JPS612331A - 半導体素子の樹脂封止方式 - Google Patents

半導体素子の樹脂封止方式

Info

Publication number
JPS612331A
JPS612331A JP59124214A JP12421484A JPS612331A JP S612331 A JPS612331 A JP S612331A JP 59124214 A JP59124214 A JP 59124214A JP 12421484 A JP12421484 A JP 12421484A JP S612331 A JPS612331 A JP S612331A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor element
resin
sealing resin
disk
thinner
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59124214A
Other languages
English (en)
Inventor
Shin Tada
多田 伸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP59124214A priority Critical patent/JPS612331A/ja
Publication of JPS612331A publication Critical patent/JPS612331A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • H10W74/01Manufacture or treatment
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/01Manufacture or treatment
    • H10W72/011Apparatus therefor
    • H10W72/0113Apparatus for manufacturing die-attach connectors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/072Connecting or disconnecting of bump connectors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/073Connecting or disconnecting of die-attach connectors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/073Connecting or disconnecting of die-attach connectors
    • H10W72/07331Connecting techniques
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • H10W74/10Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition
    • H10W74/15Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition on active surfaces of flip-chip devices, e.g. underfills
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/721Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors
    • H10W90/724Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/731Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
    • H10W90/734Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL

Landscapes

  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 本発明は、半導体素子の樹脂封止方式に関するものであ
る。
〈従来技術〉 従来の半導体素子の樹脂封止方式は、第2図(イ)〜(
ニ)に示すように、配線基板1と配線基板1にフリップ
チップボンティングされた半導体素子2の間に樹脂吐出
ノズル3を使用して、浸透樹脂4を注入しくイ)、注入
後半導体素子2の上に封止樹脂5を滴下したのも(ロ)
、(ハ)、該封止樹脂5は、加熱。
硬化する際温度上昇とともに粘度か下かり形状が不揃に
なるので、これを防ぐために封止樹脂5の」−をディス
ク6で押し利は加熱硬化させている。
しかしながらこの樹脂封止方式によれば、半導体素子2
とディスク6との間の封止樹脂層が50〜100μm1
デイスク6自体か+50−250μm程度となり、どう
しても薄型化することか出来なかった。
そこで薄型化のためには、たとえばディスク6の薄型化
か考えられるか、この場合封止樹脂の表面張力により、
ディスク板の中央部か盛り−Lかってしまいかえって厚
くなってしまう。
また加圧を充分に加えてディスク6と半導体素子2の間
の樹脂層を薄くさせることが考えられるが、この場合加
圧装置の操作等に手間がかかると共に、封止樹脂にスト
レスがたまりひび割れの原因となってしまう。
〈目 的〉 本発明はかかる従来の欠点に鑑みて成されたもので、半
導体素子の側壁を囲むように、配線基板−にに封止樹脂
を設け、かつ半導体素子の上面に直接フィルムディスク
を接着することにより厚みを薄くし、形状を揃わせた半
導体素子の樹脂封止方式を提供することを目的とする。
〈実施例〉 以下図にもとづいて本発明の詳細な説明する。
第1図(イ)〜に)は本発明方式を説明する図である。
本発明の半導体素子の樹脂封止方式は、配線基板lと配
線基板1にフリップチップボンディングされた半導体素
子2の間に、従来例と同じように浸透樹脂4を毛細管現
象を利用して注入しく1′)、注入後半導体素子2の側
壁を囲むように従来例よりもやや高粘度の封止樹脂7を
ノズルにて図示の如く滴ドする(口)、(ハ)。次に樹
脂を滴下していない半導体素子の」−面に接着剤9イ」
フィルムディスク8(例えば、利質としてポリエステル
フィルム、接着剤としてつ1〜タン系接着剤を用いる。
)を接着させて、半導体素子2の側壁を囲んでいる封止
樹脂7をフィルムディスク8にすいよせるに)。そして
この状態で加熱硬化させる。
かかる樹脂封止方式によれば、封止樹脂を半導体素子2
の周囲に滴下し、樹脂のない素子の上面に直接フィルム
ディスク8を貼付けるようにしたので、たとえば接着剤
層9が20〜30μmとしても、従来のこの部分の樹脂
層100μmよりも薄くできる。さらにフィルムディス
ク8を半導体素子2の上面に直接貼付けるので、該ディ
スク8が非常に簿くても中央部がふくらむおそれかない
。したかって従来のディスク6の厚さは約150μmで
あるのに対して、本発明方式では20μm程度にするこ
とかでき、カード電卓等のより薄型を要求するものに対
しては、特に有用である。
〈効 果〉 以上の様に、本発明の樹脂封止方式は、半導体素子の側
壁を囲むように配線基板上に封止樹脂を設け、互生導体
素子の上面に直接フィルムディスクを接着して成るから
、半導体素子とフィルムディスクとの間から封止樹脂が
なくなり、フィルムディスク、接着剤の厚みも従来例の
ディスクの厚めよりもかなり薄くなったため、電子部品
の薄型化に大いに有用である。
【図面の簡単な説明】
第1図(イ)乃至に)は本発明方式を説明する図、第2
図(イ)乃至に)G」従来方式を説明する図である。 4 浸透樹脂 5゛封止樹脂 6 ディスク7 やや高
粘度な封止樹脂

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、回路パターンを有する配線基板上に、半導体素子を
    載置し、前記半導体素子を樹脂で封止する半導体素子の
    封止方式において、 前記半導体素子の側壁を囲むように配線基板上に封止樹
    脂を設け、且前記半導体素子の上面に直接フィルムディ
    スクを接着して成ることを特徴とする半導体素子の樹脂
    封止方式。
JP59124214A 1984-06-14 1984-06-14 半導体素子の樹脂封止方式 Pending JPS612331A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59124214A JPS612331A (ja) 1984-06-14 1984-06-14 半導体素子の樹脂封止方式

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59124214A JPS612331A (ja) 1984-06-14 1984-06-14 半導体素子の樹脂封止方式

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS612331A true JPS612331A (ja) 1986-01-08

Family

ID=14879815

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59124214A Pending JPS612331A (ja) 1984-06-14 1984-06-14 半導体素子の樹脂封止方式

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS612331A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999009592A1 (en) * 1997-08-13 1999-02-25 Citizen Watch Co., Ltd. Flip-chip semiconductor package and method for manufacturing the same
US6459152B1 (en) * 1999-10-27 2002-10-01 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor device having a chip, reinforcing plate, and sealing material sharing a common rear surface

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999009592A1 (en) * 1997-08-13 1999-02-25 Citizen Watch Co., Ltd. Flip-chip semiconductor package and method for manufacturing the same
US6459152B1 (en) * 1999-10-27 2002-10-01 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor device having a chip, reinforcing plate, and sealing material sharing a common rear surface
US7094630B2 (en) 1999-10-27 2006-08-22 Renesas Technology Corp. Method of fabricating semiconductor device having a chip, reinforcing plate, and sealing material sharing a common rear surface

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6600217B2 (en) Mounting substrate and mounting method for semiconductor device
JP3219043B2 (ja) 半導体装置のパッケージ方法および半導体装置
JPH02143466A (ja) 半導体装置の製造方法
JPH03155995A (ja) Icモジュールおよびそれを用いたicカード
CA1232372A (en) Method for encapsulating semiconductor components mounted on a carrier tape
JPS612331A (ja) 半導体素子の樹脂封止方式
JP2902497B2 (ja) 混成集積回路基板の製造方法
JPH0410447A (ja) Icチップ搭載基板
JPS6047430A (ja) Lsiの樹脂封止方式
JPS58182837A (ja) 樹脂封止半導体装置の製造方法
JPS5814545A (ja) Icの実装方法
JP2003249509A (ja) 半導体封止方法および封止された半導体
JPS6258655B2 (ja)
JPH02143436A (ja) フィルムキャリヤ半導体装置の樹脂封止方法
JP4408015B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPH02101753A (ja) 半導体チップの取付構造
JP2854192B2 (ja) 混成集積回路装置
JPH02251153A (ja) 半導体素子を実装したテープキャリアにおける樹脂封止方法
JP3390507B2 (ja) 半導体素子の封止方法及び封止装置
JPH07211738A (ja) 回路素子の封止方法
JPH11224883A (ja) 樹脂封止半導体装置の製造方法および樹脂封止半導体装置
JPS63299254A (ja) 気密封止型半導体装置の製造方法
JPS6353691B2 (ja)
JP2005203539A (ja) 電子デバイスおよびその製造方法
JPH07169870A (ja) 集積回路の製造方法