積の値が所定の基準範囲内に存在す
るが否か８判定する第１の比較器と、上記第２の手段か
ら得られる輪郭の長さの値か所定の基準範囲内Ｊこ存在
するか否カニ１を判定する第２の比較器と、上記第１の
比較器及び第２の比較器のいずれ力）一方の出力により
所定の基準範囲内に存在すると判定され、且他方の出方
により所定の基準範囲内に存在しないと判定されたとき
被検査物体の形状に欠陥か存在すると識別する判定処理
回路とを備え付けたことを４ｉ）漱とＴる外観検査装置
である。
の映像を定直しながら撮像する撮像装置と、該撮像装置
から得られる映像信号を所定のしきい値で２値化すると
共に所定の周期でサンプリングして絵素化する２値絵累
化回路と、μ２値＃累化回鮎より出力される２値絵紫化
信号の一方のレベルを計数して被検査物体の明部あるい
は暗部にて囲すれた部分の面′＆を測定する第１の手段
と、上記２ ｆＭ絵紫化回路より出力される２値絵累化
信号にもとづいて被検査物体の明部あるいは暗部にて囲
まれた部分の輪郭を測定する第２の手段と、上記第１の
手段から得られる面積の値が所定の基準範囲内に存在す
るが否か８判定する第１の比較器と、上記第２の手段か
ら得られる輪郭の長さの値か所定の基準範囲内Ｊこ存在
するか否カニ１を判定する第２の比較器と、上記第１の
比較器及び第２の比較器のいずれ力）一方の出力により
所定の基準範囲内に存在すると判定され、且他方の出方
により所定の基準範囲内に存在しないと判定されたとき
被検査物体の形状に欠陥か存在すると識別する判定処理
回路とを備え付けたことを４ｉ）漱とＴる外観検査装置
である。
以下本発明を図に示す実施例にもとづいて説明する。第
１図は、被検査物体の外観を検査する装置のブロック図
である。同図において、映像入力装置１は、通常用いら
れているＴＶカメラ等の撮像装置で、明部と暗部ｔこて
Ｍ成ミれた被検査物体の映像を谷列毎に走査しながら撮
像し映像信号ｌＯを出力するものである。アナログ比較
器２は、電源Ｅと可変抵抗器Ｒとを直列に接続した設定
電圧Ｎ路１２力・らの電圧と、上記映像信号１０とを比
較して映像信号１ｏを２値化されたＥＡ部と暗部との白
黒信号１１に変換するものである。ナンプリンタ回路３
は、この２値化された白黒信号１１を所定の周期を持つ
クロックパルスによってサンプリングして、昆２歯及び
第３図に示す如く、被検査物体の暗部の映像部分をＸ印
に相当する映像パルス信号１３に変換する回路である。
１図は、被検査物体の外観を検査する装置のブロック図
である。同図において、映像入力装置１は、通常用いら
れているＴＶカメラ等の撮像装置で、明部と暗部ｔこて
Ｍ成ミれた被検査物体の映像を谷列毎に走査しながら撮
像し映像信号ｌＯを出力するものである。アナログ比較
器２は、電源Ｅと可変抵抗器Ｒとを直列に接続した設定
電圧Ｎ路１２力・らの電圧と、上記映像信号１０とを比
較して映像信号１ｏを２値化されたＥＡ部と暗部との白
黒信号１１に変換するものである。ナンプリンタ回路３
は、この２値化された白黒信号１１を所定の周期を持つ
クロックパルスによってサンプリングして、昆２歯及び
第３図に示す如く、被検査物体の暗部の映像部分をＸ印
に相当する映像パルス信号１３に変換する回路である。
面積１数用カウンタ４は、第２図及び第３図に示されて
いるｘ印に相当する映像のパルス信号１３を、走査され
る全ての列にわたって計数し、これを面積値ディジタル
２進信号１４にて出力するものである。この面積計数用
カウンタ４にて計数された値は、被検査物体が暗部に被
われた面積に相当する。ディジタル比較器５は、被検査
物体の外観である暗部の面積の検査基準の上限値及び下
限値を予め別のカウンタ等に記憶させておきこの記憶さ
れた上限値及び下限値を上記面積計数用カウンタ４から
の２通信号１４の値と比較して良否の判別をして２値化
信号１５にて出力するものである。電気回路６は、１第
４図及び第５図にＸ印にて示されているように、被検査
物体が暗部ｌこて被われている映像の輪郭部分をサンプ
リング＠路３からのパルス信号１３にもとづいて抽出し
、パルス信号１６を出力するものである。輪郭長さ計数
用カウンタ７は電気回路６より抽出された輪郭部のパル
ス信号１６を計数し、輪郭長さディジタル２進伯号１７
を出力するものである。ディジタル比較器８は、被検査
物体の外観である暗部の輪郭長さの検査基準の上限値及
び下限値を予め別のカウンタ等に記憶させて８き、この
記憶された上限値及び下限値を上記輪郭長さ計数用カウ
ンタ７からの２通信号１７の値と比欺して良否の判定を
して２値化信号１８にて出力するものである。総合判定
回路９は、演算回路及びディジタル比較器等で構成され
、ディジタル比較器５及び８からの２値化信号１５及び
１８、面積計数用カウンタ４からの２通信号１４、及び
輪郭長さ計数用カウンタ７からの２通信号１７を受信し
、被検査物体の外観映像図形を総合的に判定する回路で
ある。
いるｘ印に相当する映像のパルス信号１３を、走査され
る全ての列にわたって計数し、これを面積値ディジタル
２進信号１４にて出力するものである。この面積計数用
カウンタ４にて計数された値は、被検査物体が暗部に被
われた面積に相当する。ディジタル比較器５は、被検査
物体の外観である暗部の面積の検査基準の上限値及び下
限値を予め別のカウンタ等に記憶させておきこの記憶さ
れた上限値及び下限値を上記面積計数用カウンタ４から
の２通信号１４の値と比較して良否の判別をして２値化
信号１５にて出力するものである。電気回路６は、１第
４図及び第５図にＸ印にて示されているように、被検査
物体が暗部ｌこて被われている映像の輪郭部分をサンプ
リング＠路３からのパルス信号１３にもとづいて抽出し
、パルス信号１６を出力するものである。輪郭長さ計数
用カウンタ７は電気回路６より抽出された輪郭部のパル
ス信号１６を計数し、輪郭長さディジタル２進伯号１７
を出力するものである。ディジタル比較器８は、被検査
物体の外観である暗部の輪郭長さの検査基準の上限値及
び下限値を予め別のカウンタ等に記憶させて８き、この
記憶された上限値及び下限値を上記輪郭長さ計数用カウ
ンタ７からの２通信号１７の値と比欺して良否の判定を
して２値化信号１８にて出力するものである。総合判定
回路９は、演算回路及びディジタル比較器等で構成され
、ディジタル比較器５及び８からの２値化信号１５及び
１８、面積計数用カウンタ４からの２通信号１４、及び
輪郭長さ計数用カウンタ７からの２通信号１７を受信し
、被検査物体の外観映像図形を総合的に判定する回路で
ある。
上記構成により、被検査物体が第２図に示されているよ
うな良品の場合、偉績Ｉｔｆｓ用カウンタ４から出力さ
れる２進信号１４０面積計数値はディジタル比較器５内
に設定された上限値から下限値才での範囲内の値となり
、また輪郭長さ計数用カウンタ７から出力される２進信
号１７の輪郭長さ計数値は、ディジタル比較器８内に設
定された上限値から下限値までの範囲内の値となる。一
方杖検査物体が第３図に示されているような欠陥のある
場合、ディジタル比較回路５からは、面積の減少が僅か
であるから良品と判定される２値化信号１５が総合判定
回路９に送信され、ディジタル比較回路８からは第５図
に示す如く輪郭の長さか大巾に増加するため不良品と判
定される２値化信号１８が総合判定回路９に送信される
。逆に被検査物体か、Ｍ６図のように一部が欠けたよう
な欠陥の場合、ディジタル比較回路５からは、面積が大
巾をこ減少するため不良品と判定される２値化信号１５
が総合判定回路９に送信され、ディジタル比較回路８か
らは第７図に示す如（輪郭の長さは殆んど変化しないた
め良品と判定される２値化信号１８が総合判定回路９に
送信される。このように被検査物体の外観映像を面積、
及び輪郭を組合せることによって検査するため、総合判
定回路９は非常に簡単にして４通りの判定か可能となる
。
うな良品の場合、偉績Ｉｔｆｓ用カウンタ４から出力さ
れる２進信号１４０面積計数値はディジタル比較器５内
に設定された上限値から下限値才での範囲内の値となり
、また輪郭長さ計数用カウンタ７から出力される２進信
号１７の輪郭長さ計数値は、ディジタル比較器８内に設
定された上限値から下限値までの範囲内の値となる。一
方杖検査物体が第３図に示されているような欠陥のある
場合、ディジタル比較回路５からは、面積の減少が僅か
であるから良品と判定される２値化信号１５が総合判定
回路９に送信され、ディジタル比較回路８からは第５図
に示す如く輪郭の長さか大巾に増加するため不良品と判
定される２値化信号１８が総合判定回路９に送信される
。逆に被検査物体か、Ｍ６図のように一部が欠けたよう
な欠陥の場合、ディジタル比較回路５からは、面積が大
巾をこ減少するため不良品と判定される２値化信号１５
が総合判定回路９に送信され、ディジタル比較回路８か
らは第７図に示す如（輪郭の長さは殆んど変化しないた
め良品と判定される２値化信号１８が総合判定回路９に
送信される。このように被検査物体の外観映像を面積、
及び輪郭を組合せることによって検査するため、総合判
定回路９は非常に簡単にして４通りの判定か可能となる
。
才だ総合判定回路９は面積計数用カウンタ４からの２進
信号１４と輪郭長さ１１数用カウンタ７からの２進信号
１７を欠番こ述べる如く演算して得られる値そ利用すれ
は、被検査物体の外観映像の検査を厳密にできる。先ず
被検査物体の外観映像図形を第８図（ａ）の円形の場合
と第８図（ｂ）の正方形の場合とに大別して場える。第
８図（ａ）の場合半径をｒとすれは、面積Ｓｒはπｒ２
、輪郭の長さＬｒは２πａとなる。−万第８図（ｂ）の
場合、−辺の長さをｈとすれは、面積ｓｈは１１２、輪
郭の長さＬｈは４ｈとなる。
信号１４と輪郭長さ１１数用カウンタ７からの２進信号
１７を欠番こ述べる如く演算して得られる値そ利用すれ
は、被検査物体の外観映像の検査を厳密にできる。先ず
被検査物体の外観映像図形を第８図（ａ）の円形の場合
と第８図（ｂ）の正方形の場合とに大別して場える。第
８図（ａ）の場合半径をｒとすれは、面積Ｓｒはπｒ２
、輪郭の長さＬｒは２πａとなる。−万第８図（ｂ）の
場合、−辺の長さをｈとすれは、面積ｓｈは１１２、輪
郭の長さＬｈは４ｈとなる。
ここでに−（輪郭の長さＬ）２／面積Ｓとすると、第８
図（ａ）に対してはＫｔ −（２”ａ ）２／ ｔｒ
２２ ｅ＝ ４π、第８図（ｂ）に対してはに２− （
４ａ）２／ ａ２＝ｍ １６ （！： ｆＪ、 ル。
図（ａ）に対してはＫｔ −（２”ａ ）２／ ｔｒ
２２ ｅ＝ ４π、第８図（ｂ）に対してはに２− （
４ａ）２／ ａ２＝ｍ １６ （！： ｆＪ、 ル。
このに１、及びに２は、ｒ及びｈの値に関係ない定数と
なり、ある程に被検査物体の外観映像図形の複雑さを判
定することかできる。例えば、第８図に示す如く、所定
の簡槓範囲内で、且上記にの値か所定の範囲内に１韮れ
る領域１９を選び出すことにより、被検査物体の外観映
像図形の内、ある定められた図形のみを検査して選び出
すこともできる。Ｍ１７ち４忍合判定回路９の演算回路
は、輪郭長さ計数用カウンタ７からの２進信号１４’Ｆ
乗算し、この乗算した値を面積計数用カウンタ４からの
２進信号１７にて除算すれば、上記Ｋを求める。次に総
合判定回路９のディジタル比較器は、上記にの上限値Ｋ
ｗ 、及び下限直Ｋｍを予め別のカウンタ等に記憶さ
せておきこの記憶された上限値に陳、及び下限値に卿を
上記演算回路からのＫｆ）値と比較しで上限１’１ｉｆ
Ｅ Ｋ ｍ及び下限値Ｋ ｍｕｌに入っている場合の被
検査物体の外観映像図形を選ひ出す。このように総合判
定回路９は上記ディジタル比較器と面積Ｓの上限値Ｓａ
ｉｍから下限値Ｓ ｔｎｉｎまでの範囲内に入っている
かを判定したディジタル比較器５から２値化信号によっ
て論９図に示された領域１９に入っている特定の被検査
物体の外観映像図形を選び出すように検査判定する。
なり、ある程に被検査物体の外観映像図形の複雑さを判
定することかできる。例えば、第８図に示す如く、所定
の簡槓範囲内で、且上記にの値か所定の範囲内に１韮れ
る領域１９を選び出すことにより、被検査物体の外観映
像図形の内、ある定められた図形のみを検査して選び出
すこともできる。Ｍ１７ち４忍合判定回路９の演算回路
は、輪郭長さ計数用カウンタ７からの２進信号１４’Ｆ
乗算し、この乗算した値を面積計数用カウンタ４からの
２進信号１７にて除算すれば、上記Ｋを求める。次に総
合判定回路９のディジタル比較器は、上記にの上限値Ｋ
ｗ 、及び下限直Ｋｍを予め別のカウンタ等に記憶さ
せておきこの記憶された上限値に陳、及び下限値に卿を
上記演算回路からのＫｆ）値と比較しで上限１’１ｉｆ
Ｅ Ｋ ｍ及び下限値Ｋ ｍｕｌに入っている場合の被
検査物体の外観映像図形を選ひ出す。このように総合判
定回路９は上記ディジタル比較器と面積Ｓの上限値Ｓａ
ｉｍから下限値Ｓ ｔｎｉｎまでの範囲内に入っている
かを判定したディジタル比較器５から２値化信号によっ
て論９図に示された領域１９に入っている特定の被検査
物体の外観映像図形を選び出すように検査判定する。
以上説明したように本発明は、２次元形状を有する被検
査物体の映像図形の面積及び輪郭長さを測定し、この測
定された両者の値を組合せて被検査物体の形状を自動識
別する外観検査方法であるから、従来、芙施されていた
記憶装置に記憶された似準パターンと被検査物体のパタ
ーンとの位置合わせ、及びパターン一致の判定等の処理
が不要となり、被＠育物体を映像して電気信号に変換し
た瞬間に被検量物体の形状を識別でき、外観検査速度を
皆しく同上させることができる。また本発明は、２次元
形状を有する被検査物体の映像を走査しながら撮像する
撮像装置と、該撮像装置からの映像信号をもとに被検査
物体の明部あるいは暗部にて囲韮れた部分の面積を求め
る第１手段と、該撮鐵装置からの映像信号をもとに被検
査物体の明部あるいは暗部にて囲まれた部分の輪郭の長
さを求める第２手段と、該第１手段と第２手段からの値
を組合せて被検査物体の形状を識別する判定回路を具備
する外観検査装置であるから、非常に簡単な装置構成に
して２次元形状の仮検査物体の外観検査が可能となる。
査物体の映像図形の面積及び輪郭長さを測定し、この測
定された両者の値を組合せて被検査物体の形状を自動識
別する外観検査方法であるから、従来、芙施されていた
記憶装置に記憶された似準パターンと被検査物体のパタ
ーンとの位置合わせ、及びパターン一致の判定等の処理
が不要となり、被＠育物体を映像して電気信号に変換し
た瞬間に被検量物体の形状を識別でき、外観検査速度を
皆しく同上させることができる。また本発明は、２次元
形状を有する被検査物体の映像を走査しながら撮像する
撮像装置と、該撮像装置からの映像信号をもとに被検査
物体の明部あるいは暗部にて囲韮れた部分の面積を求め
る第１手段と、該撮鐵装置からの映像信号をもとに被検
査物体の明部あるいは暗部にて囲まれた部分の輪郭の長
さを求める第２手段と、該第１手段と第２手段からの値
を組合せて被検査物体の形状を識別する判定回路を具備
する外観検査装置であるから、非常に簡単な装置構成に
して２次元形状の仮検査物体の外観検査が可能となる。
第１図は、本発明の一実施例である外観検査装置の構成
を示したブロック図、第２図は良品の場合の被検査物体
の暗部面積をｘ印の個数で示した図、第３図は中央の一
部が凸形状に明部にて形成された被検査物体の暗部の面
積をＸ印の個数で示した図、第４図はル２図に示す被検
査物体の暗部の輪郭長さをｘ印の個数で示した図、第５
図は第３図に示す被検査物体の暗部の輪郭長さをｘ印の
個数にて示した図、Ｍ６図は角が明部にて形成された被
検査物体の暗部の面積をｘ印の個ｌ！ｉ、ｊこて示した
図、第７図は第６図の被検査物体の暗部輪郭長さをｘ印
の個数で示した図、第８図（ａ） 、 （ｂ）は、被検
査物体の暗部の形状が円形の揚台と正方形の場合とに分
けて面積及び輪郭長さの各々について説明するための図
、第９図はＫを変化させて面積と輪郭長さとの関係を示
した図である。 １・・・撮像装置 ２・・・アナログ比較器４・
・・面積計数用カウンタ ５・・・ディジタル比較器 ６・・・電気回路 ７・・・輪郭長さＭｔ数数カカウン タ８・・ディジタル比較器 ９・・・総合判定回路 代理人弁理士 扁 僑 明 夫 第２図 第３ＷＪ 第４図 第 ５図 第 乙 ■ゴ
第 ７ 図第 ８図 （（１） （ｂ’ｒ第９図 θｍ■ Ｊｎｕ状 田口費心
を示したブロック図、第２図は良品の場合の被検査物体
の暗部面積をｘ印の個数で示した図、第３図は中央の一
部が凸形状に明部にて形成された被検査物体の暗部の面
積をＸ印の個数で示した図、第４図はル２図に示す被検
査物体の暗部の輪郭長さをｘ印の個数で示した図、第５
図は第３図に示す被検査物体の暗部の輪郭長さをｘ印の
個数にて示した図、Ｍ６図は角が明部にて形成された被
検査物体の暗部の面積をｘ印の個ｌ！ｉ、ｊこて示した
図、第７図は第６図の被検査物体の暗部輪郭長さをｘ印
の個数で示した図、第８図（ａ） 、 （ｂ）は、被検
査物体の暗部の形状が円形の揚台と正方形の場合とに分
けて面積及び輪郭長さの各々について説明するための図
、第９図はＫを変化させて面積と輪郭長さとの関係を示
した図である。 １・・・撮像装置 ２・・・アナログ比較器４・
・・面積計数用カウンタ ５・・・ディジタル比較器 ６・・・電気回路 ７・・・輪郭長さＭｔ数数カカウン タ８・・ディジタル比較器 ９・・・総合判定回路 代理人弁理士 扁 僑 明 夫 第２図 第３ＷＪ 第４図 第 ５図 第 乙 ■ゴ
第 ７ 図第 ８図 （（１） （ｂ’ｒ第９図 θｍ■ Ｊｎｕ状 田口費心
Claims (1)
- （リ ２次元形状を有する被検査物体の映像を走査しな
がら撮像する撮像装置と、該撮像装置から得られる映像
信号を所定のしきい値で２値化すると共に所定の周期で
サンプリングして絵素化する２値絵素化回路と、該２値
絵素化回路より出力される２値絵素化信号の一方のレベ
ルを計数して被検査物体の明部あるいは暗部にて囲まれ
た部分の面積を測定する第１の手段と、上記２値絵素化
回路より出力される２澁絵累化信号にもとづいて被検査
物体の明部あるいは暗部−ごて囲まれた部分の輪郭を測
定する第２の手段と、上記第１の手段から得られる面積
の値が所定の基準範囲内に存在するか否かを判定する第
１の比較器と、上記第２の手段から得られる輪郭の長さ
の値が所定の基準範囲内に存在するか否かを判定する第
２の比較器と、上記第１の比較器及び第２の比較器のい
ずれか一方の出力により所定の基準範囲内に存在すると
判定され、且他方の出力により所定の基準範囲内に存在
しなＧ）と判定されたとき被検査物体の形状に欠陥が存
在すると識別する判定処理回路とを備え付けたことを特
徴とする外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19900083A JPS5994006A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19900083A JPS5994006A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 外観検査装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10203073A Division JPS5055380A (ja) | 1973-09-12 | 1973-09-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5994006A true JPS5994006A (ja) | 1984-05-30 |
| JPH0345763B2 JPH0345763B2 (ja) | 1991-07-12 |
Family
ID=16400428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19900083A Granted JPS5994006A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5994006A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01203935A (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ端部の検査方法 |
| US4918520A (en) * | 1987-04-27 | 1990-04-17 | Shin-Etu Handotai Company, Limited | Device for detecting the position of crystallization interface |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49134390A (ja) * | 1973-04-26 | 1974-12-24 |
-
1983
- 1983-10-26 JP JP19900083A patent/JPS5994006A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49134390A (ja) * | 1973-04-26 | 1974-12-24 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4918520A (en) * | 1987-04-27 | 1990-04-17 | Shin-Etu Handotai Company, Limited | Device for detecting the position of crystallization interface |
| JPH01203935A (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ端部の検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0345763B2 (ja) | 1991-07-12 |
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