JPS5969966U - グロ−放電発生装置 - Google Patents

グロ−放電発生装置

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JPS5969966U
JPS5969966U JP16684682U JP16684682U JPS5969966U JP S5969966 U JPS5969966 U JP S5969966U JP 16684682 U JP16684682 U JP 16684682U JP 16684682 U JP16684682 U JP 16684682U JP S5969966 U JPS5969966 U JP S5969966U
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JP
Japan
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glow discharge
discharge generator
frequency
vacuum tube
exhaust chamber
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金田一　要三
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Jeol Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はグロー放電発生装置の一例として示した高周波
イオンブレーティング装置の概略図、第２図は本考案の
一実施例を示した高周波イオンブレーティング装置の概
略図である。 １・・・・・・排気室、４・・・・・・高周波電極、８
・・・・・・高周波電源、１１・・・・・・真空管発信
機、１９・・・・・・プレー・ト電流検出回路、２０・
・・・・・比較回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 排気室内に高周波電極を配置し、真空管発振機からの高
    周波電力を該電極に印加することにより該排気室内に高
    周波グロー放電を発生出来る様になし、前記真空管発振
    器に流れるプレート電流を検出し、該検出値に基づいて
    グロー放電の有無を検出する様になしたグロー放電発生
    装置。
JP16684682U 1982-11-02 1982-11-02 グロ−放電発生装置 Granted JPS5969966U (ja)

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JPS5969966U true JPS5969966U (ja) 1984-05-12
JPS6135561Y2 JPS6135561Y2 (ja) 1986-10-16

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