JPS5975595A - 電界発光表示素子 - Google Patents
電界発光表示素子Info
- Publication number
- JPS5975595A JPS5975595A JP57186616A JP18661682A JPS5975595A JP S5975595 A JPS5975595 A JP S5975595A JP 57186616 A JP57186616 A JP 57186616A JP 18661682 A JP18661682 A JP 18661682A JP S5975595 A JPS5975595 A JP S5975595A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- display element
- semiconductor
- voltage
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 33
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000002784 hot electron Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、電界発光表示素子(以下rEL表示素子」
と略称する)の構造、さら比詳しくは、直流駆動を可能
とする薄膜型EL表示素子の構造に関する。
と略称する)の構造、さら比詳しくは、直流駆動を可能
とする薄膜型EL表示素子の構造に関する。
薄膜型EL表示素子は、高輝度で多色化が可能であると
共に平面形状に形成できることから、近年表示装置のデ
ィスプレイデバイスとして活発に研究開発が行われ、各
種分野において実用化されつつある。
共に平面形状に形成できることから、近年表示装置のデ
ィスプレイデバイスとして活発に研究開発が行われ、各
種分野において実用化されつつある。
第1図は、従来の薄膜型βL表示素子の概略構造を示す
もので、lは透光性を有する絶縁性の基板、2は基板j
上に設けられた透光性の表面電極、3は表面電極2上に
設けられた透光性の絶縁層、4は絶縁層3上に設けられ
た電界発光体層(以下1− IE I、層」と略称する
)、5はE L層4上に設けた前記絶縁層3と同様な絶
縁層、6は絶縁層5上に設けた“光反射性を有する背面
電極である。
もので、lは透光性を有する絶縁性の基板、2は基板j
上に設けられた透光性の表面電極、3は表面電極2上に
設けられた透光性の絶縁層、4は絶縁層3上に設けられ
た電界発光体層(以下1− IE I、層」と略称する
)、5はE L層4上に設けた前記絶縁層3と同様な絶
縁層、6は絶縁層5上に設けた“光反射性を有する背面
電極である。
このように、ELm4を絶縁層3,5、さらに電極2.
6でサンドインチ状に挾み積層形状に構成されたEL表
示素子は、表面電極2と背面電極6との間に交流電圧を
印可してE L層4内の発光中心が励起されて発光し、
その発光が直接あるいは背面電極らで反射して、基板1
を通り薄膜型EL表示素子の外部へ出るものである。
6でサンドインチ状に挾み積層形状に構成されたEL表
示素子は、表面電極2と背面電極6との間に交流電圧を
印可してE L層4内の発光中心が励起されて発光し、
その発光が直接あるいは背面電極らで反射して、基板1
を通り薄膜型EL表示素子の外部へ出るものである。
ところで、この薄膜型EL表示素子は、ELJW4の両
面に絶縁層3.5を有しているため、絶縁J&3.EL
I−4.絶縁層5の各容量C3,C4゜C5が電気的に
直列接続されることになる。このうち容量C3,C5の
各両値に生じる電圧降下V3.V5の合計は容量C4の
両輪に印加される■4を低下させ、実係電極2,6間に
印加される駆動電圧VOよりもかなり小さな値の電圧し
かEL層4には印加されない。このため、この薄膜型E
L表示素子の駆動電圧VOは前記絶縁層3,5による電
圧降下分を見込んで100〜200V (ピーク値)と
高く、それに伴う交流駆動回路を必要とすることから回
路構成が複雑になるという問題を有していた。
面に絶縁層3.5を有しているため、絶縁J&3.EL
I−4.絶縁層5の各容量C3,C4゜C5が電気的に
直列接続されることになる。このうち容量C3,C5の
各両値に生じる電圧降下V3.V5の合計は容量C4の
両輪に印加される■4を低下させ、実係電極2,6間に
印加される駆動電圧VOよりもかなり小さな値の電圧し
かEL層4には印加されない。このため、この薄膜型E
L表示素子の駆動電圧VOは前記絶縁層3,5による電
圧降下分を見込んで100〜200V (ピーク値)と
高く、それに伴う交流駆動回路を必要とすることから回
路構成が複雑になるという問題を有していた。
特に、この薄膜型EL表示素子を車両の計器等の表示部
に使用しようとする場合、車載バッテリ等の電源から前
記駆動電圧を得ることは容易でなく、これがため、この
種計器への応用を困難なものとしていた。
に使用しようとする場合、車載バッテリ等の電源から前
記駆動電圧を得ることは容易でなく、これがため、この
種計器への応用を困難なものとしていた。
この発明は、前記薄膜型EL表示素子に対して、直流駆
動を可能とするべく技術的手段を駆使したものであり、
発光中心を含むZnS等のn型半導体であるEL層と高
導電率のp型半導体である半導体層とを積層形成してこ
れらを電極で挟み、この電極への直流電圧印加によって
EL層と半導体層とのp−n接合部分でキャリア注入を
行い、前記接合部分での空乏層に加わる電界によってキ
ャリアを加速してEL層内の発光中心を1ti突励起し
、発光を呈するようにした新規有用なる薄膜型E L表
示素子を提供することを目的とするものである。
動を可能とするべく技術的手段を駆使したものであり、
発光中心を含むZnS等のn型半導体であるEL層と高
導電率のp型半導体である半導体層とを積層形成してこ
れらを電極で挟み、この電極への直流電圧印加によって
EL層と半導体層とのp−n接合部分でキャリア注入を
行い、前記接合部分での空乏層に加わる電界によってキ
ャリアを加速してEL層内の発光中心を1ti突励起し
、発光を呈するようにした新規有用なる薄膜型E L表
示素子を提供することを目的とするものである。
以下、この発明に係る薄膜型EL表示素子を具体的実施
例に暴づき説明する。
例に暴づき説明する。
第2図は、この発明による薄膜型EL表示素子の概略構
造を示ず断面図で、10は透明な厚さ約1m霧のガラス
平板から成る基板、IIは基板10上にITO膜から成
る透明導電体を電子ビーム蒸着法で膜厚約3000人に
設(Jた表示形状の表面電極、12は表面電極II上に
Zn S : M nがら成る発光体原料を膜厚200
0〜6000人に設けたrl型半導体であるE L層で
、El一層11の母体材料となるZnSは真空焼結ベレ
ットを用いた電子ビーム加熱蒸着、発光中心となるMn
は粉末Mnを蒸着源としタングステンボートを用いた抵
抗加熱蒸着法でおこなう。13はELL層2上にCu
2 Sから成る高導電率のp型半導体を電子ヒーム蒸着
法で膜厚1000〜2000人に設けた半導体層、14
は半導体層13」−に八pがら成る導電体を抵抗加熱蒸
着法で膜厚約3000人に設けた光反射性を有する背面
電極である。
造を示ず断面図で、10は透明な厚さ約1m霧のガラス
平板から成る基板、IIは基板10上にITO膜から成
る透明導電体を電子ビーム蒸着法で膜厚約3000人に
設(Jた表示形状の表面電極、12は表面電極II上に
Zn S : M nがら成る発光体原料を膜厚200
0〜6000人に設けたrl型半導体であるE L層で
、El一層11の母体材料となるZnSは真空焼結ベレ
ットを用いた電子ビーム加熱蒸着、発光中心となるMn
は粉末Mnを蒸着源としタングステンボートを用いた抵
抗加熱蒸着法でおこなう。13はELL層2上にCu
2 Sから成る高導電率のp型半導体を電子ヒーム蒸着
法で膜厚1000〜2000人に設けた半導体層、14
は半導体層13」−に八pがら成る導電体を抵抗加熱蒸
着法で膜厚約3000人に設けた光反射性を有する背面
電極である。
この薄膜型El−表示素子は、両電極11.14間に電
圧を印加しない場合、第3図のエネルギーバンドダイヤ
グラムで示すような状態にあるが、表面電極11に正、
背面電極14に負の電圧を印加すると、ELL層2と半
導体層13の接合部分は逆バイアスされることになり、
第4図のエネルギーバンドダイヤグラムで示す状態に変
化すること、すなわち、半導体層13が高導電率をもっ
ているのでELL層2との接合部分の空乏層(第3図、
第4図に範囲Aで図示)はELL層2内に伸びること、
この空乏層には高電界が生じること等の現象により、空
乏層のへテロ接合界面に注入された電子は電界によって
加速され高エネルギーをもったホットエレクトロンとな
ること、この電子は殆どELL層2内で加速されるので
接合界面から平均自由行程分範囲で発光中心を衝突励起
すると考えられること等の理由で、直流駆動により従来
の場合と同様の発光が得られる。
圧を印加しない場合、第3図のエネルギーバンドダイヤ
グラムで示すような状態にあるが、表面電極11に正、
背面電極14に負の電圧を印加すると、ELL層2と半
導体層13の接合部分は逆バイアスされることになり、
第4図のエネルギーバンドダイヤグラムで示す状態に変
化すること、すなわち、半導体層13が高導電率をもっ
ているのでELL層2との接合部分の空乏層(第3図、
第4図に範囲Aで図示)はELL層2内に伸びること、
この空乏層には高電界が生じること等の現象により、空
乏層のへテロ接合界面に注入された電子は電界によって
加速され高エネルギーをもったホットエレクトロンとな
ること、この電子は殆どELL層2内で加速されるので
接合界面から平均自由行程分範囲で発光中心を衝突励起
すると考えられること等の理由で、直流駆動により従来
の場合と同様の発光が得られる。
第5図は、この発明による薄膜型EL表示素子の他の実
施例の概略構造を示す断面図で、第2図においてEL層
12.背面電極14間に介在されていた半導体1iil
13が表面電極11とELL層2との間に位置する構成
となっている。
施例の概略構造を示す断面図で、第2図においてEL層
12.背面電極14間に介在されていた半導体1iil
13が表面電極11とELL層2との間に位置する構成
となっている。
このような構成によれば、表面7u極11に負、背面電
極14に正の電圧を印加すると、前記実施例で述べた現
象及び理由により、直流駆動による発光を得ることがで
きる。
極14に正の電圧を印加すると、前記実施例で述べた現
象及び理由により、直流駆動による発光を得ることがで
きる。
第6図は、この発明による薄膜型E L表示素子の更に
他の実施例の概略構成を示す断面図で、本出願人が昭和
57年9 )J 29 r+付に゛ζ発明の名称「電界
発光表示素子」なる特許願を行ったものに記載の電界発
光表示素子、すなわち、半導体単結晶基板にEL層をエ
ピタキシャル的に成長形成し、これらを電極でサンドイ
ッチ状に挟んで直流駆動を可能とした電界発光表示素子
にこの発明を適用したものを示し、20はn型Si−w
aferから成る半導体単結晶基板、21は基板20上
にZnS:Mnから成る発光体原料を蒸着して設けたn
型半導体であるEL層、22はELL層1上にCu 2
Sから成る高4電率のp型半導体を蒸着して設けた半
導体層、23は半導体層22上にAuから成る導電材料
を蒸着して設けた透光性の表面電極、24は基板20の
ELL層1と対向する面にA7!から成る導電材料を蒸
着して設けた背面電極である。
他の実施例の概略構成を示す断面図で、本出願人が昭和
57年9 )J 29 r+付に゛ζ発明の名称「電界
発光表示素子」なる特許願を行ったものに記載の電界発
光表示素子、すなわち、半導体単結晶基板にEL層をエ
ピタキシャル的に成長形成し、これらを電極でサンドイ
ッチ状に挟んで直流駆動を可能とした電界発光表示素子
にこの発明を適用したものを示し、20はn型Si−w
aferから成る半導体単結晶基板、21は基板20上
にZnS:Mnから成る発光体原料を蒸着して設けたn
型半導体であるEL層、22はELL層1上にCu 2
Sから成る高4電率のp型半導体を蒸着して設けた半
導体層、23は半導体層22上にAuから成る導電材料
を蒸着して設けた透光性の表面電極、24は基板20の
ELL層1と対向する面にA7!から成る導電材料を蒸
着して設けた背面電極である。
このような半導体単結晶基板20上に直接E L層21
をエピタキシャル的に成長形成したものでは、ヘテロエ
ピタキシャル成長した結晶性の良いE L層21はキャ
リアの平均自由行程が大きく、電界で効率良く加速され
ることによると思われる理由により、直流電圧での駆動
を行なえることが前記出願明細書中に示してあり、さら
に前記半導体層22を設けることで、BLL層1と半導
体層22との接合部分における前記現象及び理由でいっ
そう電子の加速が増加されると考えられることにより、
両電極23.24間に与えられる直流電圧に前記明細書
中で示した直流電圧に比して低い電圧値を有する直流電
圧を用いても同様な発光を得られる効果を期待できる。
をエピタキシャル的に成長形成したものでは、ヘテロエ
ピタキシャル成長した結晶性の良いE L層21はキャ
リアの平均自由行程が大きく、電界で効率良く加速され
ることによると思われる理由により、直流電圧での駆動
を行なえることが前記出願明細書中に示してあり、さら
に前記半導体層22を設けることで、BLL層1と半導
体層22との接合部分における前記現象及び理由でいっ
そう電子の加速が増加されると考えられることにより、
両電極23.24間に与えられる直流電圧に前記明細書
中で示した直流電圧に比して低い電圧値を有する直流電
圧を用いても同様な発光を得られる効果を期待できる。
以」二のように、この薄膜型EL表示素子は、n型半導
体であるE L層と高導電率のp型半導体である半導体
層とを積層形成しこれらを電極で挟み、半導体層側に負
、IE L層側に正の電圧を印加することにより、E
L層と半導体層の接合部分は逆バイアスされて空乏層に
高電界が生じ、この高電界が印加されているヘテロ接合
界面に電子が注入されると加速され、発光中心を衝突励
起することにより発光を生じるもので、直流電圧による
駆動が可能となった。
体であるE L層と高導電率のp型半導体である半導体
層とを積層形成しこれらを電極で挟み、半導体層側に負
、IE L層側に正の電圧を印加することにより、E
L層と半導体層の接合部分は逆バイアスされて空乏層に
高電界が生じ、この高電界が印加されているヘテロ接合
界面に電子が注入されると加速され、発光中心を衝突励
起することにより発光を生じるもので、直流電圧による
駆動が可能となった。
マタ、E L 層の両面に絶縁層を配しないため、表面
電極と背面電極間に印加された駆動電圧が殆どEL層に
与えられることになり、従来のような電圧降下分を考慮
する必要はなく、効率の良い駆動を行うことができる。
電極と背面電極間に印加された駆動電圧が殆どEL層に
与えられることになり、従来のような電圧降下分を考慮
する必要はなく、効率の良い駆動を行うことができる。
よって、車両の計器等の表示部への応用を容易ならしめ
るものである。
るものである。
なお、EL層はn型半導体となるものであれば前記Zn
S:Mnの他にCu等の遷移金属やTb。
S:Mnの他にCu等の遷移金属やTb。
Srn等の希土類等を発光中心として含むZnS。
Zn5e等の母体材料から成るものであっても良く、こ
れに対して半導体層は前記Cu2Sの他にCu 2 S
e等の高導電率を有するp型半導体であれば良い。
れに対して半導体層は前記Cu2Sの他にCu 2 S
e等の高導電率を有するp型半導体であれば良い。
第1図は、従来の薄膜型EL表示素子の概略的な断面図
、 第2図は、この発明に係る薄膜型EL表示素子の一例の
概略的な断面図、 13図、第4図は、同上薄膜型EL表示素子のエネルギ
ーバンドダイヤグラム、 第5図、第6図は、この発明に係る薄膜型El、表示素
子の他之例の概略的な断面図である。 1、10.2o:基板 2. 11.2a:表面電
極3.5 :絶縁層 4. 12.21: EL層
6、 14.24:背面電極 13.22 :半導
体層第 Im 第2m 0 11 第8図 第4図 第6図 11¥6図 4
、 第2図は、この発明に係る薄膜型EL表示素子の一例の
概略的な断面図、 13図、第4図は、同上薄膜型EL表示素子のエネルギ
ーバンドダイヤグラム、 第5図、第6図は、この発明に係る薄膜型El、表示素
子の他之例の概略的な断面図である。 1、10.2o:基板 2. 11.2a:表面電
極3.5 :絶縁層 4. 12.21: EL層
6、 14.24:背面電極 13.22 :半導
体層第 Im 第2m 0 11 第8図 第4図 第6図 11¥6図 4
Claims (1)
- n−型半導体である電界発光体層と高導電率のp型半導
体である半導体層とを積層形成し、これらを電極で挾む
ことにより直流駆動を可能とした電界発光表示素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57186616A JPS5975595A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 電界発光表示素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57186616A JPS5975595A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 電界発光表示素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5975595A true JPS5975595A (ja) | 1984-04-28 |
Family
ID=16191692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57186616A Pending JPS5975595A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 電界発光表示素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5975595A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6358394A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-14 | 鈴木 康夫 | エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5750789A (en) * | 1980-09-10 | 1982-03-25 | Sharp Kk | Thin film el panel |
-
1982
- 1982-10-22 JP JP57186616A patent/JPS5975595A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5750789A (en) * | 1980-09-10 | 1982-03-25 | Sharp Kk | Thin film el panel |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6358394A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-14 | 鈴木 康夫 | エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4897319A (en) | TFEL device having multiple layer insulators | |
| JP2002507319A (ja) | 平坦な有機発光装置用の薄膜電極およびその製造方法 | |
| JP2004296950A (ja) | 発光素子と発光装置並びに情報ディスプレイ装置 | |
| US4326007A (en) | Electo-luminescent structure | |
| JPH02139892A (ja) | 有機薄膜el素子 | |
| JPH02216790A (ja) | 電界発光素子 | |
| JPH03141588A (ja) | 電界発光素子 | |
| JP2837171B2 (ja) | 透明導電性フィルム | |
| JPH02253593A (ja) | 発光素子 | |
| JPH02196475A (ja) | 薄膜型発光素子 | |
| JPH02207488A (ja) | 薄膜型発光素子 | |
| JPH02251428A (ja) | 透明導電性フィルム | |
| JPH02139893A (ja) | 発光素子 | |
| JPH06275864A (ja) | 光−光変換素子 | |
| JP3253368B2 (ja) | 電界発光素子 | |
| JP3514542B2 (ja) | 輝度変調型ダイヤモンド発光素子 | |
| JPS5835587A (ja) | 薄膜el素子 | |
| JPS5960874A (ja) | 電界発光表示素子 | |
| EP0131635A1 (en) | Electroluminescent lighting system having a phosphor/epoxy mixture for a high frequency electroluminescent lamp | |
| JPS6323640B2 (ja) | ||
| JP2547340B2 (ja) | 薄膜el素子 | |
| JP3229081B2 (ja) | 有機膜の素子 | |
| JPH03245490A (ja) | 有機膜発光素子 | |
| JP2997689B2 (ja) | ダブルヘテロ接合型半導体発光素子 | |
| JPS60211798A (ja) | エレクトロルミネツセンス素子 |