JPS598043B2 - Ｉｃ抵抗体のトリミング方法 - Google Patents
Ｉｃ抵抗体のトリミング方法Info
- Publication number
- JPS598043B2 JPS598043B2 JP51033939A JP3393976A JPS598043B2 JP S598043 B2 JPS598043 B2 JP S598043B2 JP 51033939 A JP51033939 A JP 51033939A JP 3393976 A JP3393976 A JP 3393976A JP S598043 B2 JPS598043 B2 JP S598043B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- trimming
- resistance value
- cut
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Laser Beam Processing (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
ＩＣ抵抗体をトリミングして高精度の抵抗値を得る方法
のｌにＬカットトリミングがある。
のｌにＬカットトリミングがある。
一例のＬカットの形状を第１図に示す。この方法は抵抗
体１に電流が流れる方向（図において破線に矢印を付し
て示す）と直角方向（電流方向を遮る方向）にレーザ光
で溝を切り込んで抵抗値の粗調を行ない、次に電流の流
れる方向と平行方向に溝を切り込んで微調を行なうもの
である。この方法において、Ｌ型に溝を切り込むために
前記粗調から微調に移るターンポイント２（Ｔｕｒｎｐ
ｏｉｎｔ）で溝の周辺に熱によるマイクロクラック（Ｍ
ｉｃｒｏｃｒａｃｋ）を生じやすい。前記マイクロクラ
ックを生じやすい部位３を第１図に交斜線を施して示す
。そして前記マイクロクラックを生ずることは抵抗値の
精度低下、抵抗体によるノイズ発生等の重大な欠点があ
る。本発明は上記欠点を除去するためのＩＣ抵抗体のト
リミング方法を提供するものである。
体１に電流が流れる方向（図において破線に矢印を付し
て示す）と直角方向（電流方向を遮る方向）にレーザ光
で溝を切り込んで抵抗値の粗調を行ない、次に電流の流
れる方向と平行方向に溝を切り込んで微調を行なうもの
である。この方法において、Ｌ型に溝を切り込むために
前記粗調から微調に移るターンポイント２（Ｔｕｒｎｐ
ｏｉｎｔ）で溝の周辺に熱によるマイクロクラック（Ｍ
ｉｃｒｏｃｒａｃｋ）を生じやすい。前記マイクロクラ
ックを生じやすい部位３を第１図に交斜線を施して示す
。そして前記マイクロクラックを生ずることは抵抗値の
精度低下、抵抗体によるノイズ発生等の重大な欠点があ
る。本発明は上記欠点を除去するためのＩＣ抵抗体のト
リミング方法を提供するものである。
即ち本発明はＩＣ抵抗体にレーザ光によりＬカットトリ
ミングを施して所望の抵抗値を得るにあたり、ターンポ
イント点に発生するマイクロクラックを防止するトリミ
ング方法を提供するものである。次に本発明の一実施例
のＩＣ抵抗体のトリミング方法につき図面を参照して詳
細に説明する。第２図に示す如き抵抗体１１は図におい
て破線に矢印の方向に電流が流れるものと、まずこれに
直角方向にレーザ光にてトリミングを施して行くと第３
図を参照して抵抗値は初期値Ｒ。からＲ４と変化（第３
図曲線２）し、ＲＬ（時間Ｔｌ）で粗調が終る。次に微
調でＲ２と変化（第３図曲線３、時間Ｔ２）と変化して
行き、最終値Ｒｓでトリミングを完了する。上記ターン
ポイントでの抵抗値ＲＬより少し低い抵抗値Ｒ、（ＲＬ
−Ｒ７／Ｒｓ×１００’、２％）になつた時刻Ｔｌでレ
ーザ出力を初期値Ｐｏから徐々に減少させ、時間ΔＴ後
（但し（Ｔｌ＋△Ｔ）＜ＴＬ）にある一定値ＰＴにする
。ターンポイントでの抵抗値ＲＬになつた時刻Ｔｌを過
ぎた後は、わづか数マイクロ秒遅延させてもとのレーザ
出力Ｐｏに戻す。第３図で示すところは出力Ｐｏ（曲線
４）から時間Ｔｌで直線５の様にレーザ出力を減少させ
、Ｔｒｋ汀でＰＴ（曲線６）にする。Ｔｌを過ぎた後は
数マイクロ秒後のＴ２で元の出力Ｐｏ（曲線４）に戻す
。上記の如くすることにより抵抗値ＲＬになる時点で生
ずるマイクロクラックは、熱影響の少ない出力ＰＴ（Ｐ
Ｔ＜Ｐ０）にすることで防止しうる。本発明によればレ
ーザ光によるトリミングの精度、速度等のすぐれた点を
具備するとゝもに熱加工であるための欠点、即ちＬカッ
トトリミングにおけるターンポイントで発生するマイク
ロクラックにたいし、トリミング速度とレーザ出力を選
定して抵抗体への熱影響がほとんどなくなり、マイクロ
クラツクの発生を防止するという顕著な利点がある。
ミングを施して所望の抵抗値を得るにあたり、ターンポ
イント点に発生するマイクロクラックを防止するトリミ
ング方法を提供するものである。次に本発明の一実施例
のＩＣ抵抗体のトリミング方法につき図面を参照して詳
細に説明する。第２図に示す如き抵抗体１１は図におい
て破線に矢印の方向に電流が流れるものと、まずこれに
直角方向にレーザ光にてトリミングを施して行くと第３
図を参照して抵抗値は初期値Ｒ。からＲ４と変化（第３
図曲線２）し、ＲＬ（時間Ｔｌ）で粗調が終る。次に微
調でＲ２と変化（第３図曲線３、時間Ｔ２）と変化して
行き、最終値Ｒｓでトリミングを完了する。上記ターン
ポイントでの抵抗値ＲＬより少し低い抵抗値Ｒ、（ＲＬ
−Ｒ７／Ｒｓ×１００’、２％）になつた時刻Ｔｌでレ
ーザ出力を初期値Ｐｏから徐々に減少させ、時間ΔＴ後
（但し（Ｔｌ＋△Ｔ）＜ＴＬ）にある一定値ＰＴにする
。ターンポイントでの抵抗値ＲＬになつた時刻Ｔｌを過
ぎた後は、わづか数マイクロ秒遅延させてもとのレーザ
出力Ｐｏに戻す。第３図で示すところは出力Ｐｏ（曲線
４）から時間Ｔｌで直線５の様にレーザ出力を減少させ
、Ｔｒｋ汀でＰＴ（曲線６）にする。Ｔｌを過ぎた後は
数マイクロ秒後のＴ２で元の出力Ｐｏ（曲線４）に戻す
。上記の如くすることにより抵抗値ＲＬになる時点で生
ずるマイクロクラックは、熱影響の少ない出力ＰＴ（Ｐ
Ｔ＜Ｐ０）にすることで防止しうる。本発明によればレ
ーザ光によるトリミングの精度、速度等のすぐれた点を
具備するとゝもに熱加工であるための欠点、即ちＬカッ
トトリミングにおけるターンポイントで発生するマイク
ロクラックにたいし、トリミング速度とレーザ出力を選
定して抵抗体への熱影響がほとんどなくなり、マイクロ
クラツクの発生を防止するという顕著な利点がある。
本発明はＬカツトトリミングについて例示したが、第４
図に示す如くトリミングの終了時に同様にして、ある勾
配でレーザ出力を減少させることによりトリミング終了
部に発生するマイクロクラツクの発生が防止できる。
図に示す如くトリミングの終了時に同様にして、ある勾
配でレーザ出力を減少させることによりトリミング終了
部に発生するマイクロクラツクの発生が防止できる。
第１図はＩＣ抵抗体のレーザ光によるＬカツトトリミン
グによるマイクロクラツクを示す上面図、第２図および
第３図は本発明のＩＣ抵抗体のレーザ光によるトリミン
グ方法、とくにＬカツトトリミングを説明するための第
２図はＬカツトトリミングの抵抗体の上面図、第３図は
Ｌカツトトリミング方法を説明するためにレーザ出力と
時間と抵抗体の抵抗値との関係を示す線図、第４図は本
発明方法の別の一実施例を説明するための抵抗体の上面
図である。 １，１１・・・・・・抵抗体、２・・・・・・（Ｌカツ
トトリミングにおける）ターンポイント。
グによるマイクロクラツクを示す上面図、第２図および
第３図は本発明のＩＣ抵抗体のレーザ光によるトリミン
グ方法、とくにＬカツトトリミングを説明するための第
２図はＬカツトトリミングの抵抗体の上面図、第３図は
Ｌカツトトリミング方法を説明するためにレーザ出力と
時間と抵抗体の抵抗値との関係を示す線図、第４図は本
発明方法の別の一実施例を説明するための抵抗体の上面
図である。 １，１１・・・・・・抵抗体、２・・・・・・（Ｌカツ
トトリミングにおける）ターンポイント。
Claims (1)
- １ ＩＣ抵抗体にレーザ光を用いてＬカットトリミング
を施し所望の抵抗値となすＩＣ抵抗体のトリミング方法
において、上記Ｌカットトリミングのターンポイントに
おける抵抗値近傍に達してから少なくとも前記所望の抵
抗値に達する間レーザ光の出力を低減してトリミングを
施すことを特徴とするＩＣ抵抗体のトリミング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51033939A JPS598043B2 (ja) | 1976-03-27 | 1976-03-27 | Ｉｃ抵抗体のトリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51033939A JPS598043B2 (ja) | 1976-03-27 | 1976-03-27 | Ｉｃ抵抗体のトリミング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52117087A JPS52117087A (en) | 1977-10-01 |
| JPS598043B2 true JPS598043B2 (ja) | 1984-02-22 |
Family
ID=12400466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51033939A Expired JPS598043B2 (ja) | 1976-03-27 | 1976-03-27 | Ｉｃ抵抗体のトリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS598043B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60192464U (ja) * | 1984-05-31 | 1985-12-20 | 株式会社日立ホームテック | サ−モカツプル |
-
1976
- 1976-03-27 JP JP51033939A patent/JPS598043B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60192464U (ja) * | 1984-05-31 | 1985-12-20 | 株式会社日立ホームテック | サ−モカツプル |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS52117087A (en) | 1977-10-01 |
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