JPS597267B2 - 固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
固体撮像装置の製造方法Info
- Publication number
- JPS597267B2 JPS597267B2 JP51159616A JP15961676A JPS597267B2 JP S597267 B2 JPS597267 B2 JP S597267B2 JP 51159616 A JP51159616 A JP 51159616A JP 15961676 A JP15961676 A JP 15961676A JP S597267 B2 JPS597267 B2 JP S597267B2
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- JP
- Japan
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- solid
- adhesive
- imaging device
- recess
- state imaging
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- Expired
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は固体撮像装置の製造方法に関するものである。
固体撮像素子にフィルタまたは、表面を保護する透明膜
等を接着する場合に、フィルタと固体撮 。
等を接着する場合に、フィルタと固体撮 。
像素子表面との間に、接着剤を入れなくてはならない。
この時、余分の接着剤が、フィルタ下部よりはみ出し、
フィルタの上部や、周囲のリード取出し用パッドに付着
する。フィルタは、受光面との位置合せが非常に重要で
あり、上部に付着した、余分の接着剤をふきとることは
不可能に近い。また、リード取出し用パッド上に付着し
たものは、リードを取り出す際に不都合を生じ不良の原
因となる。第１図に従来の固体撮像装置の上記欠点を示
す。
この時、余分の接着剤が、フィルタ下部よりはみ出し、
フィルタの上部や、周囲のリード取出し用パッドに付着
する。フィルタは、受光面との位置合せが非常に重要で
あり、上部に付着した、余分の接着剤をふきとることは
不可能に近い。また、リード取出し用パッド上に付着し
たものは、リードを取り出す際に不都合を生じ不良の原
因となる。第１図に従来の固体撮像装置の上記欠点を示
す。
１はフィルタ、２は固体撮像素子、３は絶縁膜、４は受
光部、５はリード取出し用パッド、６は接着剤である。
光部、５はリード取出し用パッド、６は接着剤である。
接着剤６を固体撮像素子２の受光面の一部に塗布してお
き、上からフィルタ１を圧着するわけであるから、余分
の接着剤６を押し出す力の差から、フィルタ１に傾きが
生じ望ましい事ではない。本発明は、余分の接着剤をは
み出させず、フィルタと固体撮像素子表面とを正確に密
着させる固体撮像装置の製造方法を提供するものである
。
き、上からフィルタ１を圧着するわけであるから、余分
の接着剤６を押し出す力の差から、フィルタ１に傾きが
生じ望ましい事ではない。本発明は、余分の接着剤をは
み出させず、フィルタと固体撮像素子表面とを正確に密
着させる固体撮像装置の製造方法を提供するものである
。
以下図面とともに本発明を実施例に基いて説明する。第
２図は本発明にかかる固体撮像素子の平面図であり、第
３図ａ、ｂおよびａ’、ｂ’は本発明の一実施例を示す
工程断面図および要部工程斜視図である。
２図は本発明にかかる固体撮像素子の平面図であり、第
３図ａ、ｂおよびａ’、ｂ’は本発明の一実施例を示す
工程断面図および要部工程斜視図である。
本発明において用いられる固体撮像素子は、第２図に示
すように、その表面には、中央部に受光部４が形成され
、周辺部にリード゛取出し用パッド５が設けられ、接着
剤６が注入される孔部Ｔは大きい開口を有する凹部７’
とこれより小さい凹部ｉ’とを備えている。
すように、その表面には、中央部に受光部４が形成され
、周辺部にリード゛取出し用パッド５が設けられ、接着
剤６が注入される孔部Ｔは大きい開口を有する凹部７’
とこれより小さい凹部ｉ’とを備えている。
そして、フィルタは受光部４と孔部Ｔとを覆うように設
置される。次に本発明の接着の方法について第３図ａ、
ｂおよびａ’、ｂ’を用いて述べる。
置される。次に本発明の接着の方法について第３図ａ、
ｂおよびａ’、ｂ’を用いて述べる。
まず大きい凹部Ｔ’に比較的粘度の高い接着剤６を、凹
部Ｔ内に余裕をもたせてかつ固体撮像素子の表面より上
部に接着剤６がのぞ＜ように注入する（同図ａ、ａ’）
。
部Ｔ内に余裕をもたせてかつ固体撮像素子の表面より上
部に接着剤６がのぞ＜ように注入する（同図ａ、ａ’）
。
この上から、フィルタ等の光透過板７を圧着することに
より、固体撮像素子表面より上にでていた接着剤６を、
フイルタ１により卦しつけ、大きい凹部７内に広げる（
同図Ｂ，ｂ′）この時、過剰の接着剤６は小さい凹部で
内にも広がる。ただし接着剤６の量は、大きい凹部７′
外にはみ出さない程度に注入しておく必要がある。接着
剤６が大きい凹部７′からはみ出して注入されていると
、フイルタ１を圧着した際に、接着剤６はフイルタ１の
上面やリード取り出し用パツド５にまで広がつたりする
。また、小さい凹部ｆが無い場合も、フイルタ１を圧着
した際に過剰の接着剤は固体撮像素子の表面からはみ出
してしまう。以上説明したように本発明の固体撮像装置
の製造方法は、接着剤注入用の第１の凹部と、これより
も小さい第２の凹部とを有する固体撮像素子の第１の凹
部に接着部が表面から盛り上がるように注入し、その後
該素子表面から光透過板を圧接するものであるため、接
着剤は光透過板の表面や、リード取り出し用バツドにま
で広がらないので、光透過板の正確な設置や、リードの
取り出しが容易にできる。また、光透過板と固体撮像素
子とは両者間に何も介することなく接着されるため、そ
の間に卦ける光の散乱は生じず、光の干渉のない精度の
高い固体撮像装置が得られる。
より、固体撮像素子表面より上にでていた接着剤６を、
フイルタ１により卦しつけ、大きい凹部７内に広げる（
同図Ｂ，ｂ′）この時、過剰の接着剤６は小さい凹部で
内にも広がる。ただし接着剤６の量は、大きい凹部７′
外にはみ出さない程度に注入しておく必要がある。接着
剤６が大きい凹部７′からはみ出して注入されていると
、フイルタ１を圧着した際に、接着剤６はフイルタ１の
上面やリード取り出し用パツド５にまで広がつたりする
。また、小さい凹部ｆが無い場合も、フイルタ１を圧着
した際に過剰の接着剤は固体撮像素子の表面からはみ出
してしまう。以上説明したように本発明の固体撮像装置
の製造方法は、接着剤注入用の第１の凹部と、これより
も小さい第２の凹部とを有する固体撮像素子の第１の凹
部に接着部が表面から盛り上がるように注入し、その後
該素子表面から光透過板を圧接するものであるため、接
着剤は光透過板の表面や、リード取り出し用バツドにま
で広がらないので、光透過板の正確な設置や、リードの
取り出しが容易にできる。また、光透過板と固体撮像素
子とは両者間に何も介することなく接着されるため、そ
の間に卦ける光の散乱は生じず、光の干渉のない精度の
高い固体撮像装置が得られる。
第１図は従来の固体撮像装置の欠点を示す構造断面図、
第２図は本発明にかかる固体撮像素子の平面図、第３図
Ａ，ｂ卦よびａ′，ｂ′は本発明の一実施例を示す工程
断面図ち・よび要部工程斜視図である。 １・・・フイルタ、２・・・固体撮像素子、３・・・絶
縁膜、４・・・受光部、５・・・リード取出し用パツド
、６・・・接着剤、７・・・凹部、７（・・第１の凹部
、ｒ・・・第２の凹部。
第２図は本発明にかかる固体撮像素子の平面図、第３図
Ａ，ｂ卦よびａ′，ｂ′は本発明の一実施例を示す工程
断面図ち・よび要部工程斜視図である。 １・・・フイルタ、２・・・固体撮像素子、３・・・絶
縁膜、４・・・受光部、５・・・リード取出し用パツド
、６・・・接着剤、７・・・凹部、７（・・第１の凹部
、ｒ・・・第２の凹部。
Claims (1)
- １ 接着剤を注入すべき第１の凹部と、前記第１の凹部
よりも小さくかつ前記第１の凹部に連通する第２の凹部
とを有する固体撮像素子の前記第１の凹部内に、前記接
着剤を、前記固体撮像素子の平面から盛り上がるように
注入し、その後前記固体撮像素子の表面より光透過板を
圧接することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51159616A JPS597267B2 (ja) | 1976-12-29 | 1976-12-29 | 固体撮像装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51159616A JPS597267B2 (ja) | 1976-12-29 | 1976-12-29 | 固体撮像装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5384414A JPS5384414A (en) | 1978-07-25 |
| JPS597267B2 true JPS597267B2 (ja) | 1984-02-17 |
Family
ID=15697597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51159616A Expired JPS597267B2 (ja) | 1976-12-29 | 1976-12-29 | 固体撮像装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS597267B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5654174A (en) * | 1979-10-09 | 1981-05-14 | Toshiba Corp | Solidstate image sensor |
| JPS5864892A (ja) * | 1981-10-13 | 1983-04-18 | Matsushita Electronics Corp | カラ−固体撮像装置 |
| JPS611856U (ja) * | 1984-06-08 | 1986-01-08 | 松下電器産業株式会社 | 光学読み取り装置 |
-
1976
- 1976-12-29 JP JP51159616A patent/JPS597267B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5384414A (en) | 1978-07-25 |
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